半导体测试基础

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半导体的cp测试基本原理

半导体的cp测试基本原理

半导体的cp测试基本原理

半导体的电荷平衡性测试(CP测试)是一项用于评估半导体器件或集成电路的质量、稳定性和可靠性的重要测试手段。它通过在不同的电压、电流条件下测量器件的电荷容量和电荷传输特性,来判断半导体器件是否具有良好的性能。

CP测试的基本原理可以归纳为以下几个步骤:

1. 差分电荷测量:CP测试常使用差分放大电路来测量半导体器件的电荷。差分放大电路由两个输入电极和一个输出电极组成,其中一个输入电极接入被测器件,另一个输入电极接入一个参考电极。测量时,参考电极保持在稳定电位,而测量电极则受到器件的电荷变化影响。

2. 电荷注入:为了测量器件的电荷容量,需要在测量电极与参考电极之间施加一定的电压。通过向测量电极施加脉冲电压或持续电压,将一定数量的电荷注入到器件中,并观察电容变化。

3. 电荷传输特性测量:通过在不同的电压条件下反复进行电荷注入和读取,可以测量器件的电荷传输特性。即测量在不同电场下,电荷注入到器件中和从器件中释放的速度。

4. 数据分析与解释:通过分析测量数据,可以得到器件的电荷容量、电荷传输速率等参数。通过比较这些参数与设计要求或标准值,可以评估器件的性能是否

符合要求。

CP测试的关键是保证测量精度和一致性。为此,在实际应用中,往往需要采取一系列措施来降低干扰和误差。例如,可以对测量电路和测量设备进行校准和校验,使用差分放大器来提高信噪比,合理选择测量电压和电流范围,以及采取适当的滤波和抗干扰措施等。

需要注意的是,CP测试不仅仅适用于器件的生产过程中,也可以用于研发和故障分析。通过对器件的电荷容量和传输特性的测量和分析,可以帮助改进设计、优化工艺和提高产品性能。

