61激光在精密测量中的应用激光干涉测长

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6 1 激光干涉测长
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图6-4 机械法移相原理图
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第六章激光在精密测量中的应用
6.1.2 激光干涉测长系统的组成
7.干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差π /2的干涉条纹的光强信号，该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差π /2的脉冲信号（图6-5）。
第六章激光在精密测量中的应用
6.1.2 激光干涉测长系统的组成
1. 除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。
2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总体布局有若干可能的选择。 3. 移相器也是干涉仪测量系统的重要组成部分。常用的移相方法有机械移相（图 6-4），翼形板移相，金属膜移相和偏振法移相。
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6 1 激光干涉测长
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图6-5 判向计数原理框图
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第六章激光在精密测量中的应用
6.1.3 激光干涉测长的其它方法
1. 第三反射镜系统的激光干涉测长仪
图6-6 第三反射镜系统仪的激光干涉
2.利用两个激光器输出的两束激光的ห้องสมุดไป่ตู้涉来测量非常微小的移动的测量装置。
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图6-7 利用两束激光的干涉测量微小移动
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