连续快速常压化学气相沉积法制备TiO_2自清洁镀膜玻璃

化学气相沉积法制备tib2涂层工艺的研究

化学气相沉积法制备tib2涂层工艺的研究本文旨在研究利用化学气相沉积法制备TIB2涂层工艺。

首先，通过系统分析了TIB2涂层的制备工艺，其包括溅射前的基体处理、溅射、处理和检测。

其次，采用化学气相沉积法搭建了TIB2涂层的生产线，并进行了系统的操作研究。

针对TIB2涂层制备工艺中涉及的各个步骤：基体表面处理，主要采用酸洗、研磨、热处理、氧化等工艺。

溅射过程中，采用了化学气相沉积法制备TIB2涂层，该法可以精确控制反应过程，从而实现TIB2涂层的稳定生长。

在处理步骤中，采用低温气相工艺将TIB2涂层进行了压实，以达到改善TIB2涂层的机械性能的目的。

最后，采用X射线衍射分析仪对TIB2涂层进行了详细的检测，以确定TIB2涂层的物性结构和各项机械性能指标。

以上是利用化学气相沉积法制备TIB2涂层的具体工艺。

实验结果表明，利用该工艺制备的TIB2涂层不仅物性结构接近理想，而且各项机械性能指标也达到了良好的水平。

优雅的外观、贴合性能好、冲击强度高等，使其在各种应用中有很大的发挥空间，比如在航空航天、电子与机械等领域。

经过以上分析，可以得出结论：利用化学气相沉积法制备TIB2涂层工艺，能够有效控制反应过程，稳定生长涂层，而且该涂层的机械性能指标也达到了良好的水平。

因此，TIB2涂层可以广泛应用于航空航天、电子与机械等领域。

本研究并不能完全解决TIB2涂层制备工艺中的所有问题，但它为制备TIB2涂层提供了一个参考框架，同时也让我们对TIB2涂层制备工艺有了一个更加深入的了解，从而为进一步改善TIB2涂层提供参考。

总之，化学气相沉积法制备TIB2涂层的研究有助于改善TIB2涂层的机械性能，实现TIB2涂层的广泛应用，从而有效提高技术水平，提高产品的质量。

TiO2的制备方法综述

纳米TiO2的制备方法综述纳米二氧化钛是一种新型的无机材料,粒径在10nm～50nm，具有粒径小、比表面积大、磁性强、光催化、吸收性能好,吸收紫外线能力强 ,表面活性大、热导性好、分散性好、所制悬浮液稳定、对人体无毒、价格低廉等优点，故其在诸多半导体光催化剂中脱颖而出，应用领域至今已遍及有机废水的降解、重金属离子的还原、空气净化、杀菌、防雾等众多方面。

由于其独特的性能和广泛的用途 , 纳米二氧化钛受到了国内外科学界的高度重视。

目前，纳米二氧化钛的制备根据反应物的相态，可以分为固相法、气相法和液相法，其中液相法是比较常用的一种制备方法固相法合成纳米二氧化钛是利用热分解或固相—固相的变化来进行的。

基础的固相法是钛或钛的氧化物按一定的比例充分混合 ,研磨后进行煅烧 ,通过发生固相反应直接制得纳米TiO2粉体 ,或者是再次粉碎得到TiO2纳米粉体。

固相法主要包括热分解法，固相反应法，火花放电法等。

固相法的主要优点是：经济，工艺过程和设备简单，但是耗能较大；由于固相反应反应不充分，因此产物的纯度不能得到很好的保证；此外由于固相法一般需要高温煅烧，得到的产物一般粒度大且分布不均匀。

因此，固相法只适用于对产品纯度和粒度要求不高的情况。

气相法指直接利用气体或者通过各种手段将物质变为气体 ,使之在气体状态下发生物理或化学反应 , 最后在冷却过程中凝聚长大形成纳米TiO2的方法。

用气相法制备的二氧化钛纳米粒子具有粒度细、化学活性高、粒子呈球形、单分散性好、凝聚粒子少、可见光透过性好、吸收紫外线的能力强等特点，易于工业放大，实现连续生产。

目前常见的方法有气相合成法和气相沉积法。

气相合成法是一种传统的方法。

其生产原理如下：Ti+2Cl2=TiCl4TiCl4+2H2+O2=TiO2+4HCl↑与其他方法相比，气相氢氧焰水解法[1]有以下优点：原料TiCl4获得容易，产品无需粉碎，生成的例子凝聚少，纯度高，粒度小，且粒度分布均匀。