半导体基本测试原理

半导体基本测试原理

半导体基本测试原理

半导体是一种具有特殊电学特性的材料,在电子、光电子和光电子技

术等领域具有广泛的应用。半导体器件的基本测试主要包括单个器件的电

学测试、晶体管的参数测试以及集成电路的功能测试等。本文将从半导体

基本测试的原理、测试方法和测试仪器等方面进行详细介绍。

1.电学测试原理:半导体器件的电学测试主要是通过电压和电流的测量,来判断器件的电学性能。常见的电学测试有阻抗测量、电流-电压特

性测试等。阻抗测量通常使用交流信号来测试器件的电阻、电感和电容等

参数,可以通过测试不同频率下的阻抗来分析器件的频率响应特性。

2.晶体管参数测试原理:晶体管是半导体器件中最常见的器件之一,

其参数测试主要包括DC参数测试和AC(交流)参数测试。DC参数测试主要

通过测试器件的电流增益、静态工作点等参数来分析和评估器件的直流工

作性能。AC参数测试主要通过测试器件在射频信号下的增益、带宽等参

数来分析和评估其射频性能。

3.功能测试原理:集成电路是半导体器件的一种,其测试主要从功能

方面进行。功能测试主要分为逻辑测试和模拟测试两种。逻辑测试主要测

试器件的逻辑功能是否正常,比如输入输出的逻辑电平是否正确,数据传

输是否正确等。模拟测试主要测试器件的模拟电路部分,比如电压、电流、频率等参数是否在规定范围内。

二、半导体基本测试方法

1.电学测试方法:常用的电学测试方法包括直流测试和交流测试。直

流测试主要通过对器件的电流和电压进行测量来分析器件的基本电学性能,

如电流增益、电压饱和等。交流测试主要通过在不同频率下测试器件的阻抗来分析器件的频率响应特性,一般使用网络分析仪等仪器进行测试。

半导体测试原理范文

半导体测试原理范文

半导体测试原理范文

半导体测试是指对集成电路和其他半导体器件进行功能验证、性能测

试以及可靠性测试的过程。在半导体生产过程中,测试是非常重要的一环,可以帮助检测芯片的完整性,确保芯片在使用过程中性能正常。本文将介

绍半导体测试的原理。

一、概述

1.测试技术

半导体测试涉及到很多技术,其中包括数字测试、模拟测试、功耗测

试和封装测试等。数字测试主要是通过模拟数字信号,检测电路中的逻辑

功能,例如逻辑门、寄存器和状态机等。模拟测试主要用于检测电路中的

模拟电路,例如放大器、滤波器和ADC等。功耗测试主要是检测芯片在不

同工作条件下的功耗水平。封装测试主要是在芯片封装完成之后,对封装

后的芯片进行测试和验证。

2.产线测试

在芯片的生产过程中,会使用产线测试进行芯片的初步测试和筛选。

产线测试主要是通过测试设备自动进行的,可以对芯片在大规模生产中进

行筛选和分类。

3.整定技术

整定技术是半导体测试中非常重要的一部分,它主要是通过测试设备

对被测芯片进行参数调整,以确保芯片功能的正确性和性能的稳定性。整

定技术可以校正芯片中的输入输出电平、时序和电流等参数,以确保芯片

在实际使用中的可靠性。

4.测试策略

测试策略是指在半导体测试中选择合适的测试方法和测试方案,以确保对芯片的全面测试。测试策略要根据芯片的功能和特性进行设计,既要考虑芯片的功能测试,又要考虑芯片的性能和可靠性测试。

二、主要步骤

1.芯片加载

将待测的芯片加载到测试设备中,通过测试探针与芯片进行连接,以便进行测试。

2.功能测试

功能测试主要是通过模拟电路和数字电路对芯片进行测试。模拟电路通常会检测芯片中的模拟电路水平,例如放大器的增益和带宽等。数字电路会检测芯片中的逻辑功能,例如逻辑门的真值表是否正确,状态机的状态转换是否正确等。

半导体材料的测试技术

半导体材料的测试技术

半导体材料的测试技术

1.电学测试技术

电学测试技术是半导体材料测试的基础。它主要包括电阻测试、电容

测试、电势分布测试等。电阻测试用于测量材料的电阻值,以判断导电性能。电容测试则用于测量材料的电容值,以评估绝缘性能。电势分布测试

则用于测量电势在材料内的分布情况,以评估电路设计的准确性和稳定性。

2.光学测试技术

光学测试技术主要用于测量材料的光学性能,例如透射率、反射率、

折射率等。这些参数对于半导体材料的功能和性能至关重要。光学测试技

术通常使用光谱仪、激光干涉仪等设备进行测量,可以精确地确定材料的

光学特性。

3.结构测试技术

结构测试技术主要用于测量材料的结构参数。例如,常见的X射线衍

射技术可以用来分析材料的晶体结构和晶体缺陷。扫描电子显微镜(SEM)可以用来观察材料的微观形貌和表面形貌。透射电子显微镜(TEM)则能

够提供更高分辨率的图像,用于研究材料的纳米级结构。

4.热物性测试技术

热物性测试技术主要用于测量材料的导热性能和热稳定性。热导率测

试可以测量材料导热的速度和效率,以评估材料的散热性能。热膨胀测试

可以测量材料在温度变化下的线膨胀系数,以评估材料的热稳定性。

5.电子能谱测试技术

电子能谱测试技术通过测量材料中电子的能量分布,可以得到材料的

成分和化学状态。常见的电子能谱测试技术包括X射线光电子能谱(XPS)、透射电子能谱(AES)等。这些技术可以用来分析材料的表面组

成和化学键的状态,以评估材料的纯度和接触性能。

总之,半导体材料测试技术在半导体工业生产中起着至关重要的作用。通过不同的测试技术,可以对材料的电学、光学、结构、热物性以及化学

半导体基本测试原理资料

半导体基本测试原理资料

半导体基本测试原理资料

1.测试原理

半导体器件的测试原理主要包括以下几个方面:

(1)电性能测试:电性能测试主要是通过对器件进行电流-电压(I-V)特性测试来评估器件的电气性能。通过在不同电压下测量器件的电流来得

到I-V曲线,从而确定器件的关键参数,如导通电压、截止电压、饱和电

流等。

(2)高频特性测试:高频特性测试主要是通过对器件进行射频(RF)

信号测试来评估其在高频工作状态下的性能。常用的高频特性测试参数包

括功率增益、频率响应、噪声系数等。

(3)温度特性测试:温度特性测试主要是通过对器件在不同温度条件

下的测试来评估其温度稳定性和性能。常用的测试方法包括恒流源和恒压

源测试。

(4)故障分析测试:故障分析测试主要是通过对器件进行故障分析来

确定其故障原因和解决方案。常用的故障分析测试方法包括失效分析、电

子显微镜观察和射线析出测试等。

2.测试方法

半导体器件的测试方法主要包括以下几个方面:

(1)DC测试:DC测试主要是通过对器件进行直流电流和电压的测试来

评估其静态电性能。常用的测试设备包括直流电源和数字电压表。

(2)RF测试:RF测试主要是通过对器件进行射频信号的测试来评估其

高频性能。常用的测试设备包括频谱分析仪、信号源和功率计。

(3)功能测试:功能测试主要是通过对器件进行各种功能的测试来评

估其功能性能。常用的测试方法包括逻辑分析仪和模拟信号源。

(4)温度测试:温度测试主要是通过对器件在不同温度条件下的测试

来评估其温度性能。常用的测试设备包括热电偶和恒温槽。

3.数据分析

半导体器件的测试结果需要进行数据分析和处理,以得到结果的可靠

半导体测试基础

半导体测试基础

半导体测试基础

第1节基础术语

描述半导体测试的专业术语很多,这里只例举部分基础的: 1. DUT

需要被实施测试的半导体器件通常叫做DUT(Device Under Test,我们常简称“被测器件”),或者叫UUT(Unit Under Test)。

首先我们来看看关于器件引脚的常识,数字电路期间的引脚分为“信号”、“电源”和“地”三部分。

信号脚,包括输入、输出、三态和双向四类,

输入:在外部信号和器件内部逻辑之间起缓冲作用的信号输入通道;输

入管脚感应其上的电压并将它转化为内部逻辑识别的“0”和“1”电平。

输出:在芯片内部逻辑和外部环境之间起缓冲作用的信号输出通道;输

出管脚提供正确的逻辑“0”或“1”的电压,并提供合适的驱动能力(电流)。

三态:输出的一类,它有关闭的能力(达到高电阻值的状态)。双向:拥有输入、输出功能并能达到高阻态的管脚。

电源脚,“电源”和“地”统称为电源脚,因为它们组成供电回路,有着与信号引脚不同的电路结构。

VCC:TTL器件的供电输入引脚。 VDD:CMOS器件的供电输入引脚。

VSS:为VCC或VDD提供电流回路的引脚。

GND:地,连接到测试系统的参考电位节点或VSS,为信号引脚或其他

电路节点提供参考0电位;对于单一供电的器件,我们称VSS为GND。

2.测试程序

半导体测试程序的目的是控制测试系统硬件以一定的方式保证被测器件达到或超越它的那些被具体定义在器件规格书里的设计指标。

测试程序通常分为几个部分,如DC测试、功能测试、AC测试等。DC测试验证电压及电流参数;功能测试验证芯片内部一系列逻辑功能操作的正确性;AC测试用以保证芯片能在特定的时间约束内完成逻辑操作。

ic半导体测试基础(中文版)

ic半导体测试基础(中文版)

本章节我们来说说最基本的测试——开短路测试(Open-Short Test),说说测试的目的和方法。

一.测试目的

Open-Short Test也称为ContinuityTest或Contact Test,用以确认在器件测试时所有的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接,并且没有信号引脚与其他信号引脚、电源或地发生短路。

测试时间的长短直接影响测试成本的高低,而减少平均测试时间的一个最好方法就是尽可能早地发现并剔除坏的芯片。Open-Short测试能快速检测出DUT是否存在电性物理缺陷,如引脚短路、bond wire缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等。

另外,在测试开始阶段,Open-Short测试能及时告知测试机一些与测试配件有关的问题,如ProbeCard或器件的Socket没有正确的连接。

二.测试方法

Open-Short测试的条件在器件的规格数或测试计划书里通常不会提及,但是对大多数器件而言,它的测试方法及参数都是标准的,这些标准值会在稍后给出。

基于PMU的Open-Short测试是一种串行(Serial)静态的DC测试。首先将器件包括电源和地的所有管脚拉低至“地”(即我们常说的清0),接着连接PMU到单个的DUT管脚,并驱动电流顺着偏置方向经过管脚的保护二极管——一个负向的电流会流经连接到地的二极管(图3-1),一个正向的电流会流经连接到电源的二极管(图3-2),电流的大小在100uA到500uA之间就足够了。大家知道,当电流流经二极管时,会在其P-N结上引起大约0.65V的压降,我们接下来去检测连接点的电压就可以知道结果了。

半导体测试基础

半导体测试基础

试基础——术语

括一下内容:

测试目的

测试术语

测试工程学基本原则

基本测试系统组成

PMU(精密测量单元)及引脚测试卡

样片及测试程序

术语

半导体测试的专业术语很多,这里只例举部分基础的:

被实施测试的半导体器件通常叫做DUT(Device Under Test,我们常简称“被测器件”),或者叫UUT(Unit Unde 我们来看看关于器件引脚的常识,数字电路期间的引脚分为“信号”、“电源”和“地”三部分。

