真空镀膜机控制流程图
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，主要用于在物体表面形成薄膜。
以下是一般的真空镀膜机操作方法的简要步骤：
1. 准备物体：将需要进行镀膜的物体清洁干净，确保表面没有灰尘、油脂或其它污染物。
2. 准备镀膜材料：根据需要的薄膜材料类型，准备相应的镀膜材料，一般为金属或者陶瓷材料。
3. 设置真空环境：将物体放置在真空镀膜室中，并确保室内的真空度达到所需的要求。
这通常需要使用真空泵和其他辅助设备。
4. 启动真空系统：打开真空系统的开关，开始抽取室内空气，直到达到设定的真空度。
5. 加热：在达到所需真空度后，加热镀膜材料使其蒸发。
加热的温度和时间取决于材料的性质和所需的薄膜厚度。
6. 沉积：薄膜材料从加热源蒸发出来后，会沉积在物体的表面。
这个过程需要一定的时间，以确保薄膜厚度均匀。
7. 冷却：在薄膜沉积完毕后，将镀膜室冷却至室温，以固化薄膜并使其附着在物体表面。
8. 释放真空：关闭加热源和真空系统，并逐渐恢复大气压力，最终打开镀膜室门让物体取出。
请注意，以上步骤是一个大致的操作流程，不同型号的真空镀膜机可能会有些差异。
在使用真空镀膜机之前，请务必详细阅读设备的操作手册，并根据实际情况进行操作。
真空镀膜机安全操作规程
真空镀膜机安全操作规程
1.打开总电源，打开总水源，打开中气源。
2.打开机械泵冷水阀门并启动机械泵，开始对管道抽真空。
3.开预阀，对扩散泵抽真空（延时自动启动罗茨泵）同时打开扩散泵上下冷却阀门及水冷挡板冷却阀门。
4.开扩散泵，约一小时左右后，扩散泵处于正常工作状态。
5.开启放气阀，打开箱门。
6.装入待镀元件，关闭箱门，关闭放气阀。
7.当扩散泵处于正常工作后，关闭预阀，打开低阀，延时120秒后自动启动罗茨泵，对蒸发室抽低真空，当蒸发真空度达到 1.0-0Pa 时，关闭低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空。
8.逐步调试增加蒸发室内温度。
9.蒸发室内温度及正空度达到所需求值时，打开膜厚仪，预热枪灯丝后开始蒸镀。
10.蒸镀完成后，关闭膜厚仪及枪灯丝，关闭高阀及扩散泵。
11.逐步降低蒸发室内温度。
12.待达到规定温度时（大于1小时）关闭低阀和机械泵。
13.关总电源，关总水源，关总气源。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备，操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。
下面是一份真空镀膜机的操作规程，供参考：一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施，确保运行环境安全正常。
2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物，清洁设备确保表面干净。
二、设备开启与调试1. 打开设备的电源，并按照操作手册正确操作所有开关与按钮，确保设备的正常运行。
2. 设备初次开启或长时间未使用后，需打开辅助泵进行抽真空，待真空度达到标准值后再进行下一步操作。
3. 真空镀膜机应设有校准装置，操作人员应根据实际需要进行相应的校准，确保设备的稳定性和精度。
三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置，确保样品的平整，并避免样品之间的碰撞。
2. 样品表面应清洁干净，不存在污染和油渍，否则会影响镀膜质量。
四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门，将样品放置在样品架上，确保样品与样品架之间没有杂质。
2. 关闭样品舱门，设定镀膜参数，如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。
3. 执行真空镀膜程序，按照操作手册的步骤进行操作，确保每一个程序的稳定运行。
4. 在镀膜过程中，操作人员应经常观察反应室内的状态，如真空度、压力、温度等参数，并及时调整。
5. 镀膜结束后，将样品从样品架上取下，放置在准备好的容器中，注意避免样品与其他物体接触，避免污染。
五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源，确保设备停止运行。
2. 清洁设备内部，包括反应室和样品架，确保设备内部干净整洁。
3. 清洁设备外部，特别是控制面板和触摸屏，避免灰尘或污渍附着在上面。
4. 检查设备的附属设施，如冷却系统，确保其正常运行。
六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品，如手套、口罩、护目镜等，确保工作安全。