沉积法制备纳米TiO2薄膜

10.3969/j.i s s n.1008-5548.2013.03.004沉积法制备纳米Ti O2薄膜谢洪勇马长文邴乃慈孙志国上海第二工业大学城市建设与环境工程学院，上海201209摘要：利用T i O2胶体在石英玻璃表面沉积制备T i O2薄膜，用分光光度计测量Ti O2薄膜的吸光度，研究沉积时间、Ti O2胶体浓度、镀膜次数对Ti O2薄膜的沉积吸附过程和等效膜厚的影响，讨论纳米Ti O2沉积吸附的类型。

结果表明，最大等效膜厚随着Ti O2胶体浓度的增大而增加；最佳镀膜次数与T i O2胶体浓度无关，随着沉积时间的延长而减少；用气体吸附的B.E.T.和L angm ui r吸附理论分析的纳米T i O2在石英玻璃上的沉积过程与实验结果相符。

纳米Ti O2；沉降法；薄膜；等效膜厚,沉积模型O648.1A1008-5548(2013)03-0014-04Pr e pa r at i on of N a no-Ti O2T hi n Fi l m bySendi m e nt at i on M et hodX I E H ongyong M A C hangw enBI NG N ai c i SU N Zhi guoSchool of U r ban D evel opm ent and Envi ronm ent al E ngi neeri ng,Sha nghai S e cond P ol yt ec hni c U ni ver si t y,S hanghai201209,C hi naA bs t r ac t:N a no-T i O2t hi n f i l m w a s pr e par ed by T i O2col l oi d on qua r t zgl as s s urf ace by deposi t i on m et hod.The ef f ect of Ti O2col l oi dco nce nt r at i on,s edi m en t a t i o n t i m e,a nd nu m be r o f l a yer s on t he ef f ec t i vef i l m t hi c kness and s edi m e nt a t i on behavi or w as i nve st i gat ed.D eposi t i onad sor pt i on t y pes of T i O2na no-par t i c l e s wer e di scus sed.T he r esul t s showt h at t he m a xi m um ef f ec t i ve f i l m t hi c kn ess i n cr e ases w i t h t he i ncr eas e ofT i O2col l oi d conc ent r at i on.T he opt i m um c oat i ng t i m e s have no c onc er nw i t h T i O2col l oi d conc e nt r a t i on,w hi c h dec r ea se w i t h pr ol ongat e ofse di m e nt a t i on t i m e.T he s edi m ent at i on of Ti O2nano-pa r t i cl e s on qua r t zgl a ss a nal yz e d by t he gas a dsor pt i on t he or y of B.E.T.a nd L a ngm ui ri s ot he r m a l a dsor pt i on conf or m s t o exper i m ent al r e sul t s.Key w o r ds:Ti O2na no-pa r t i cl e;s edi m en t at i on;t hi n f i l m;ef f ect i ve f i l mt hi cknes s;sedi m e nt a t i on m odel2012-12-042012-12-18基金项目：上海市教委创新项目，编号：07Z Z180；上海市教委重点学科建设项目，编号：J51803。

二氧化钛薄膜制备方法

二氧化钛薄膜制备方法二氧化钛薄膜，这可真是个神奇的东西呀！它在好多领域都有着重要的应用呢。

那怎么制备二氧化钛薄膜呢？且听我慢慢道来。

先来说说溶胶-凝胶法吧。

这就好像是在搭积木一样，把各种材料巧妙地组合在一起。

先准备好钛的化合物作为原料，然后通过一系列的化学反应，让它变成溶胶状态，就像是把一堆零散的积木变成了有粘性的一团。

接着把这团溶胶涂到基底上，再经过干燥、热处理等步骤，哇塞，二氧化钛薄膜就慢慢形成啦！你说神奇不神奇？还有化学气相沉积法呢。

这就好像是一场魔法表演，让气体在特定的条件下发生奇妙的变化。

把含有钛的气体引入到反应室中，在高温等条件的作用下，这些气体会慢慢沉积在基底上，逐渐形成那薄薄的二氧化钛薄膜。

就好像是魔术师轻轻挥动手中的魔法棒，奇迹就出现啦！水热法也很不错哟！把含钛的化合物和水放在一个特殊的容器里，就像是把食材放进了高压锅，然后在合适的温度和压力下，让它们发生反应。

