刘诺-半导体物理学-第一章
理学半导体物理学第一章
1.2半导体中的电子状态和能带
半导体材料大都是单晶体。单晶体是 由靠得很紧密的原子周期性重复排列 而成,相邻原子之间间距在nm量级, 因此半导体中电子状态肯定和单原子 的电子状态有所不同。
电子的共有化运动
共有化运动的能量
原子能级分裂为能带的示意图
金刚石型结构价电子能带示意图 导带 价带 禁带
半导体中电子的状态和能带
晶体中的原子与孤立原子的电子不同,也 和自由运动的电子不同。 单电子近似认为,晶体中某一个电子是在 周期性排列且固定不动的原子核势场和其 他大量电子的势场中运动。
研究发现,电子在周期性势场中运动的基 本特点和自由电子运动十分相似。
布里渊区与能带
简约布里渊区与能带
金刚石型结构的第一布里渊区
第一章 半导体中的电子状态
1.1半导体的晶格结构和结合性质 1.2半导体的电子状态和能带 1.3半导体中电子的运动 有效质量 1.4本征半导体的导电机构 空穴 1.5回旋共振 1.6硅和锗的能带结构
1.1半导体的晶格结构和结合性质
半导体的单晶材料和其他固态晶体材料一 样,是由大量原子周期性重复排列而成。每 个原子又包含原子核和核外电子。
1.金刚石型结构和共价键
Si,Ge都是第四周期的 元素,即外层有四个价 电子。硅、锗的结合依 靠共价键结合,组成金 刚石型结构。结构特点: 每一个原子周围有四个 最邻近的原子,这四个 原子分别处在四个顶角 上,任一顶角的原子和 中心原子各贡献一个价 电子为两个原子所共有。
四面体的结合
结晶学原胞
解释: 如果硅导带底附近等能面是沿[100]方 向的旋转椭球面,椭球长轴与该方向重合,那 么理论与实验结果一致。同时,导带最小值不 在k空间原点,在[100]方向上。
半导体物理Lesson01
半导体物理课程性质:专业必修 学分:3 成绩:作业,20%;期中考试,30%;期末考试,50%。
时间:本周:周三(3,4)、周五(3,4); 下周起:周三(2,3,4) 教室:Z2204授课:刘冉(Ran 授课:刘冉( Ran Liu) Liu)rliu@邯郸校区微电子学楼202室(55664548) 助教:方姜荣(082052060@) 瞿敏妮(072021077@) 刘宗明(072021059@)Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)本课程内容安排第一章 预备知识 第二章 半导体中的电子状态 第三章 半导体中的载流子统计分布 第四章 半导体中的载流子输运 第五章 非平衡载流子 第六章 p-n 结 第七章 金属-半导体接触 第八章 半导体表面 第九章 半导体光学性质 第十章 异质结Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)教材和参考资料教材:刘恩科,朱秉升,罗晋生 等,《半导体物理学》,国防工业 出版社(1994)参考资料: 上述教材相关章节引用的文献 叶良修,《半导体物理学》,高等教育出版社(1987) 刘文明,《半导体物理学》,高等教育出版社(1987) C. Kittel, “Introduction to Solid State Physics”, 7th Edition, (Wiley, 1995) P. Yu & M. Cardona , “Fundamentals of Semiconductors”, (Springer, 1996)Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)教学理念和目的教学理念“Is a student a vessel to be filled or a torchto be lit? lit?”From a US student newspaper “ELECTRIC”, 1959教学目的掌握并灵活应用半导体的基本知识 -Know “what? why? how?” 培养提出、分析及解决问题的能力Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)MotivationImportance of new semiconductor devices for modern civilization,Paul Romer (1990s) “The wealth is created by innovations and inventions, such as computer chips p .” 西方国家人均107 - 108 MOSFETs 电子工业是世界的最大工业 2005年中国进口集成电路总金额高达788.21亿美元,集成电路产品是中国外贸逆差最大的单项产品 2004年全球IC销量为2190亿美元,中国大陆生产其中的4%,可满足国内16%的需求.