2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善，避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。
3. 真空镀膜机应定期进行维护保养，如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。
真空镀膜操作规程
真空镀膜操作规程一、准备：1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370—440V；2、开启电容补偿器；3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动前应确认冷水机入口水压1.5-3kg，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动；5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工作正常，紧急冷却系统准备就绪；6、确认工艺气体气压不低于20个大气压7、装基膜：A、领膜：镀膜工按生产任务单要求，从净化室中领到基膜时，应立即检查该膜是否合格，有无花纹、斑点、划伤、污迹，收卷是否整齐等直接观测到的问题，如有应立即向生产主管报告，以决定是否采用；B、装轴：操作时必须带手套，将合格的基膜放在专用膜托架上，取一对尺寸相同的轴安装好，安装时请注意膜的正反面，确认一切准备就绪了，即可吊装。
吊装时必须轻拿轻放，严禁碰撞，必须保持基膜水平，以免膜打滑引起螺纹状；C、装膜：确认冷辊无冷凝水后，即可装膜，装膜时不要对着膜讲话，以保持膜面干净。
注意不要碰透过率分析仪的探头，装膜时应保证膜在冷辊的中心；D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力；E、试卷：引膜完成后，手动预卷几圈，打开张力控制器，启动冷辊、收卷、卷膜（其中ITO膜卷1—2m，前档膜和建筑膜卷20m）。
仔细观察膜是否走正，启动是否容易，冷辊是否与膜同步，走速是否平稳，膜是否变形、起皱、划伤等等，并及时处置，最后用记号笔在放料端画起始标志线；8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配置正确，靶材量充足，确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上，关闭真空室；二、抽真空1、扩散泵预加热（约需40分钟）：启动维持泵，确认运转正常后，打开维持阀（灯亮），逐一打开扩散泵；2、低抽：确认真空室门已关闭启动计算机，进入镀膜系统监控程序，充气阀关闭，启动机械泵（1、2），确认机械泵正常运行后，开预抽阀，五分钟后打开复合真空计，打开罗茨泵开关，。
真空镀膜UV工艺流程图
文件 编号: 20160616001
真空镀膜UV工艺流程图
版本: A0 制表人: 曹海军 审核人: 熊水明 过程名称 /操作描述 原料进料 IQC检查 原料贮存 运输 拆包装取出素材 检查外观质量 除油 上夹具 底涂上下料 喷底涂 流平/烘烤 拔半成品 半成品插筒 抬上真空镀机 抽真空 真空镀膜(PVD）法 冷却/下筒/除尘 UV面漆上下料 紫外线烘烤 UV固化 入库 成品下线 镀膜前准备 目视 目视 过程 材料进料
入库 出货通知单 点数量装卡板 QA验货 缠卡板 装车 产品出库
料号/品名/数量/箱数/标签核对无误,装相 单和发票装胶袋贴于最后一个卡板上
目视
清点数量并签托运单Βιβλιοθήκη 22成品检验/包装
目视
23
QA验货
目视/卡尺/膜厚 按AQL正常抽检及测试(抽检样品为 测试仪/3M600胶 0.5%)◆ 纸/恒温恒湿仪 产品包装箱不允许损坏或压变形,堆码高 3℃ 温度计/湿度计 度低于1.5M(单卡板),仓储温度:25± 仓储湿度:20%～85 % 出货 目视
24 25 26 27 28 29 30
产品特性
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21
目视
镀膜
表面要完好并光亮
目视 目视 目视 目视 目视、温度计 目视 目视 目视
目视/真空镀机 真空度1.33*10-3Pa 目视 目视 目视 电脑自动真空机 戴手套 面漆上下料
目视、温度计 温度90℃ 目视、温度计 室温冷却30min 目视 次品率高于7%时,或发现起泡问题,要立 即上报并得到改善措施及行动,以保证生 产顺利进行,.◆ 产品包装箱不允许损坏或压变形,包装箱 不允许倒放或侧放，料号/品名/数量写正 确，包装方法及标签不允许出错
实验十二真空镀膜
实验十二真空镀膜引言在真空中使固体表面（基片）上沉积一层金属、半导体或介质薄膜的工艺通常称为真空镀膜。