经过一段时间后，打开容器，嘿，二氧化钛薄膜就在里面啦！是不是很有意思呀？物理气相沉积法也值得一提呢。

就好像是在打造一件精美的工艺品，通过各种物理手段，把钛的材料一层一层地沉积到基底上。

这个过程需要精细的控制和操作，稍有不慎可能就会影响薄膜的质量哦，是不是很有挑战性？那我们在制备二氧化钛薄膜的时候要注意些什么呢？比如说要控制好各种参数呀，温度呀、浓度呀、时间呀等等，这可都关系到薄膜的性能呢。

就好像做饭一样，火候、调料的多少都得把握好，不然做出来的菜可就不好吃啦！再比如说要选择合适的基底材料呀，不同的基底可能会对薄膜的生长和性能产生不同的影响呢。

这就好比是给一件衣服选择合适的布料，合适的布料才能让衣服更加漂亮、舒适呀！还有呀，在制备过程中一定要有耐心，不能急于求成。

毕竟这是一个精细的活儿，就像绣花一样，得一针一线慢慢来。

你想想，要是着急忙慌地弄，能做出好的二氧化钛薄膜吗？总之呢，二氧化钛薄膜的制备方法有好多种，每种方法都有它的特点和优势。

常压化学气相沉积法制备氟掺杂TiO_2自清洁薄膜

硅酸盐学报· 58 ·2010年常压化学气相沉积法制备氟掺杂TiO2自清洁薄膜宋晨路1，刘军波2，翁伟浩1，翁文剑1(1. 浙江大学材料科学与工程学系，杭州 310027；2. 杭州蓝星新材料技术有限公司，杭州 310012)摘要：以四异丙醇钛[Ti(OC3H7)4，TTIP]和三氟乙醇(CF3CH2OH，TFE)为前驱体，采用常压化学气相沉积制备了氟(F)掺杂TiO2自清洁薄膜。

通过扫描电镜、X射线衍射、紫外–可见透射光谱等手段对样品进行分析，研究了前驱体TFE的流量与薄膜性能之间的关系。

结果表明：前驱体TFE的引入会在TiO2中掺入F并抑制薄膜中锐钛矿相的形成。

光催化性能和亲水性能测试表明，沉积F掺杂TiO2薄膜的最佳TFE流量为5.94L/min。

关键词：二氧化钛；氟；掺杂；常压化学气相沉积；自清洁中图分类号：TB321，TG146.4 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2010)01–0058–06PREPARATION OF FLUORINE-DOPED TITANIA SELF-CLEANING FILMS BY ATMOSPHERICPRESSURE CHEMICAL V APOR DEPOSITIONSONG Chenlu1，LIU Junbo2，WENG Weihao1，WENG Wenjian1(1. Department of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027; 2. Hangzhou Bluestar NewMaterials Technology Co. Ltd., Hangzhou 310012, China)Abstract: A fluorine (F)-doped titania (TiO2)-based film on glass for self-cleaning purposes was prepared using Ti(OC3H7)4 and CF3CH2OH (TFE) as precursors by an atmospheric pressure chemical vapor deposition method. The effect of the TFE flow rate on the properties of the films was analyzed by scanning electron microscope, X-ray diffractometer and ultraviolet visible transmission spec-trum. The results show that F can be doped into the TiO2 films, and the formation of anatase phase is suppressed by adding the TFE. The optimal TFE flow rate is 5.94L/min.Key words: titania; fluorine doping; atmospheric pressure chemical vapor deposition; self-cleaning近些年，TiO2因其出色的光催化性和亲水性以及化学性质稳定，无毒，价格低廉等优点而在光催化领域显示出巨大的应用前景。