但大陆自行研发的产品,仅占世界总量的0.3% “国家中长期科学和技术发展规划纲要” (2006 ━ 2020年)确定的16个重大专项中,核心电子器件、高端通用芯片及基础软件,极大规模集 成电路制造技术及成套工艺,被列在前二位 IC是是知识高度密集的产业,中国仍缺乏大量的半导体行业的优秀人才Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)信息技术的发展1st electronic computer ENIAC (1946)Pentium IV1st computer(1832) 1st transistor Vacuum Tuber 1947Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)Transistor Scaling10 Minimum Feature SizeRed Blood Cell1000001 0.1Viruses90nm 90 65nm 45nm1000.01 1970198019902000201010 2020(From Mark Bohr, Intel)Transistor dimensions scale to improve performance and power and to reduce cost per transistorN Nanomet ers1 Microns s1000Economics of Moore’s Law1010 10 100 10-1 10-2As the number of transistors goes UP109 108 107Trans sistors per Chip C$p per Transistor10-3 10-4 10-5 10-6 10-7 ’70 ’75 ’80 ’85 ’90Price per transistor goes DOWN106 105 104 103’95’00’05Source: WSTS/Dataquest/Intel8晶体管的产量指数增长(Gordon Moore, Intel)Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)晶体管的单价指数下降(Gordon Moore, Intel)Semiconductor Physics – Ran Liu (2009)半导体产值指数上升(Gordon Moore, Intel)1.1 半导体概观1.2 量子力学基础1.3 晶体结构1.1 半导体概观1.2 量子力学基础1.3 晶体结构导体半导体绝缘体电阻率ρ(Ω⋅cm):10-6~10-410-4~109 > 109 禁带宽度E g (eV):0 0~4 > 4什么是半导体电阻率的杂质敏感性纯Si300 K ρ~ 2×105Ω⋅cm掺入10-6(原子比)B 硼ρ~ 0.4 Ω⋅cm电阻率的温度敏感性金属:正的温度系数半导体:很大的负温度系数电阻率的光照敏感性CdS光敏电阻元素半导体:IV(Si, Ge), V(P), VI(Se, Te, S)化合物半导体:III-V (GaAs, AlAs,GaN, InP,…), II-VI(CdTe, CdSe, ZnSe, …), V-VI(SnTe, …)氧化物半导体: CuO, Cu2O, ZnO, …有机半导体: Polyacetylene([(CH2)n])(聚乙炔), 磁性半导体: Cd1-x Mn x Te, EuS, …Bridgman(区熔法)方法: 体材料化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition, CVD) 分子束外延(Molecular Beam Epitaxy-MBE) 原子层淀积(Atomic Layer Deposition-ALD)液相外延(Liquid Phase Epitaxy)1833: Michael Faraday 报道了AgS 电阻率的负温度效应, “Experimental Researches inElectricity”, Bernand Quaritch, London (1839). 1873: Willoughby Smith 发现Se 内光电效应, "Effect of Light on Selenium during the passage of an Electric Current ", Nature, 20 (1873). 1874: Ferdinand Braun 发现PbS 整流效应, “Über die Stromleitung durch Schwefelmetalic ”, Annalen der Physik and Chemie, (1874).半导体的发展简史-19世纪1875: Werner von Siemens 发明Se 光度计1897: Jagadish Chandra Bose 金属/半导体/金属(MSM) 电磁波探测器-半导体器件的先驱1907: Henry Joseph Round 发现SiC的电荧光1911: J. Königsberger and J. Weiss 首次引入了术语半导体,“Halbleiter”(semiconductor), Ann.Phys. 35, 1 (1911)为何半导体在19世纪和20世纪初没有被广泛应用?Lack of theoretical foundation was also a reason why these materials did not find the attention of the 19th century scientists. The intriguing properties could not be explained by classical physics of the pre quantum era. In the 1930s a complete theoretical foundation of semiconductors was established.