早在19世纪，英国的Grove和德国的Plücker接踵在气体放电实验的辉光放电壁上观察到了溅射的金属薄膜，这就是真空镀膜的萌芽。
后于1877年将金属溅射用于镜子的生产；1930年左右将它用于Edison唱机录音蜡主盘上的导电金属。
以后的30年，高真空蒸发镀膜又取得了飞速发展，这时已能在实验室中制造单层反射膜、单层减反膜和单层分光膜，而且在1939年由德国的Schott等人镀制出金属的FabryPerot干与滤波片，1952年又做出了顶峰值、窄宽度的全介质干与滤波片。
真空镀膜技术历经一个多世纪的发展，目前已普遍用于电子、光学、磁学、半导体、无线电及材料科学等领域，成为一种不可缺少的新技术、新手腕、新方式。
实验目的1.了解真空镀膜机的结构和利用方式。
2.掌握真空镀膜的工艺原理及在基片上蒸镀光学金属、介质薄膜的工艺进程。
3.了解金属、介质薄膜的光学特性及用光度法测量膜层折射率和膜厚的原理。
实验原理从镀膜系统的结构和工作机理上来讲，真空镀膜技术大体上可分为“真空热蒸镀”、“真空离子镀”及“真空阴极溅射”三类。
真空热蒸镀是一种发展较早、应用普遍的镀膜方式。
加热方式主要有电阻加热、电子束加热、高频感应加热和激光加热等。
1.真空热蒸镀的沉积条件（1）真空度由气体分子运动论知，处在无规则热运动中的气体分子要彼此发生碰撞，任意两次持续碰撞间一个分子自由运动的平均路程称为平均自由程，用λ表示，它的大小反映了分子间碰撞的频繁程度。
P d kT22πλ=（8.2-1）式中：ｄ为分子直径，Ｔ为环境温度（单位为Ｋ），Ｐ为气体压强。
在常温下，平均自由程可近似表示为：)(1055m P -⨯≈λ （8.2-2）式中：P 为气体平均压强（单位为Ｔｏｒｒ）。
表8.2-1列出了各类真空度（气体平均压强）下的平均自由程λ及其它几个典型参量。
镀膜机操作顺序
Duroch-1100镀膜机操作顺序
接通外部电源→先开空压机、冷水机→打开清洗机镀膜机电源→点击自动操作→输入密码→点击自动操作→上班开机→预热完成后→打开柜门、挂上零件，关门→打开氮气开关→点击自动操作→选择钛（保持架）或铬（内外圈，滚子）→点击运行→镀膜→停机到计时→停机到计时变绿并放气→完成一次镀膜过程→打开柜门、取出零件→关闭真空室大门→按返回键→下班关机→关机倒计时→关机倒计时结束后关闭空压机、冷水机→关闭电源
注意事项：
1、开机前必须检查冷却水路无泄露，冷水机去离子水足够。
2、开机前一定要检查泵组中各泵的润滑油是否达到规定值；
3、气瓶气压是否足够；
4、真空系统密封情况是否良好：
5、沉积室内部清理干净，观察窗玻璃保持干净；
6、弧电源，离子源冷却风扇是否正常工作。
7、轴承零件在装卡时必须带手套、口罩，并注意轴承零件间距。
8、轴承零件装卡后必须先旋转转架，防止装卡不合适，无法正常旋转转架。
真空镀膜机操作指导
真空镀膜实验指导真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。
本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。
真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。
1真空镀膜原理：1.1蒸发镀膜机理蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。
凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。
蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。
蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下：1.2高真空我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。
相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。
因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。
当然，真空度也不需要绝对地高。
事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。
如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式（d是分子的直径，n是分子数密度）不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。
1.3材料洁净材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。
这一要求似乎是不言而喻的。