脚,包括输入、输出、三态和双向四类,

输入:在外部信号和器件内部逻辑之间起缓冲作用的信号输入通道;输入管脚感应其上的电压并将它转化为内部逻辑输出:在芯片内部逻辑和外部环境之间起缓冲作用的信号输出通道;输出管脚提供正确的逻辑“0”或“1”的电压,并流)。

三态:输出的一类,它有关闭的能力(达到高电阻值的状态)。

双向:拥有输入、输出功能并能达到高阻态的管脚。

脚,“电源”和“地”统称为电源脚,因为它们组成供电回路,有着与信号引脚不同的电路结构。

VCC:TTL器件的供电输入引脚。

VDD:CMOS器件的供电输入引脚。

VSS:为VCC或VDD提供电流回路的引脚。

GND:地,连接到测试系统的参考电位节点或VSS,为信号引脚或其他电路节点提供参考0电位;对于单一供电的器程序

体测试程序的目的是控制测试系统硬件以一定的方式保证被测器件达到或超越它的那些被具体定义在器件规格书里的程序通常分为几个部分,如DC测试、功能测试、AC测试等。DC测试验证电压及电流参数;功能测试验证芯片内AC测试用以保证芯片能在特定的时间约束内完成逻辑操作。

ic半导体测试基础(中文版)

ic半导体测试基础(中文版)

本章节我们来说说最基本的测试——开短路测试(Open-Short Test),说说测试的目的和方法。

一.测试目的

Open-Short Test也称为ContinuityTest或Contact Test,用以确认在器件测试时所有的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接,并且没有信号引脚与其他信号引脚、电源或地发生短路。

测试时间的长短直接影响测试成本的高低,而减少平均测试时间的一个最好方法就是尽可能早地发现并剔除坏的芯片。Open-Short测试能快速检测出DUT是否存在电性物理缺陷,如引脚短路、bond wire缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等。

另外,在测试开始阶段,Open-Short测试能及时告知测试机一些与测试配件有关的问题,如ProbeCard或器件的Socket没有正确的连接。

二.测试方法

Open-Short测试的条件在器件的规格数或测试计划书里通常不会提及,但是对大多数器件而言,它的测试方法及参数都是标准的,这些标准值会在稍后给出。

基于PMU的Open-Short测试是一种串行(Serial)静态的DC测试。首先将器件包括电源和地的所有管脚拉低至“地”(即我们常说的清0),接着连接PMU到单个的DUT管脚,并驱动电流顺着偏置方向经过管脚的保护二极管——一个负向的电流会流经连接到地的二极管(图3-1),一个正向的电流会流经连接到电源的二极管(图3-2),电流的大小在100uA到500uA之间就足够了。大家知道,当电流流经二极管时,会在其P-N结上引起大约0.65V的压降,我们接下来去检测连接点的电压就可以知道结果了。

半导体元器件的测试方法

半导体元器件的测试方法

半导体元器件的测试方法

1.电压测试:电压测试是最常见的半导体元器件测试方法之一、通过

将正常工作电压施加到元器件的引脚上,观察其电压响应和电流波形,以

确定元器件是否正常工作。常用的电压测试设备包括数字万用表、示波器等。

2.电流测试:电流测试用于测量元器件引脚上的电流消耗。通过将测

试电流施加到元器件上,并测量其输出电流或引脚电流来判断元器件是否

符合规格。电流测试设备包括电流源、电流表等。

3.频率测试:频率测试常用于测试振荡器、时钟芯片等元器件。通过

输入一个特定的频率信号,并测试元器件的输出频率是否在规格范围内。

4.速度测试:速度测试用于测试元器件的响应时间和动态性能。常用

的测试方法包括上升时间、下降时间、传输延迟等。

5.温度测试:温度测试用于测试元器件在不同温度条件下的性能。通

过控制元器件周围的温度,并进行一系列测试来判断元器件在不同温度下

的工作稳定性和可靠性。常用的温度测试设备包括温度控制箱、热电偶等。

6.受限条件测试:受限条件测试用于测试元器件在不同电压、电流和

温度等受限条件下的性能。通过设定不同的工作条件,并对元器件进行测试,以确定元器件是否能够在不同条件下正常工作。

7.可靠性测试:可靠性测试用于测试元器件在长时间使用中的性能和

可靠性。通过将元器件在一定的环境条件下进行长时间运行,并进行一系

列测试,包括寿命测试、高温老化测试等,来评估元器件的寿命和可靠性。

除了上述常见的测试方法外,还有一些特殊的测试方法,例如ESD (静电放电)测试、EMC(电磁兼容)测试、射频测试等,这些测试方法主要针对特定类型的元器件以及特定的应用领域。