-Asif Islam Khan,“Pre-1900 Semiconductor Research and Semiconductor Device Applications”1940:Russell Ohl演示Si“p-n”结1947: Bardeen, Brattain, andShockley 发明第一个(点接触)晶体管1949: William Shockley开发了第一个结晶体管.19561957: Herbert Kroemer和ZhoresAlferov提出半导体异质结构(Heterostructure)1958: John Kilby and Robert Noyce发明集成电路, Integrated Circuit (IC).20001958: Leo Esaki发现了隧道二极管(Esaki diode).1960: David Kahn and John Atalla演示首个金属/氧化物/半导体场效应晶体管(MOSFET).1962: Nick Holonyak, Bardeen的第一个学生, 用GaAsP发明了首个实用的光电二极管,light-emitting diode (LED).19731963: John Gunn 在GaAs和InP中发现微波振荡效应(Ridley-Watkins-Hilsum-Gunn effect).1963: Frank Wanlass and Chih-Tang Sah首次提出Complementary MOS(CMOS)的技术.1977: Alan J. Heeger, Alan G. MacDiarmid and Hideki Shirakawa发现有机导体和半导体2000化学奖1965: Gordon Earl Moore 提出著名的摩尔定律.1975:P. W. Anderson, N. F. Mott 创立非晶态半导体理论。
半导体物理学(刘恩科第七版)半导体物理学课本习题解一到四章
半导体物理学(刘恩科第七版)半导体物理学课本习题解⼀到四章第⼀章1.设晶格常数为a 的⼀维晶格,导带极⼩值附近能量E c (k)和价带极⼤值附近能量E V (k)分别为:E c =0220122021202236)(,)(3m k h m k h k E m k k h m k h V -=-+ 0m 。
试求:为电⼦惯性质量,nm a ak 314.0,1==π(1)禁带宽度;(2)导带底电⼦有效质量; (3)价带顶电⼦有效质量;(4)价带顶电⼦跃迁到导带底时准动量的变化解:(1)eVm k E k E E E k m dk E d k m kdk dE Ec k k m m m dk E d k k m k k m k V C g V V V c 64.012)0()43(0,060064338232430)(2320212102220202020222101202==-==<-===-==>=+===-+ 因此:取极⼤值处,所以⼜因为得价带:取极⼩值处,所以:在⼜因为:得:由导带:043222*83)2(1m dk E d mk k C nC===sN k k k p k p m dk E d mk k k k V nV/1095.7043)()()4(6)3(25104300222*11-===?=-=-=?=-== 所以:准动量的定义:2. 晶格常数为0.25nm 的⼀维晶格,当外加102V/m ,107 V/m 的电场时,试分别计算电⼦⾃能带底运动到能带顶所需的时间。
解:根据:t k hqE f ??== 得qEkt -?=? sat sat 137192821911027.810106.1)0(1027.810106.1)0(----?=??--==--=ππ补充题1分别计算Si (100),(110),(111)⾯每平⽅厘⽶内的原⼦个数,即原⼦⾯密度(提⽰:先画出各晶⾯内原⼦的位置和分布图)Si 在(100),(110)和(111)⾯上的原⼦分布如图1所⽰:(a )(100)晶⾯(b )(110)晶⾯(c )(111)晶⾯补充题2⼀维晶体的电⼦能带可写为)2cos 81cos 87()22ka ka ma k E +-= (,式中a 为晶格常数,试求(1)布⾥渊区边界;(2)能带宽度;(3)电⼦在波⽮k 状态时的速度;(4)能带底部电⼦的有效质量*n m ;(5)能带顶部空⽳的有效质量*p m解:(1)由0)(=dk k dE 得 an k π= (n=0,±1,±2…)进⼀步分析an k π)12(+= ,E (k )有极⼤值,214221422142822/1083.7342232212414111/1059.92422124142110/1078.6)1043.5(224141100cm atom a a a cm atom a a a cm atom a a ?==?+?+??==?? +?+?=?==?+-):():():(222)mak E MAX =( ank π2=时,E (k )有极⼩值所以布⾥渊区边界为an k π)12(+=(2)能带宽度为222)()ma k E k E MIN MAX =-( (3)电⼦在波⽮k 状态的速度)2sin 4 1(sin 1ka ka ma dk dE v -== (4)电⼦的有效质量)2cos 21(cos 222*ka ka mdkEd m n-== 能带底部 an k π2=所以m m n 2*= (5)能带顶部 an k π)12(+=,且**n p m m -=,所以能带顶部空⽳的有效质量32*mm p =第⼆章1. 实际半导体与理想半导体间的主要区别是什么?答:(1)理想半导体:假设晶格原⼦严格按周期性排列并静⽌在格点位置上,实际半导体中原⼦不是静⽌的,⽽是在其平衡位置附近振动。