如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质，将直接影响膜的均匀性和牢固度；如果混有可融的化学成分，将影响膜的物理性质，如亮度、表面张力、电导率等等。
真空镀膜机操作程序
真空镀膜机操作程序①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
②打开总电源开关，设备送电。
③低压阀拉出。
开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④安装固定钨螺旋加热子。
把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。
把铝丝穿放在螺旋加热子内。
清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤落下钟罩。
⑥启动抽真空机械泵。
⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
a 、左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b 、低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6、7Pa时，低压阀推入。
这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑨开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩低压阀拉出。
重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。
低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6、7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
⑪等低真空表“2”内指针右移动至0、1Pa时，开规管灯丝开关。
a 、发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b 、左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6、7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲开蒸发钮开关。
把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔）。
最新真空镀膜工艺流程
真空镀膜工艺流程一、真空镀膜的工艺流程大致可用以下的方框图表示：二、具体说明如下：1、表面处理：通常,镀膜之前,应对基材（镀件）进行除油、除尘等预处理,以保证镀件的整洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。
对于特殊材料,如PE（聚乙烯）料等,还应对其进行改性,以达到镀膜的预期效果。
2、底涂：底涂施工时,可以采用喷涂,也可采用浸涂,具体应视镀件大小、形状、结构及用户设备等具体情况及客户的质量要求而定。
采用喷涂方法,可采用SZ-97T镀膜油；采用浸涂方法,可采用SZ-97、SZ-97+1等油,具体应视镀件材料而定。
3、底涂烘干：SZ-97镀膜油系列均为自干型漆，烘干的目的是为了提高生产效率。
通常烘干的温度为60-70oC,时间约2小时。
烘干完成的要求是漆膜完全干燥。
4、镀膜：镀膜时,应保证镀膜机的真空度达到要求后,再加热钨丝,并严格控制加热时间。
同时,应掌握好镀膜用金属（如铝线)的量,太少可能导致金属膜遮盖不住底材,太多则除了浪费外,还会影响钨丝寿命和镀膜质量。
5、面涂：通常面涂的目的有以下两个方面：A、提高镀件的耐水性、耐腐蚀性、耐磨耗性；B、为水染着色提供可能。
SZ-97油系列产品均可用于面涂，若镀件不需着色,视客户要求,可选用911、911-1哑光油、889透明油、910哑光油等面油涂装。
6、面涂烘干：通常面涂层较底涂层薄,故烘干温度较低,约50-60oC,时间约1~2小时,用户可根据实际情况灵活把握，最终应保证面涂层彻底干燥。
如果镀件不需着色,则工序进行到此已经结束。
7、水染着色：如果镀件需要进行水染着色,则可将面漆已经烘干的镀件放进染缸里,染上所需颜色,之后冲洗晾干即可。
染色时要注意控制水的温度,通常在60~80oC左右,同时应控制好水染的时间。
水染着色的缺点是容易褪色,但成本较低。
8、油染着色：若镀件需进行油染着色,则镀膜后视客户要求,直接用SZ-哑光色油、SZ-透明色油浸涂或喷涂,干燥后即可。
山东真空镀膜机操作规程
山东真空镀膜机操作规程
《山东真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确认设备及工具完好无损，必要时进行维修及更换。