半导体测试基础

半导体测试基础

第1章半导体测试基础

第1节基础术语

描述半导体测试得专业术语很多,这里只例举部分基础得:

1.DUT

需要被实施测试得半导体器件通常叫做DUT (De viceUnderTest,我们常简称“被测器件”),或者叫u UT(Unit Unde r Test) <>

首先我们来瞧瞧关于器件引脚得常识,数字电路期间得引脚分为“信号”、“电源”与“地”三部分。

信号脚,包括输入、输出、三态与双向四类,

输入:在外部信号与器件内部逻辑之间起缓冲作用得信号输入通道;输入管脚感应其上得电压并将它转化为内部逻辑识别得“0"与电平.

输出:在芯片内部逻辑与外部环境之间起缓冲作用得信号输岀通道;输出管

脚提供正确得逻辑“ o ”或“r得电压,并提供合适得驱动能力(电流)。

三态:输岀得一类,它有关闭得能力(达到高电阻值得状态).

双向:拥有输入、输出功能并能达到高阻态得管脚。

电源脚,“电源”与“地”统称为电源脚,因为它们组成供电回路,有着与信号引脚不同得电路结构。

VCC: TTL器件得供电输入引脚.

VDD:CMOS器件得供电输入引脚。

VSS:为VCC或V D D提供电流回路得引脚。

GND:地,连接到测试系统得参考电位节点或VSS,为信号引脚或其她电路节点提供参考0电位;对于单一供电得器件,我们称VSS为GND・2.测试程序

半导体测试程序得口得就是控制测试系统硬件以一定得方式保证被测器件达到或超越它得那些被具体定义在器件规格书里得设计指标。

测试程序通常分为儿个部分,如DC测试、功能测试、AC测试等。DC测试验证电圧及电流参数;功能测试验证芯片内部一系列逻辑功能操作得正确性;AC 测试用以保证芯片能在特定得时间约束内完成逻辑操作。

ic半导体测试基础

ic半导体测试基础

本章节我们来说说最基本的测试——开短路测试(Open-Short Test),说说测试的目的和方法。

一.测试目的

Open-Short Test也称为ContinuityTest或Contact Test,用以确认在器件测试时所有的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接,并且没有信号引脚与其他信号引脚、电源或地发生短路。

测试时间的长短直接影响测试成本的高低,而减少平均测试时间的一个最好方法就是尽可能早地发现并剔除坏的芯片。Open-Short测试能快速检测出DUT是否存在电性物理缺陷,如引脚短路、bond wire缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等。

另外,在测试开始阶段,Open-Short测试能及时告知测试机一些与测试配件有关的问题,如ProbeCard或器件的Socket没有正确的连接。

二.测试方法

Open-Short测试的条件在器件的规格数或测试计划书里通常不会提及,但是对大多数器件而言,它的测试方法及参数都是标准的,这些标准值会在稍后给出。

基于PMU的Open-Short测试是一种串行(Serial)静态的DC测试。首先将器件包括电源和地的所有管脚拉低至“地”(即我们常说的清0),接着连接PMU到单个的DUT管脚,并驱动电流顺着偏置方向经过管脚的保护二极管——一个负向的电流会流经连接到地的二极管(图3-1),一个正向的电流会流经连接到电源的二极管(图3-2),电流的大小在100uA 到500uA之间就足够了。大家知道,当电流流经二极管时,会在其P-N结上引起大约的压降,我们接下来去检测连接点的电压就可以知道结果了。

半导体测试技术原理

半导体测试技术原理

半导体测试技术原理

半导体测试技术在现代电子行业中起着至关重要的作用。通过对半导体器件进行测试,我们可以确保其性能达到预期,提高产品质量和可靠性。本文将介绍半导体测试技术的原理和常见的测试方法。

一、半导体测试技术的背景

半导体器件是电子设备中的重要组成部分,由于其微小的尺寸和复杂的内部结构,其测试变得十分必要。半导体测试技术的发展可以追溯到上世纪70年代,随着半导体技术的快速发展,测试技术也在不断演进。现代半导体测试技术借助于先进的仪器设备和软件工具,可以对芯片、模块以及完整的电子系统进行全面的测试。

二、半导体测试技术的原理

1. 功能测试

功能测试是最基本的半导体测试方法之一。通过输入不同的电信号和控制信号到被测设备中,检查其输出是否与预期相符。这种测试方法可以进行诸如逻辑电路验证、数字信号处理器性能测试等。