半导体物理第一章习题答案
半导体物理第一章习题答案半导体物理第一章习题答案在半导体物理学的学习中,习题是非常重要的一部分。
通过解答习题,我们可以加深对理论知识的理解,巩固所学内容,并培养解决问题的能力。
下面是一些关于半导体物理第一章的习题及其答案,希望对大家的学习有所帮助。
1. 什么是半导体?答:半导体是介于导体和绝缘体之间的材料。
它的导电性介于导体和绝缘体之间,可以通过施加外界电场或温度的变化来改变其电导率。
2. 半导体的能带结构有哪些特点?答:半导体的能带结构具有以下特点:- 价带和导带之间存在禁带,禁带宽度决定了材料的导电性能。
- 价带和导带中的能级数目与电子数目之间存在关联,即保持电中性。
- 价带和导带中的电子分布符合费米-狄拉克分布。
3. 什么是载流子?答:载流子是指在半导体中参与电流传输的带电粒子。
在半导体中,载流子主要有电子和空穴两种类型。
4. 什么是固有载流子浓度?答:固有载流子浓度是指在材料中由于温度引起的自发激发和热激发所产生的载流子浓度。
它与材料的能带结构和温度有关。
5. 什么是掺杂?答:掺杂是指向纯净的半导体中加入少量杂质,通过改变杂质的电子结构来改变半导体的电导性能。
掺杂分为n型和p型两种。
6. 什么是pn结?答:pn结是由n型和p型半导体通过扩散或外加电场形成的结构。
在pn结中,n型半导体中的自由电子会扩散到p型半导体中,而p型半导体中的空穴会扩散到n型半导体中,形成电子-空穴复合区域。
7. 什么是势垒?答:势垒是指pn结两侧带电粒子所形成的电场引起的电位差。
势垒的存在导致了电子和空穴的扩散和漂移,从而产生电流。
8. 什么是正向偏置和反向偏置?答:正向偏置是指在pn结上施加外加电压,使得p区的正电荷和n区的负电荷相吸引,势垒减小,电流得以流动。
反向偏置是指在pn结上施加外加电压,使得p区的负电荷和n区的正电荷相吸引,势垒增大,电流被阻断。
9. 什么是击穿?答:击穿是指在反向偏置下,当外加电压达到一定值时,pn结中的电场强度足够大,使得势垒被完全破坏,电流急剧增大的现象。
半导体物理学第一章
SEMICONDUCTOR PHYSICS
1
半导体物理学
• 教材:
– 《半导体物理学》 (第七版),刘恩 科等编著,电子 工业出版社
半导体物理学(前九章)
一.半导体中的电子状态
二.半导体中杂质和缺陷能级
三.半导体中载流子的统计分布
四.半导体的导电性
五.非平衡载流子
六.pn结
七.金属和半导体的接触 八.半导体表面与MIS结构 九.半导体异质结构
半导体物理学固态电子学分支之一微电子学光电子学研究在固体主要是半导体材料上构成的微小型化器件电路及系统的电子学分支学科电子学电荷电子学微电子学亚微米尺度纳电子学纳米尺度微电子学研究领域?半导体器件物理?集成电路工艺?集成电路设计和测试微电子学发展的特点向高集成度低功耗高性能高可靠性电路方向发展与其它学科互相渗透形成新的学科领域
练习1答案
1。写出三种立方单胞的名称,并分别计算 单胞中所含的原子数。(1,2,4) 2. 计算金刚石型单胞中的原子数。(8)
第1章 半导体中的电子状态
• 1.1 半导体的晶格结构和结合性质 1.2 半导体中的电子状态和能带 1.3 半导体中电子的运动 有效质量 1.4 本征半导体的导电机构 空穴 1.5 回旋共振 1.6 硅和锗的能带结构 1.7 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的能带结构 1.8 Ⅱ-Ⅵ族公合物半导体的能带结构 1.9 SI1-xGex合金的能带 1.10 宽禁带半导体材料
Ga
Ga As Ga As
Ga Ga
Si Si
Si Si Si Si Si
Ga
Ga As Ga Si Ga As Ga
Ga
Si
Ga
Ga
Silicon, a = 5.43 Å (diamond structure)
半导体物理第一章
个原子周围的情况完全相同,则这种原子所组成的网格称为
简单晶格。 简单晶格。 复式晶格:如果晶体由两种或两种以上原子组成, 复式晶格:如果晶体由两种或两种以上原子组成,同种 原子各构成和格点相同的网格,称为子晶格, 原子各构成和格点相同的网格,称为子晶格,它们相对位移 子晶格 而形成复式晶格。 而形成复式晶格。 复式晶格
1991年 恩格勒等用 年 恩格勒等用STM在镍单晶表面遂个移 在镍单晶表面遂个移 动氙原子拚成了字母IBM,每个字母长 纳米, 纳米, 动氙原子拚成了字母 ,每个字母长5纳米
15
Carbon: 电子构型 :1s22s22p2 • 石墨:导电,疏松 导电, 导电
sp2
范德瓦尔斯力
16
• 金刚石
绝缘体 硬度高
12
晶体的宏观特性: 晶体的宏观特性: 自限性、晶面角守恒、解理性、晶体的各向异性、 自限性、晶面角守恒、解理性、晶体的各向异性、 对称性、固定的熔点。 对称性、固定的熔点。 晶体为什么具有这些宏观特性呢? 晶体为什么具有这些宏观特性呢? 晶体的宏观特性是由晶体内部结构的周期性决 定的,即晶体的宏观特性是微观特性的反映。 定的,即晶体的宏观特性是微观特性的反映。
• 富勒烯
sp3 共价键
17
晶体结构
晶体结构基本概念 • 晶格: 晶体中原子的规则排列 晶格: • 晶体结构:晶体中原子的具体排列形式 晶体结构: • 配位数:晶体结构中每个原子周围的最近邻原子数 配位数:
18
(a)
(b)
(c)
(a)、(b)、(c)为二维晶体结构示意图,它们有何异同 ) ) )为二维晶体结构示意图,它们有何异同?