2. 检查真空镀膜机的电源及周围环境，确保安全使用。
3. 穿戴好防护用具，如手套、护目镜等。
二、操作步骤
1. 打开真空镀膜机的电源，根据设备要求设定好相应的工作参数。
2. 将待处理材料放置于真空镀膜机的工作台上，注意放置位置及稳定度。
3. 启动真空镀膜机，观察真空度及工作状态，确保正常运行。
4. 根据需要，进行镀膜的预处理，如清洗、打磨等。
5. 将镀膜材料放置于真空镀膜机内，注意操作时避免碰触到内部设备。
6. 根据具体要求，进行镀膜操作，注意控制镀膜层厚度及均匀度。
7. 镀膜完成后，关闭真空镀膜机，将待处理材料取出，进行必要的后续处理。
三、操作注意事项
1. 操作人员需熟悉真空镀膜机的工作原理及操作要点，严格按
照规程进行操作。
2. 避免在真空镀膜机运行过程中对设备进行擅自操作，以免造成意外伤害。
3. 定期进行真空镀膜机的维护保养，确保设备的正常运行。
4. 操作结束后，做好设备清洁及安全关闭工作，及时进行设备及工具的归位整理。
以上即为《山东真空镀膜机操作规程》，希望操作人员严格遵守并按规定进行操作，确保设备的正常使用及工作安全。
真空电镀电镀流程
真空电镀电镀流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. l hope that after you downloadthem,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified afterdownloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!真空电镀流程简述：前期准备：①表面预处理：对基材进行清洗、除油、粗化等处理，确保表面干净且能良好附着镀层。
②装载工件：将预处理后的工件小心装载到真空镀膜机的承载架上。
真空室密闭与抽真空：①密封腔体：关闭真空镀膜机的真空室门，确保密封。
②抽真空操作：启动真空泵，逐步降低真空室内气压至所需真空度，一般达到低至10^-6 Torr的高真空环境。
蒸发/沉积过程：①加热蒸发源：根据不同材料，使用电阻加热、电子束轰击或感应耦合等方式加热镀材至其蒸发点。
②镀层沉积：蒸发的金属或化合物原子在真空中直线运动，沉积到工件表面，形成均匀致密的镀层。
工艺控制与监测：①气氛控制：必要时注入反应性气体，如氮气、氧气等，以形成化合物膜层（如氮化钛）。
②实时监控：通过观察窗和传感器监控镀层厚度、速率及真空度，确保镀层质量。
冷却与出舱：①冷却阶段：镀层完成后，停止加热，使工件和镀层自然冷却，防止热应力损伤。
②开舱取出：当真空室恢复至常压后，打开真空室门，取出镀好层的工件。
后期处理与检验：①清洁处理：去除可能残留在工件上的多余镀料或其他杂质。
②质量检验：通过目视、显微镜检查、膜厚测量等方法检验镀层的外观、均匀度和结合力。
真空蒸镀操作流程
真空蒸镀实验
操作步骤：
1.先打开循环水的总开关，再打开循环水开关，转180度，待10秒
钟后循环水流稳定后再转15～10度，在实验过程中，要时常检查循环水是否工作正常，观察出水口是否有水流出。
2.打开总电源开关，在真空操作单元界面把旋钮由停旋至充气，待
充气完毕后，升真空罩，同时一手扶着真空罩一手抓紧旋钮。
3.将蒸发源安装在电极上，取出衬底托，将衬底安放在衬底托上，
当好挡板，在此过程中，切忌碰撞到石英振荡器。
4.检验石英振荡器是否正常，观察膜厚仪表上对应的绿色指示灯是
否亮着，亮即表示振荡器正常。
把调压器界面的旋钮由关旋至蒸发1，调节蒸发电流，看电流表的示数是否显示正常。
5.将旋钮调至机械泵—分子泵档，打开热偶规至V2测量档，开启机
械泵，拉出低阀，间隔2分钟左右，推进低阀，如此反复两三次，待热偶规表示数达到10Pa时，推进低阀，打开高阀，打开分子泵电源，开启分子泵，待分子泵的指示灯由加速显示为正常时，同时热偶规示数为0.1Pa时，打开灯丝（打开灯丝之前旋钮在10-1档），当电离规仪表示数小于1时，调节量程旋钮至10-2档，当电离规仪表示数小于1时，调节量程旋钮至10-3档，待示数在6以下时，将量程旋钮重新调至10-1档，然后关灯丝。
6.把调压器界面的旋钮由关调至蒸发1档，25A时停25～30秒，缓
慢地调节增加电流。
7.待蒸发完毕后，将调压器电流控制按钮缓慢旋至0，关闭蒸发电源，
关闭膜厚仪，关高阀，停止分子泵（15分钟后），关闭分子泵电源，拉开低阀，关热偶规，对真空罩充气，打开真空罩，取出样品，盖上真空罩，开启机械泵对真空罩抽气，约5分钟后，将低阀推入，十分钟后，拉出低阀，停止机械泵，切断总电源，关闭循环水。
镀膜机操作指引
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客户型号
/