2. 时序测试

时序测试是针对时序敏感的半导体器件的一种测试方法。通过对输入和输出信号的时序动态进行测量,验证器件在不同工作频率和时钟周期下的性能。这种测试方法广泛应用于高速通信和计算领域,确保设备在各种工作条件下都能正常工作。

3. 功耗测试

在半导体器件测试中,功耗测试是一项重要的指标。功耗测试可以评估设备在不同工作负载下的能源消耗情况。通过测量和监测设备的功耗,可以为电子设备的设计和优化提供重要的参考信息。

4. 温度测试

温度测试是一种常见的半导体测试方法,可以评估设备在不同温度下的性能和稳定性。由于半导体器件对温度敏感,温度测试能够帮助我们了解器件在极端环境下的表现,并为其设计提供改进方向。

半导体基本测试原理

半导体基本测试原理

半导体基本测试原理

半导体基本测试原理是指对半导体器件进行测试和验证其性能、可靠性和合格性的一系列测试方法和技术。半导体器件是电子设备的重要组成部分,包括集成电路、晶体管、二极管等。这些器件通常需要经过测试来验证其性能和质量,以确保在实际应用中能够正常工作。

1.电性能测试:电性能测试是对半导体器件的电参数进行测试,以确定其工作特性。这些测试通常包括静态电参数测试和动态电参数测试。静态电参数测试包括测量器件的电流、电阻和电容等静态电参数。动态电参数测试包括测量器件的启动时间、关断时间、开关时间和工作频率等。

2.可靠性测试:可靠性测试是对半导体器件在不同工作条件下的可靠性进行验证。这些测试通常包括温度老化测试、温湿度老化测试、震动测试和射频噪声测试等。通过这些测试,可以评估器件在不同环境条件下的可靠性和寿命。

3.结构测试:结构测试是对半导体器件的结构进行测试,以验证其制造工艺和结构是否符合设计要求。这些测试通常包括结构检测、工艺检测和缺陷检测等。结构测试可以用来检测器件内部的材料、形状和尺寸等参数,以判断器件是否制造良好。

4.功能测试:功能测试是对半导体器件的功能进行测试,以验证其是否符合设计要求。这些测试通常包括输入输出测试、工作状态测试和信号传输测试等。功能测试可以用来验证器件的逻辑功能、输入输出特性和信号传输路径等。

1.测试系统:半导体基本测试通常需要使用专门的测试设备和测试工具。测试系统通常包括测试仪器、测试程序和测试程序。测试仪器用于测

量器件的电参数和信号特性,测试程序用于控制测试仪器进行测试,测试夹具用于固定和连接被测试的半导体器件。

半导体基本测试原理资料

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半导体器件的基本测试原理包括以下几个方面:四端测量、电流和电压的测试、频率响应测试、功率测试和温度测试。

四端测量是指通过四个测量引脚来测量器件的电阻、电压和电流等参数。其中,两个接触引脚(即探头)用来加电流或电压,另外两个引脚用来测量电阻、电压或电流。通过四端测量,可以避免因测量线路的阻抗对测试结果的影响,提高测量精度。

电流和电压的测试是常见的半导体器件测试方法。电流测试通常使用万用表或特定的测试仪器来测量器件的电流流过行为,该测试方法主要用于了解器件的工作状态、特性和性能。电压测试通常使用数字电压表或万用表来测量电压的大小,该测试方法可用于了解器件的工作电压、电源电压和信号电压等。

频率响应测试是指通过测试器件的输入和输出信号的频率响应来了解器件在不同频率下的响应情况。频率响应测试通常使用函数发生器和示波器等仪器进行,通过改变输入信号的频率并测量输出信号的幅度和相位差等参数,可以了解器件在不同频率下的增益、相位和带宽等特性。

功率测试是指通过测试器件的功率消耗或功率放大等性能来了解器件的功耗情况。功率测试通常使用功率计或功率放大器等仪器进行,在给定的输入信号下测量器件的功率消耗或输出功率,从而了解器件的能效和功率特性。

温度测试是指通过测试器件的温度变化来了解器件的热特性。温度测试通常使用热电偶或红外测温仪等仪器进行,在器件工作时测量器件的温度变化情况,可以了解器件的散热性能和温度特性。

以上是半导体器件基本测试的几个方面,实际测试过程中可能会有更

多的细节和内容,不同类型的器件测试方法也会有所差异。在测试过程中,还需要注意仪器的精度和准确性,确保测试结果的可靠性和准确性。

ic半导体测试基础(中文版)

ic半导体测试基础(中文版)