TiO2自洁玻璃制备及其应用

维普资讯
ห้องสมุดไป่ตู้２０年３０７月
电镀与精饰
第２卷第２总１３・３・９期（７期）２
文章编号：０１３４（０７０ — ０３０１０ — ８９２０）２０２ — ４
ＴＯ２自洁玻璃制备及其应用ｉ
Ｔ０ｉ薄膜的研究现状，制备Ｔ０对ｉ薄膜的各种化学和物理方法进行了综述，对其优缺点进行了比
较，阐述了自洁玻璃的应用领域。并
关键词：ｉ薄膜；光催化；亲水亲油性；自洁玻璃Ｔ０
中图分类号：Ｑ４６Ｔ２文献标识码：Ａ
差异。文对近年来各种ＴＯ薄膜制备方法的研究本ｉ
进展及其优缺点进行了介绍和比较，简要阐述其并应用领域。
性能，长期以来受到人们的关注。薄膜材料在紫外其
光照射下，产生活泼自由基，能自由基能分解有机化
引言
Ｔｉ０薄膜光催化剂由于其较宽的禁带宽度（．Ｖ）高的折射率和机械强度以及稳定的化学３２ｅ、
膜法、电沉积法、微弧氧化法等。采用不同的工艺方法或工艺参数制备的二氧化钛成分、构等均有所结
合物，具有杀菌和自清洁等作用，在众多领域中具有
广泛的应用前景。Ｔｉ膜的制备方法很多，Ｏ薄主要有溶胶一胶法、相沉积法、驱物结晶体升华成凝液前

常压化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜的沉积工艺及薄膜均匀性

硅酸盐学报· 64 ·2010年常压化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜的沉积工艺及薄膜均匀性庞世红1，王承遇2，马眷荣1，马振珠1(1. 中国建筑材料科学研究总院，北京 100024；2. 大连工业大学，辽宁大连 116034)摘要：利用常压化学气相沉积法在浮法玻璃表面制备了二氧化钛薄膜。

研究了水蒸气、氧气含量和衬底温度以及反应器与衬底的距离对薄膜制备过程中沉积速率的影响。

结果表明：当水蒸气质量浓度为50mg/L。

氧气含量为总气体流量的8%时，薄膜的沉积速率可达30nm/s，随着衬底温度从300℃升到600℃，薄膜的沉积速率从15nm/s增加到30nm/s；然而随着反应器与衬底的距离从2mm增加到12mm，薄膜的沉积速率从30nm/s降到10nm/s，但大面积薄膜层的厚度差从10nm降低到2nm，薄膜比较均匀。

关键词：常压化学气相沉积；二氧化钛；沉积速率；薄膜均匀性中图分类号：TB321；TG146.4 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2010)01–0064–04DEPOSITION PROCESS AND UNIFORMITY OF TITANIUM DIOXIDE FILM PREPAREDBY ATMOSPHERE CHEMICAL V APOR DEPOSITIONP ANG Shihong1,2，WANG Chengyu2，MA Juanrong1，MA Zhenzhu1(1. China Building Materials Academy, Beijing 100024; 2. Dalian Polytechnic University, Dalian 116034, Liaoning, China)Abstract: Titanium dioxide film was deposited on a float glass surface by an atmosphere chemical vapor deposition method. The effects of the water vapor, oxygen concentration, substrate temperature and the distance between the reactor and the substrate on the deposition rate were investigated. It is indicated that the deposition rate can be achieved up to a maximum value of 30nm/s when the water vapor concentration is 50mg/L and the oxygen flux is 8% of the total gas flow. The deposition rate can be enhanced from 15to 30nm/s when the substrate temperature is increased from 300℃ to 600℃. Furthermore, when the distance between reactor and substrate is increased from 2to 12mm, the deposition rate is declined from 30 to 10nm/s, and the thickness difference of large film is decreased from 10 to 2nm, indicating the improvement of the uniformity of film .Key words: atmosphere chemical vapor deposition; titanium dioxide; deposition rate; uniformity of film光催化技术是当今材料科学研究的热点，其应用范围十分广泛，如：防污处理、[1]空气净化、[2]太阳能利用、[3–4]抗菌、防雾和自清洁功能等。