工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A
001
工站名称
镀膜机操作指引
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页数
1/10
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作业步骤
图片
作业说明
备注
/ 镀膜机整体图示
蒸发器温控（保护）
冷阱温控（保 护）
/
镀膜机操作面板 各按钮说明
当，膜会渗到连接器的
端子上。
客户名称
/
客户型号
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工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
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页数
6/10
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作业步骤
图片
作业说明
备注
14.c 贴胶布
14.d
用胶布将保护盖与连接器之间 注意：胶布不可沾到电
客户名称
/
客户型号
/
工序号 工 序 名 称
21
打开盖子，取出 钢网
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
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页数
10/10
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作业步骤
图片
作业说明
备注
大约5分钟后（排完气），可以 打开Chamber密封盖子，取出钢 网，检查线与钢网接触面是否 完好；
16.d
镀膜机操作说明书
1.气路开启：开启楼上空气压缩系统，检查镀膜机后面的气压表到70kg/cm2后，气路检查完毕，而压力不到就进行其它的操作容易导致开前置阀时，虽然显示前置阀开启，但是前置阀却实际为关闭的——阀门的开启与关闭主要靠压缩空气驱动。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
4.一般每次还完扩散泵油以及粗抽泵油后，都需对蒸发的参数进行略微的调整。
5.当改变镀的种类如由镀铝改为镀铬时，需要重新设置蒸发的参数。
6.蒸发过程的参数在触摸屏上面可以直接设置，需要密码验证，密码：8031.
(4)换钨丝：钨丝一般情况下6-8次换一次，即每天下班的时候需要换钨丝。
(5)换铝丝：铝丝在确定长度的情况下，需要对折2次，铝丝不能拧紧在一起，也不能太松散，只要4根铝丝靠在一起就行。
(6)精抽阀关掉后，一般需要等10S左右的时间再按下工作室放气——主要这时硅管刚处于高温发红的状态，空气过早的进入会氧化硅管，10S后硅管冷却后再按下工作室放气。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
ZZS1100-8型箱式真空镀膜机操作手册
箱式真空镀膜机A01操作手册操作规程一、开机前检查水、电、气。
依次接通总水源、总气源、总电源。
1水：水塔储水充足，水压约0.2~0.25MPa,水流约20~30 L/min 水温≤20℃。
2电：总功率约50KW，220V/380V，50HZ。
3气：气压0.6Mpa。
二、开机。
打开总电源开关(总电源信号灯亮）—→真空自动→开机。
扩散泵温度必须大于250℃（约预热1小时）。
打开高压电源及高压开关，氧气阀打开，氧气总压力必须大于2MPa，氧气输出压力控制阀必须小于0.5MPa（一般在0.2MPa左右）。
打开监控系统电源，打开坩埚电源。
三、蒸发室清洁。
按下取件按钮打开室门。
用吸尘器吸掉室体内部表面灰尘，活动挡板和坩埚清洁，电子枪清洁及保养，检查晶振片更换。
四、材料添加。
首先检查坩埚号是否与制程相对应；坩埚是否转换到位。
不同材料有不同的添加方法，某些材料首次添加需按层次添加（每添加一层都要进行融药），材料每次不可添加的过多，材料的添加与消耗成正比。
五、蒸镀前。
以上步骤完成后卡伞方可上架，关闭蒸发室门（检查制程）—→真空六、加温烘烤。
当真空度达到低真空（低真空信号灯亮，真空度为3.0E-0）方可开烘烤，同时真空镀必须高于10-2Pa。
按下按钮烘烤1—→烘烤2—→烘烤3—→工转（工转的电压为1V，烘烤温度达到设定值320℃时.必须稳定10分钟。
）七、融药。
真空度达到高真空（高真空信号灯亮，真空度为5.0E-3。
）坩埚转换到手动打下控制开关自动—→手动。
电子枪转换到手动打下控制开关EXT—→INT。
打开外控选择按钮ACC—→FIL。
融料时需注意事项：1、挡板是否在关闭状态。