20
基元、格点和晶格
(a) )
(b) )
(第一章)半导体物理ppt课件
下这些部分占满的能带中的电子将参与导电。由于绝缘
体的禁带宽度很大,电子从价带激发到导带需要很大能
量,所以通常温度下绝缘体中激发到导带去的电子很少,
导电性差;半导体禁带比较小(数量级为1eV),在通常
温度下有不少电子可以激发到导带中去,所以导电能力
比绝缘体要好。
最新课件
27
§1.3 半导体中电子(在外力下)的运动 及有效质量
§1.1半导体中的电子状态和能带
§1.1.2电子在周期场中的运动——能带论
⒉波函数
德布罗意假设:一切微观粒子都具有波粒二象性。 自由粒子的波长、频率、动量、能量有如下关系
Eh P h k
即:具有确定的动量和确定能量的自由粒子,相当 于频率为ν和波长为λ的平面波,二者之间的关系 如同光子与光波的关系一样。
书中(1-13)
最新课件
16
§1.1半导体中的电子状态和能带
§1.1.2电子在周期场中的运动——能带论
布洛赫曾经证明,满足式(1-13)的波函数一定具有 如下形式:
k(x)uk(x)eikx 书中(1-14)
式中k为波数,u k ( x是) 一个与晶格同周期的周期性函 数,即:
uk(x)uk(xna)
1.3.1半导体导带中E(k)与k 的关系
定性关系如图所示 定量关系必须找出E(k)函数带底附近E(k)与k的关 系
用泰勒级数展开可以近似求出极值附近的E(k)与k 的关系,以一维情况为例,设能带底位于k=0,将 E(k)在E ( kk =) 0E 附(0 近) 按(d 泰d勒)E k k 级0k 数 展1 2(开d d 2 ,E 2k )取k 0 至k2 k项2 ,得到
K=0时能量极小,所以(ddEk)k0k ,0因而
半导体物理第一章
对称点 Γ X L K
2006-7-15
k
kx= 0, ky= 0, kz= 0
kxk=i=±±1/2a/,ak, yk=j=±0,1k/ak=,
0 kz=
±1/a
kx= ±3/4a, ky= ±3/4a, kz=0
对称点 布里渊区中心 边界与<100>轴交点 边界与<111>轴交点 边界与<110>轴交点
半导体物理
西安交通大学电信学院微电子研究所 刘卫华 Email:lwhua@ 联系电话:82663343(0) 办公室:西一楼C段145室;
1
关于本课程
教学形式:多媒体课堂教学+习题课+实 验
考核方式:作业15%+考勤5%+考试80% 答疑:时间:----;地点:----
ψ
kψ
* k
=
uk (x)uk* (x)
显然也是与晶格同周期的函数:
ψ
kψ
* k
2006-7-15
31
一维晶格的(E-k关系)能带结构
−3
−1
−1
2a
a
2a
1
1
3
2a
a
2a
求解克龙尼克-潘纳模型,利用布洛赫定理,我们最终可获
得上图所示的E(k)~k关系,其特征在于当 k = n / 2a(n为整
•
一维晶格周期性势场示意图
2006-7-15
29
简化势函数—克龙尼克-潘纳模型
为了得到电子在周期性势场的运动规律,需要求 解如下形式的薛定谔方程
− h2 2m0
d 2ψ (x)
dx2
+V (x)ψ (x)
《半导体物理学》刘恩科课后答案
d 2 EC dk 2
= 2h2 3m0
+ 2h2 m0
= 8h2 3m0
;∴
mn=
h2
/
d 2 EC dk 2
=
3 8
m0
③价带顶电子有效质量 m’
d 2 EV dk 2
=
− 6h2 m0
,∴ mn'
=
h2
/
d 2 EV dk 2
=
−
1 6
m0
④准动量的改变量
h △k= h (kmin-kmax)=
r1,n
=
ε
r
(
m0 mn∗
) ⋅ a0
= 17 ×
1 × 0.53 0.015
=
600.67 A
8. 磷化鎵的禁带宽度 Eg = 2.26eV ,相对介电常数 εr = 11.1 ,空穴的有效质量 m∗p = 0.86m0 , m0 为电子的惯性质量,求ⅰ)受主杂质的电离能,ⅱ)受主所若