本章节我们来说说最基本的测试——开短路测试(Open-Short Test),说说测试的目的和方法。

一.测试目的

Open-Short Test也称为ContinuityTest或Contact Test,用以确认在器件测试时所有的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接,并且没有信号引脚与其他信号引脚、电源或地发生短路。

测试时间的长短直接影响测试成本的高低,而减少平均测试时间的一个最好方法就是尽可能早地发现并剔除坏的芯片。Open-Short测试能快速检测出DUT是否存在电性物理缺陷,如引脚短路、bond wire缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等。

另外,在测试开始阶段,Open-Short测试能及时告知测试机一些与测试配件有关的问题,如ProbeCard 或器件的Socket没有正确的连接。

二.测试方法

Open-Short测试的条件在器件的规格数或测试计划书里通常不会提及,但是对大多数器件而言,它的测试方法及参数都是标准的,这些标准值会在稍后给出。

基于PMU的Open-Short测试是一种串行(Serial)静态的DC测试。首先将器件包括电源和地的所有管脚拉低至“地”(即我们常说的清0),接着连接PMU到单个的DUT管脚,并驱动电流顺着偏置方向经过管脚的保护二极管——一个负向的电流会流经连接到地的二极管(图3-1),一个正向的电流会流经连接到电源的二极管(图3-2),电流的大小在100uA到500uA之间就足够了。大家知道,当电流流经二极管时,会在其P-N 结上引起大约0.65V的压降,我们接下来去检测连接点的电压就可以知道结果了。

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第1章半导体测试基础

第1节基础术语

描述半导体测试的专业术语很多,这里只例举部分基础的:

1.DUT

需要被实施测试的半导体器件通常叫做DUT(Device Under Test,我们常简称“被测器件”),或者叫UUT(Unit Under Test)。

首先我们来看看关于器件引脚的常识,数字电路期间的引脚分为“信号”、“电源”和“地”三部分。

信号脚,包括输入、输出、三态和双向四类,

输入:在外部信号和器件内部逻辑之间起缓冲作用的信号输入通道;输入管脚感应其上的电压并将它转化为内部逻辑识别的“0”和“1”

电平。

输出:在芯片内部逻辑和外部环境之间起缓冲作用的信号输出通道;输出管脚提供正确的逻辑“0”或“1”的电压,并提供合适的驱动

能力(电流)。

三态:输出的一类,它有关闭的能力(达到高电阻值的状态)。

双向:拥有输入、输出功能并能达到高阻态的管脚。

电源脚,“电源”和“地”统称为电源脚,因为它们组成供电回路,有着与信号引脚不同的电路结构。

VCC:TTL器件的供电输入引脚。

VDD:CMOS器件的供电输入引脚。

VSS:为VCC或VDD提供电流回路的引脚。

GND:地,连接到测试系统的参考电位节点或VSS,为信号引脚或其他电路节点提供参考0电位;对于单一供电的器件,我们称VSS为

GND。

2.测试程序

半导体测试程序的目的是控制测试系统硬件以一定的方式保证被测器件达到或超越它的那些被具体定义在器件规格书里的设计指标。

测试程序通常分为几个部分,如DC测试、功能测试、AC测试等。DC测试验证电压及电流参数;功能测试验证芯片内部一系列逻辑功能操作的正确性;AC测试用以保证芯片能在特定的时间约束内完成逻辑操作。

程序控制测试系统的硬件进行测试,对每个测试项给出pass或fail的结果。Pass指器件达到或者超越了其设计规格;Fail则相反,器件没有达到设计要求,不能用于最终应用。测试程序还会将器件按照它们在测试中表现出的性能进行相应的分类,这个过程叫做“Binning”,也称为“分Bin”. 举个例子,一个微处理器,如果可以在150MHz下正确执行指令,会被归为最好的一类,称之为“Bin 1”;而它的某个兄弟,只能在100MHz下做同样的事情,性能比不上它,但是也不是一无是处应该扔掉,还有可以应用的领域,则也许会被归为“Bin 2”,卖给只要求100MHz的客户。

程序还要有控制外围测试设备比如Handler 和Probe 的能力;还要搜集和提供摘要性质(或格式)的测试结果或数据,这些结果或数据提供有价值的信息给测试或生产工程师,用于良率(Yield)分析和控制。

第2节正确的测试方法

经常有人问道:“怎样正确地创建测试程序?”这个问题不好回答,因为对于什么是正确的或者说最好的测试方式,一直没有一个单一明了的界定,某种情形下正确的方式对另一种情况来说不见得最好。很多因素都在影响着测试行为的构建方式,下面我们就来看一些影响力大的因素。

➢测试程序的用途。

下面的清单例举了测试程序的常用之处,每一项都有其特殊要求也就需要相应的测试程序:

●Wafer Test——测试晶圆(wafer)每一个独立的电路单

元(Die),这是半导体后段区分良品与不良品的第一道

工序,也被称为“Wafer Sort”、CP测试等.