1、电子枪功率逐渐上升，要高于镀膜时的设定值。
2、高功率时电子枪斑点不可在坩埚边上融料。
3、高功率时电子枪斑点不可过小，融好后需在坩埚中心位置停留10秒。
融完后按下外控按钮OFF。
电子枪转换到自动INT—→EXT，同时EMN —→SCAM—→POS转换到自动。
真空镀膜的工艺流程
真空镀膜的工艺流程我呀，今天就想跟你们唠唠真空镀膜这事儿。
这真空镀膜啊，就像是给东西穿上一层超级酷炫的外衣，可神奇了呢！咱先得把要镀膜的东西准备好。
这就好比是给一个演员准备登台，东西得洗得干干净净的，不能有一点脏东西。
要是上面有油污或者灰尘啥的，那镀出来的膜啊，就像一件漂亮衣服上沾了泥巴，可难看了。
我就见过一次，有个小作坊没把东西清理好就镀膜，结果镀出来的膜，哎呀，那叫一个惨不忍睹，就像一张画被乱涂乱画了一样。
接下来就是把这个准备好的东西放到真空镀膜设备里。
这设备啊，就像一个神秘的魔法盒。
一打开，里面的结构可复杂了。
这里面有蒸发源呢，这个蒸发源就像是一个小小的炉灶，不过它可不是用来做饭的，而是用来把镀膜的材料加热，让它们变成气态的。
比如说我们要镀铝膜，就把铝放到这个蒸发源这里。
这时候，有人可能就会问了：“那这加热的温度得有多高啊？”嘿嘿，这温度可不低呢，得高到能让固态的铝变成气态，就像冰变成水蒸气一样，得给它足够的热量。
然后啊，就是要把这个设备里的空气抽走，达到真空状态。
这就像是把一个装满杂物的房间清空一样。
为啥要抽成真空呢？要是有空气在里面，那些气态的镀膜材料就会和空气里的分子乱撞，就像一群调皮的孩子在乱跑，这样镀出来的膜就不均匀了。
我有个朋友，刚开始搞真空镀膜的时候，没太注意这个真空度，结果镀出来的膜啊，这儿厚那儿薄的，就像一块坑坑洼洼的地面。
在这个真空环境里，气态的镀膜材料就会朝着我们要镀膜的东西飞过去，然后一层一层地附着在上面。
这就像是雪花一片一片地落在大地上一样，慢慢地就形成了一层均匀的膜。
这个过程啊，可不能着急，得慢慢让那些气态的材料乖乖地趴在要镀膜的东西表面。
这时候，操作人员就得像一个细心的守护者一样，盯着设备的各种参数，可不能让它出一点差错。
我还得说说这个镀膜材料的选择呢。
不同的材料镀出来的膜效果可不一样了。
就像你穿不同材质的衣服，感觉就不同。
如果镀的是金属膜，像铜膜或者银膜，那镀出来的东西就会有金属的光泽，看起来亮晶晶的，可高档了。
PVD真空镀膜机作业指导书
PVD真空镀膜机作业指导书一．开机1. 检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0.4Mpa以上）。
2. 检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0.5Mpa）。
3．开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》，《扩散泵1、2》四个开关。
即扩散泵升温（大约1小时左右）。
4. 距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。
待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。
二．生产操作1. 确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。
2. 开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。
3. 当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。
4. 此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。
5. 工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。
（注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆）6. 以上循环，即为正常操作流程。
三．停机1. 将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关的所有开关。
（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2. 待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，冷却塔，激进泵。
注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。
警告:本机器有多处高压变压器，电压高达8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。