束缚的空穴基态轨道半径。
第二章 半导体中的杂志和缺陷能级
第 2 题,第 3 题 略 7. 锑化铟的禁带宽度 Eg = 0.18eV ,相对介电常数 εr = 17 ,电子的有效质量
mn∗ = 0.015m0 ,m0 为电子的惯性质量,求ⅰ)施主杂质的电离能,ⅱ)施主的若 束缚电子基态轨道半径。
[解]: ΔED
=
mn∗ m0
cosθ = 0
当 cosθ = 1 时, cos2 θ = 1
2
2
sin2 θ = 1 2
得: mn* = mtt
2ml mt + ml
当 cosθ = 0 时: cos2 θ = 0
sin2 θ = 1
01.第一章 半导体物理基础2
1000 500 200 100 50 20 10000 5000 2000 1000 500 200 100
1 0
1 4
20 10 5
µ p, Dp
1 0
1 5
2 1
1 0
1 6
1 0
1 7
GaAs
200 100 50
µ n , Dn
µ p , Dp
20 10 5
1018 1019 10 20
半导体物理基础 第一章 半导体物理基础
载流子漂移
和
J p = qpµ p E
vx = µ p E
JP E y = ( ) Bz = RH J P Bz . qp 1 称为霍耳系数 RH ≡ . qp
J P Bz ( I / A) Bz IBzW 1 p= = = = . qRH qE y q(VH / W ) qVH A
其中方程式右边的所有量皆可被测量出。可见,载流子浓度及 半导体的导电类型均可直接从霍耳效应测量中获得。 对n型半导体而言,亦可获得类似 的结果,但其霍耳系数为负
E y = vx Bz
I +
V
-
时达到平衡,在y方向产生一电势差。这一现象称为霍耳效应 霍耳效应。 霍耳效应
半导体物理基础 第一章 半导体物理基础
载流子漂移
霍耳效应的意义
可直接测量载流子浓度 判别半导体导电类型 证实空穴以带电载流子方式存在的最令人信服的方法之一。
半导体物理基础 第一章 半导体物理基础 理论依据 根据 所以 其中 因此
1
N-GaAs N-Si
10-1
10-2
10-3
10-4
12 10
13 10
14 10
半导体物理第1章半导体的晶体结构与价键模型
•成键的条件:成键原子得失电子的能力相当或是差别较小 •非极性共价键:元素半导电体子科的技大相学 邻刘诺原子吸引电子的能力一样,
共用电子对不会发生偏移
共价键的特征
方向性
原子只在特定方向形成共价键 键之间的夹角都是109°28´
饱和性
每个原子的价电子层都是满的
离子键:原子首先转变为正、负离子,然后正、负离
例:晶面指数?
晶面指数(1/2, 1/2, 1/1)-> (112)
电子科技大学 刘诺
弥勒(Miller)指数:晶向指数
晶向指数描述特定的晶向
电子科技大学 刘诺
第1章 半导体的晶体结构与价键模型
1.1 材料和晶体的分类 1.2 晶面、晶向和勒指数 1.3 原子价键 1.4三维晶体结构的定性描述 1.5π电子体系晶体结构简介 1.6小结
• 晶向指数:[hkl] • 等效晶向指数:<hkl> • 等效晶面指数:{hkl}
电子科技大学 刘诺
弥勒(Miller)指数:晶面指数
(110)面
电子科技大学 刘诺
晶面指数
确定方法
(110)面
晶面与坐标轴相交
确定晶面在三个坐标轴上的截距(1, 1, ∞ )的数值 取截距的倒数(1/x, 1/y, 1/z)= (110) (1/x, 1/y, 1/z)乘以电子最科技小大学公刘诺分母= (110)
[2] 黄昆,谢希德.半导体物理学。北京:科学出版社,1965.
[3] 黄昆,韩汝琦.半导体物理基础。北京:科学出版社,1979.
[4] 刘恩科,朱秉升,罗晋生. 半导体物理学。北京:电子工业出版社,2005.
[5] 萨支唐. 固态电子学基础。上海:复旦大学出版社,2002.