【精品文章】纳米TiO2薄膜使玻璃实现“自清洁”功能

纳米TiO2薄膜使玻璃实现“自清洁”功能
生活中，我们经常会碰到各种由玻璃组成的物件，比如女生最常用的梳妆台，家里的窗户，汽车上的车窗，甚至是那些高楼大厦，外围的幕墙都是由玻璃组成。

由于玻璃表面光滑，自然界的油性物质易结合灰尘粘附在其表面，所以玻璃表面很容易存在污渍，且单纯的水流无法清除干净。

每当大扫除要清洗窗户的时候，如何快速、有效地把玻璃表面的污渍去掉，便是人们最大的烦恼，更不用提那一栋栋高楼大厦，满满的幕墙玻璃清洗起来更是一个巨大的工程。

所以，为了解决这个问题，自洁玻璃应势而生。

建筑物的外墙护围（幕墙）
据全球自洁玻璃市场报告显示，全球自洁玻璃市场规模已从2014年的8360万美元增长到2017年的9490万美元。

预计到2025年全球自洁玻璃市值预计将达1.347亿美元，市场年增长率将超过4.60%，可见，自洁净玻璃存在着巨大的市场潜力。

一．自洁玻璃的介绍
自洁玻璃，指自身带有清洁功能的玻璃，通过对普通玻璃表面涂镀纳米半导体材料，使玻璃表面在太阳光激发下具有降解附着在其表面的有机污染物的能力。

其中作为一类最重要的纳米半导体材料，使普通玻璃具有自清洁功能的就是二氧化钛。

由于二氧化钛在（紫外线）光能的作用下能够产生良好的光催化特性和超亲水性，将有机物最终氧化成CO2和H2O等无机小分子，再利用其超亲水特性，雨水在膜层上铺开，充分冲刷玻璃带走污染颗粒，从而使玻璃达到自洁的效果。

连续快速常压化学气相沉积法制备TiO_2自清洁镀膜玻璃

连续快速常压化学气相沉积法制备tio2自清洁镀膜玻璃翁伟浩宋晨路翁文剑3刘军波应益明韩高荣浙江大学材料科学与工程学系杭州31002761真空科学与技术学报chinesejournalofvacuumscienceandtechnology第28卷第1期2008年12月71第1期翁伟浩等
真空科学与技术学报第 28 卷 1 期第 16 CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 2008 年 1 、月 2

第1期
翁伟浩等 : 连续快速常压化学气相沉积法制备 TiO2 自清洁镀膜玻璃
17
© 1994-2009 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved.

18
真空科学与技术学报
第 28 卷
© 1994-2009 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved.

第1期
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
翁伟浩等 : 连续快速常压化学气相沉积法制备 TiO2 自清洁镀膜玻璃
连续快速常压化学气相沉积法制备 TiO2 自清洁镀膜玻璃
翁伟浩宋晨路翁文剑 3 刘军波应益明韩高荣
( 浙江大学材料科学与工程学系杭州 310027)
© 1994-2009 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved.
19
© 1994-2009 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved.

常压下用化学气相沉积法制备TiO2薄膜的最佳条件

常压下用化学气相沉积法制备TiO2薄膜的最佳条件
李洪
【期刊名称】《科教文汇》
【年(卷),期】2009(000)018
【摘要】TiO2薄膜材料由于具有其颜料特性极高的催化活性和光稳定性而应用广泛.本文通过查阅大量文献资料,主要对TiO2薄膜的常用方法中的化学气相沉积法进行了论述.
【总页数】1页(P275)
【作者】李洪
【作者单位】运城农业职业技术学院,山西·运城,044000
【正文语种】中文
【中图分类】TQ426.4
【相关文献】
1.常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究 [J], 段钢锋;赵高凌;林小璇;吴历清;杜丕一;翁文剑;汪建勋;韩高荣
2.常压下用金属有机化学气相沉积法在HP40钢表面制备纳米氧化铝薄膜及表征[J], 黄志荣;李攀瑜
3.探索MOCVD法制备TiO2薄膜的最佳反应条件 [J], 武正簧;吴争鸣;等
4.基板温度对常压化学气相沉积法制备TiO_2复合薄膜性能的影响 [J], 林明贤;赵高凌;汪建勋;翁文剑;刘军波;应益明;韩高荣
5.常压化学气相沉积法在玻璃上制备TiSi2薄膜的研究 [J], 杜军;杜丕一;韩高荣;翁文剑;汪建勋
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。