∙∙∙ ●Package Test——晶圆被切割成独立的电路单元,且每

个单元都被封装出来后,需要经历此测试以验证封装过程

的正确性并保证器件仍然能达到它的设计指标,也称为

“Final Test”、FT测试、成品测试等。

●Quality Assurance Test——质量保证测试,以抽样检测

方式确保Package Test执行的正确性,即确保pass的产品

中没有不合格品。

●Device Characterization——器件特性描述,决定器件

工作参数范围的极限值。

●Pre/Post Burn-In ——在器件“Burn-in”之前和之后进

行的测试,用于验证老化过程有没有引起一些参数的漂

移。这一过程有助于清除含有潜在失效(会在使用一段时

间后暴露出来)的芯片。

●Miliary Test——军品测试,执行更为严格的老化测试标

准,如扩大温度范围,并对测试结果进行归档。

●Incoming Inspection ——收货检验,终端客户为保证购买

的芯片质量在应用之前进行的检查或测试。

●Assembly Verification ——封装验证,用于检验芯片经过

了封装过程是否仍然完好并验证封装过程本身的正确性。

这一过程通常在FT测试时一并实施。

●Failure Analysis ——失效分析,分析失效芯片的故障以

确定失效原因,找到影响良率的关键因素,并提高芯片的

可靠性。

➢测试系统的性能。

测试程序要充分利用测试系统的性能以获得良好的测试覆盖率,一些测试方法会受到测试系统硬件或软件性能的限制。

高端测试机:

●高度精确的时序——精确的高速测试

●大的向量存储器——不需要去重新加载测试向量

●复合PMU(Parametric Measurement Unit)——可进行并

行测试,以减少测试时间

●可编程的电流加载——简化硬件电路,增加灵活性

●PerPin的时序和电平——简化测试开发,减少测试时间

低端测试机:

●低速、低精度——也许不能充分满足测试需求

●小的向量存储器——也许需要重新加载向量,增加测试

时间

●单个PMU ——只能串行地进行DC测试,增加测试时间

●均分资源(时序/电平)——增加测试程序复杂度和测

试时间

➢测试环节的成本。

这也许是决定什么需要被测试以及以何种方式满足这些测试的唯一的最重要的因素,测试成本在器件总的制造成本中占了很大的比重,因此许多与测试有关的决定也许仅仅取决于器件的售价与测试成本。例如,某个器件可应用于游戏机,它卖15元;而同样的器件用于人造卫星,则会卖3500元。每种应用有其独特的技术规范,要求两种不同标准的测试程序。3500元的器件能支持昂贵的测试费用,而15元的器件只能支付最低的测试成本。

➢测试开发的理念。

测试理念只一个公司内部测试人员之间关于什么是最优的测试方法的共同的观念,这却决于他们特殊的要求、芯片产品的售价,并受他们以往经验的影响。在测试程序开发项目启动之前,测试工程师必须全面地上面提到的每一个环节以决定最佳的解决方案。开发测试程序不是一件简单的正确或者错误的事情,它是一个在给定的状况下寻找最佳解决方案的过程。

第3节测试系统

测试系统称为ATE,由电子电路和机械硬件组成,是由同一个主控制器指挥下的电源、计量仪器、信号发生器、模式(pattern)生成器和其他硬件项目的集合体,用于模仿被测器件将会在应用中体验到的操作条件,以发现不合格的产品。

测试系统硬件由运行一组指令(测试程序)的计算机控制,在测试时提供合适的电压、电流、时序和功能状态给DUT并监测DUT的响应,对比每次测试的结果和预先设定的界限,做出pass或fail的判断。

●测试系统的内脏

图2-1显示所有数字测试系统都含有的基本模块,虽然很多新的测试系统包含了更多的硬件,但这作为起点,我们还是拿它来介绍。

“CPU”是系统的控制中心,这里的CPU不同于电脑中的中央处理器,它由控制测试系统的计算机及数据输入输出通道组成。许多新的测试

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