半导体物理学(刘恩科第七版)课后习题解第1章习题解
半导体物理学 第一章习题(公式要正确显示,请安装字体MT extra)1.设晶格常数为a 的一维晶格,导带极小值附近能量E c (k)和价带极大值附近能量E V (k)分别为: ........................................................................................... 1 2. 晶格常数为0.25nm 的一维晶格,当外加102V/m ,107 V/m 的电场时,试分别计算电子自能带底运动到能带顶所需的时间。
(3)1.设晶格常数为a 的一维晶格,导带极小值附近能量E c (k)和价带极大值附近能量E V (k)分别为:220122021202236)(,)(3Ec m k m k k E m k k m k V0m 。
试求:为电子惯性质量,nm a ak 314.0,1(1)禁带宽度;(2)导带底电子有效质量; (3)价带顶电子有效质量;(4)价带顶电子跃迁到导带底时准动量的变化解:10911010314.0=ak(1)J m k m k m k E k E E m k k E E k m dk E d k m kdk dE J m k Ec k k m m m dk E d k k m k k m k dk dE V C g V V V V c C 17312103402120122021210122022202173121034021210202022210120210*02.110108.912)1010054.1(1264)0()43(6)(0,0600610*05.310108.94)1010054.1(4Ec 43038232430)(232因此:取极大值处,所以又因为得价带:取极小值处,所以:在又因为:得:由导带:043222*83)2(1m dk E d mk k C nCs N k k k p kp m dk E d m k k k k V nV/1095.71010054.14310314.0210625.643043)()()4(6)3(2510349341043222*1所以:准动量的定义:2. 晶格常数为0.25nm 的一维晶格,当外加102V/m ,107V/m 的电场时,试分别计算电子自能带底运动到能带顶所需的时间。
半导体物理学刘恩科第一章p
2p
2p
2p
2s
2s
2s
• 电子受到另一原子的作用 能级分裂 • 两个原子越靠近,能级分裂越厉害!
1s 原子间距
➢ 晶体中原子周期性紧密排列 电子共有化运动:
• 电子只能在相似壳层中转移
• 只有最外层电子的共有化运动才显著!(交叠程度)
电子只能在相似壳层中转移 能级分裂成N个:一般N 很大
3. 具有波粒二象性的微观粒子,其运动不能再 用经典力学来描述,粒子状态用波函数表示, 而决定其状态变化的方程是薛定谔方程,而 不再是牛顿运动方程
➢自由电子的波函数和能量
自由电子:在恒定势场中运动,即处处不受力 U (r) U0
先看最简单情形:一维,质量 m0,且取 U0 0
故自由电子的波函数为:
化学键: 共价键+离子键 (离子键占优势)
(001)面是两类原子各自 组成的六方排列的双原子 层按ABABA…顺序堆积
➢纤锌矿型结构和混合键
– Ⅱ-Ⅵ族二元化合物半导体也可为纤锌矿型结构:
➢基础结构仍为
正四面体结构
➢具有六方对称性
晶格常数 a、c
➢复式晶格
c
a
• 纤锌矿型结构和混合键
– 注意几点:
2. 三维情形: 沿 k方向传播的平面波
(r,
t
)
(r)
f
(t)
Aexp[i(k
r t )]
3. 自由电子波函数的强度| (r, t) |2 A2,说明任意时刻
在空间中任意一点找到自由电子的几率相等,这符合
其“自由”之意
➢自由电子的波函数和能量
– 注意几点:
4. 自由电子能量、动量、速度与波矢之间的关系为:
《半导体物理第一章》课件
3
1.3.3 pn结的I-V特性
详细解释pn结的I-V特性曲线,包括正向和反向电流的变化。
1.4 光电应及其在太 阳能电池中的应用。
2 1.4.2 光电二极管
阐述光电二极管的原理 及其在通信和显示技术 中的应用。
3 1.4.3 光电池
讨论光电池的构造、工 作原理和应用领域。
1.5 半导体器件的制作技术
晶体生长
介绍半导体晶体生长方法和技 术,如Czochralski法和液相外 延。
晶体制备
讨论半导体晶体的切割、抛光 和清洗等制备工艺。
制作半导体器件
概述半导体器件制作的关键步 骤,包括光刻、扩散和金属沉 积等工艺。
1.6 总结与展望
1.6.1 半导体物理的应用前景
评估半导体物理在电子技术、通信和能源领域 的未来发展。
1.1 半导体材料的基本性质
半导体的定义
介绍半导体的定义,以及其与导体和绝缘体的区别。
半导体的基本性质
探讨半导体的导电性、禁带宽度、载流子等基本特性。
半导体的能带结构
解释能带理论,讨论导带与禁带之间的能量差异对电子行为的影响。
1.2 掺杂半导体
1.2.1 掺杂的概念
介绍半导体掺杂的概念,包 括n型和p 型半导体的区别。
《半导体物理第一章》 PPT课件
An engaging and comprehensive introduction to the fundamental properties of semiconductor materials and their applications in electronic devices.