纳米TiO2的制备

纳米TiO2的制备方法综述关键字:纳米TiO2制备均匀沉淀法实验操作前言:TiO2由于其粒子具有表面效应、量子尺寸效应、小尺寸效应、宏观量子隧道效应等性质使得其晶体具有优异的特性。

纳米Ti02在可见光区有较强的紫外光吸收能力、反射能力和散射能力,因此它可以广泛应用于防晒化妆品、光催化剂、高档涂料、人造纤维中。

由于其具有非常好的催化性能,可应用于空气净化、除臭杀菌、污水净化等领域。

同时Ti02纳米颗粒具有很好的亲油性和亲水性,可以制成防雾和自净化玻璃。

另外Ti02微粒具有良好的耐候性、耐腐蚀性、较高的热稳定性和化学稳定性、高比表面积、无毒、易分散、易烧结和低熔点等独特性能,又被广泛应用于功能陶瓷、油墨、高性能涂料、半导体材料、太阳能电池等诸多领域[1]。

目前,纳米Ti02的制备方法很多,一般可以分为物理法和化学法。

以下对Ti02纳米粒子的制备工艺进行了详细的分析和比较[2]。

1、物理法常用的物理法有气相冷凝法、粉碎法、真空冷凝法。

气相冷凝法是通过多种方法使物质挥发成气相,并经过特殊工艺冷凝成核得到纳米粉体。

由于使材料气化的方法有很多种,因此气相冷凝法的具体工艺也千差万别。

在气化和冷凝过程中须有保护性气氛,可以通过控制蒸发和冷凝的工艺条件来控制粉体的粒径。

气相蒸发沉积法、溅射法、蒸发-凝聚法、等离子法都是气相冷凝制备纳米粉体的重要方法,该方法制备的粉体纯度高,颗粒大小分布均匀,尺寸可控,适合于生产高熔点纳米金属粒子或纳米颗粒薄膜。

粉碎法,是利用球磨机转动和振动时的巨大能量,将原料粉碎为细小颗粒。

其制备纳米粉体的优点是工艺简单,易实现连续生产,并能制备出高熔点的金属和合金材料;缺点是其对设备要求很高,而且颗粒大小不均匀,容易引入杂质。

真空冷凝法用真空蒸发、加热、高频感应等方法使原料气化或形成等离子体,然后骤冷。

其特点纯度高、结晶组织好、粒度可控,但技术设备要求高。

2、化学法化学法在制备纳米Ti02粉体的方法中很重要,而目前研究最多的是气相法和液相法。

纳米材料与技术课程论文-纳米TiO2自洁净玻璃的制备及应用

纳米TiO2自洁净玻璃的制备及应用摘要：随着玻璃结构在高层建筑中的大规模应用，传统的润湿清洁和机械清洁既不经济又不方便,已难以满足现实的要求。

自洁净玻璃作为光催化技术应用的典范应运而生，最常用的就是纳米TiO2自洁净玻璃，它利用纳米TiO2薄膜材料良好的光催化活性和光稳定性能，可以有效利用太阳光中紫外线的能量和雨水的冲刷作用,使玻璃保持自然的清洁,清新明朗。

本文通过叙述纳米TiO2自洁净玻璃的背景，阐述其自洁净机理，并综述了自洁净玻璃的制备方法以及应用和发展前景，纳米TiO2光催化自洁净玻璃的成功研制已应用于处理各种环境问题，它将成为新型多功能材料应用于多个领域。

关键词：纳米TiO2；自洁净玻璃；制备；应用；发展前景Abstract:As the glass structure in high-rise building the large-scale application of the traditional wet cleaning and mechanical cleaning is neither economic nor convenient, has been difficult to meet the requirements of the reality.Self-cleaning glass as a model of photocatalytic technology arises at the historic moment, the most commonly used is the nanometer TiO2self-cleaning glass, it USES nano TiO2thin film materials good photocatalytic activity and light stability, can effectively use energy from the sun ultraviolet ray and rain flushing action, make glass keep the nature clean, pure and fresh and clear.In this article, through narration background of nanometer TiO2self-cleaning glass, its mechanism of self-cleaning, and self-cleaning glass, the paper summarized the preparation methods, application and development prospect, the successful design of the nanometer TiO2photocatalytic self-cleaning glass has been applied in processing all kinds of environmental problems, it will become the new multi-functional materials applied in many fields.Key words: Nanometer TiO2；selfclean glass；Preparation；Application；Prospects for development1 引言近年来，随着人类社会的发展和科学技术的不断进步，建筑物也开始呈现出高层化的特征，玻璃建筑材料如玻璃幕墙、玻璃屋顶、玻璃结构等也逐渐在高层建筑中大规模的被应用，而且工业化的加剧使得环境污染源不断增加，玻璃建材暴露在空气中更容易粘附污染物而变脏，因此高层建筑物玻璃的清洁问题变得越来越突出，采用传统的润湿清洁和机械擦窗清洁既不经济又不方便，工人工作效率因污染物增多而降低，并且在工作中存在很大的风险，因此不能满足现代城市玻璃清洁的需求。

基于纳米TiO_2薄膜的自清洁玻璃的制备

作者：任晓光
作者机构：辽宁机电职业技术学院,辽宁丹东118009
出版物刊名：科技创新与应用
页码： 54-54页
年卷期： 2016年第11期
主题词：溶胶-凝胶法 TiO2薄膜自清洁玻璃
摘要：文章将溶胶-凝胶法制备的TiO2溶胶成功涂覆于玻璃表面,经热处理后获得具有纳米TiO2薄膜的自清洁玻璃。

研究结果表明,自清洁玻璃的镀膜最佳层数为3层,最佳热处理温度为500℃时,XRD与SEM表征显示玻璃表面的TiO2为锐钛矿相结构,薄膜致密均匀,光滑透明且不开裂,TiO2颗粒直径约50nm左右;紫外-可见分光光度计测试显示,紫外光照后,制得的自清洁玻璃不仅具有超亲水性,还具有较强的光催化活性,有良好的自清洁能力。

TiO_2薄膜的制备方法及应用

收稿日期:2002211228作者简介:吴志猛(19772),男,江苏扬州市人,硕士研究生。

Ti O 2薄膜的制备方法及应用吴志猛1,2,张伟强2,董　闯1(11大连理工大学三束实验室,辽宁　大连　116024;　21辽宁工程技术大学材料系,辽宁　阜新　123000)摘　要:T i O 2薄膜具有良好的电学性能,优异的光学性能,化学稳定性高,机械强度高,长期以来受到人们的关注,已经广泛应用在电子、光学、医学等方面。

本文简单介绍了T i O 2薄膜的制备方法及应用。

关键词:Ti O 2薄膜;光催化;制备方法;应用中图分类号:O 484;TB 43 文献标识码:A 文章编号:100220322(2003)022*******Prepara tion M ethods and Appl ica tion s of T i O 2Th i n F il m s W U Zh i 2m eng1,2,ZHAN G W ei 2qiang 2,DON G Chuang 1 (11T h ree B eam s L abora tory ,D a lian U n iversity of T echnology ,D a liang 116024,Ch ina ; 21D ep a r m en t of m a teria ls science ,L iaon ing techn ica l un iversity ,F ux in 123000,Ch ina )Abstract :T he T i O 2th in fil m has good electrical p roperties ,perfect op tical p roperties ,h igh chem ical resistibility and h ighm echanical strength .So it has been paid attenti on to fo r long ti m e and used in m any fields w h ich include electronic ,op tical and m edical fields .T h is paper si m p ly introduces p reparati on m ethods and app licati ons of T i O 2th in fil m s .Key words :T i O 2th in fil m s ;p ho tocatalysis ;p reparati on m ethods ;app licati on s T i O 2具有稳定的化学性能,熔点高达1830℃,能够抵御酸或碱的腐蚀,在光的照射下不会发生分解。

基于TiO2镀膜材料的自洁净光伏玻璃研制与分析

ｗａｓｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｔｈｅｅｆｅｃｔｓｏｆａｍｏｕｎｔｏｆｗａｔｅｒ，ｃｏａｔｉｎｇｌａｙｅｒｓａｎｄｈｙｄｒｏｌｙｓｉｓｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｏｎＴｉＯ２ｃｏａｔｉｎｇｍａｔｅｒｉａｌ
这种基于ＴｉＯ的混合镀膜光伏玻璃技术有望在将来的生产中得到具体应用。
关键词：］７０２；镀膜；自清洁；光伏组件
中图分类号：ＴＭ９１４文献标识码：Ａ文章编号：１００２ — ０８７Ｘ（２０１７）０３ — ０４０８ — ０５
ＢＡＩＫａＬＩＺｈｉ．ＳＯＮＧＰｅｎｇ．ＬＩＮａＬ１ＵＢｉｎ０
ｒｊ．ＳｔａｔｅＧｒｉｄＪｉｂｅｉＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＰｏｗｅｒＣｏｍｐａｎｙＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，ＢｅＯ＇ｉｎｇ１０００４５，Ｃｈｉｎａ；２．Ｐｌｅｂｅ／ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，
ｗｅｒｅｔｅｓｔｅｄ，ａｎｄｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｓｏｌ－ｇｅｌｃｏａｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｗａｓｏｐｔｉｍｉｚｄ．Ｂｅａｓｅｄ０ｎｔｈｅＴｉｏ２ｃｏａｔｉｎｇｍａｔｅｒｉａｌ，ＨＰＣ，Ｓｉ

常压化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜的沉积工艺及薄膜均匀性

硅酸盐学报· 64 ·2010年常压化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜的沉积工艺及薄膜均匀性庞世红1，王承遇2，马眷荣1，马振珠1(1. 中国建筑材料科学研究总院，北京 100024；2. 大连工业大学，辽宁大连 116034)摘要：利用常压化学气相沉积法在浮法玻璃表面制备了二氧化钛薄膜。

研究了水蒸气、氧气含量和衬底温度以及反应器与衬底的距离对薄膜制备过程中沉积速率的影响。

结果表明：当水蒸气质量浓度为50mg/L。

氧气含量为总气体流量的8%时，薄膜的沉积速率可达30nm/s，随着衬底温度从300℃升到600℃，薄膜的沉积速率从15nm/s增加到30nm/s；然而随着反应器与衬底的距离从2mm增加到12mm，薄膜的沉积速率从30nm/s降到10nm/s，但大面积薄膜层的厚度差从10nm降低到2nm，薄膜比较均匀。

关键词：常压化学气相沉积；二氧化钛；沉积速率；薄膜均匀性中图分类号：TB321；TG146.4 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2010)01–0064–04DEPOSITION PROCESS AND UNIFORMITY OF TITANIUM DIOXIDE FILM PREPAREDBY ATMOSPHERE CHEMICAL V APOR DEPOSITIONP ANG Shihong1,2，WANG Chengyu2，MA Juanrong1，MA Zhenzhu1(1. China Building Materials Academy, Beijing 100024; 2. Dalian Polytechnic University, Dalian 116034, Liaoning, China)Abstract: Titanium dioxide film was deposited on a float glass surface by an atmosphere chemical vapor deposition method. The effects of the water vapor, oxygen concentration, substrate temperature and the distance between the reactor and the substrate on the deposition rate were investigated. It is indicated that the deposition rate can be achieved up to a maximum value of 30nm/s when the water vapor concentration is 50mg/L and the oxygen flux is 8% of the total gas flow. The deposition rate can be enhanced from 15to 30nm/s when the substrate temperature is increased from 300℃ to 600℃. Furthermore, when the distance between reactor and substrate is increased from 2to 12mm, the deposition rate is declined from 30 to 10nm/s, and the thickness difference of large film is decreased from 10 to 2nm, indicating the improvement of the uniformity of film .Key words: atmosphere chemical vapor deposition; titanium dioxide; deposition rate; uniformity of film光催化技术是当今材料科学研究的热点，其应用范围十分广泛，如：防污处理、[1]空气净化、[2]太阳能利用、[3–4]抗菌、防雾和自清洁功能等。