1.2.2 正、负离子掺 杂
说明正、负离子掺杂对半导 体电子结构的影响。
半导体物理第一章PPT 刘恩科 国防工业出版社(含答案)(教材)
[ (k x
k0x )2 m*x
(k y
k0y )2
m
* y
(k z
k0z )2 )] m*z
1 1 2E
m
* x
h2
(
k
2 x
) k0
1 1 2E
m
* y
h2
(
k
2ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱy
) k0
1 1 2E
m
* z
h2
(
k
2 z
) k0
上式可改写为
(kx k0x )2 2m*x (E Ec )
E hv h
u hk m0
半导体中电子的加速度
▪ 半导体中电子在一强度为 E的外加电场作用 下,外力对电子做功为电子能量的变化
u 1 dE
dE fds fudt h dk dE f dE dt
f h dk
h dk
dt
a
du dt
1 h
d dt
(dE ) dk
▪ 在导带底部,波数 k 0,附近k值很小,将
E(k) 在 k 0 附近泰勒展开
E(k
)
E(0)
(
dE dk
)k
0
k
1 2
(
d2E dk 2
)k 0
k
2
....
E(k)
E(0)
1 2
(
d2E dk 2
)k 0
k
2
半导体中E(K)与K的关系
E(k)
E(0)
半导体物理第一章习题答案
第1章半导体中的电子状态补充题1、室温下自由电子的热速度大约是105m/s ,试求其德布洛意波长。
解:该自由电子的动量为3152609.1110109.1110kg.m/s P m v --==⨯⨯=⨯按德布洛意关系,可知其德布洛意波长349261 6.625107.2710m 7.27nm 9.1110h k P λ---⨯====⨯=⨯ 补充题2、参照元素周期表的格式列出可直接构成或作为化合物组元构成半导体的各主要元素,并按共价键由强到弱的顺序写出两种元素半导体和八种化合物半导体,并熟记例如:金刚石、硅、碳化硅、GaAs 、GaN 、ZnS 、CdS 、Cu 2O1.设晶格常数为a 的一维晶格,导带极小值附近能量E C (k )和价带极大值附近能量E V (k )分别为22222222110000()3()()36c v h k k h k h k h k E k E k m m m m -=+=-和 , m 0为电子惯性质量,k 1 =(2a)-1,a = 0.314 nm 。
试求:①禁带宽度;②导带底电子有效质量; ③价带顶电子有效质量;④价带顶电子跃迁到导带底时准动量的变化。
解:⑴求禁带宽度即求导带极小值与价带极大值之差。
由0)(23201202=-+=m k k h m k h dk dE C 知导带在ak k C 83431==处有其唯一的极小值22222min 200013()328()()3816c h h h a a E m am m a -=+= 同理,由0602=-=m kh dk dE V 知价带在k V =0处有其唯一的极大值2022102max 246)(am h k m h E V == 于是知禁带宽度202202202max min 482416)()(am h a m h a m h E E E V C g =-=-= 代入数据h =6.625⨯10-34J ⋅s ,m 0=9.1⨯10-31kg ,a =0.314nm=3.14⨯10-10m ,并利用单位换算1J =0.625⨯1018eV ,最后得eV 64.0=g E⑵按电子有效质量的定义,欲求导带底电子的有效质量须首先求出导带极小值附近E (k )函数二阶导数的值。
半导体物理学(第一章)
n=1 2个电子
15
Si 半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
原子的能级的分裂 4个原子能级的分裂 个原子能级的分裂
孤立原子的能级
16
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
大量原子的能级分裂为能带
17
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
Si的能带(价带、导带和带隙) 的能带(价带、导带和带隙)
37
k = kx + k y + kz
2 2 2
2
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
具有确定能量E的全部 点 具有确定能量 的全部k点 的全部
r r r r k = kx + k y + kz
构成一个封闭的曲面, 构成一个封闭的曲面,称为等能面 理想的等能面为k空间的一个球面 理想的等能面为 空间的一个球面
4、无论是自由电子还是晶体材料中的电子,他们 、无论是自由电子还是晶体材料中的电子, 在某处出现的几率是恒定不变的。 在某处出现的几率是恒定不变的。 ( ) 5、分别叙述半导体与金属和绝缘体在导电过程中 、 的差别。 的差别。
30
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
与波矢k的关系 三、半导体中能量E与波矢 的关系 半导体中能量 与波矢
gap gap
3
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
硼 铝 锌 镓 镉 铟
碳 硅 锗 锡
氮 氧 磷 硫 砷 硒 锑 碲
4
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
运动的描述
Minkowski空间:
x,y,z,ict px,py,pz,iE/c
【精编】第一章半导体材料绪论.PPT课件
(2)半导体材料工艺
另一方面的突破是半导体材料工艺的发展
半导体材料工艺可概括为提纯、单晶制备和杂质 控制。
1)杂质的概念
杂质包括物理杂质和化学纯度 物理杂质--晶体缺陷,包括位错和空位等 化学杂质--是指基体以外的原子以代位或填
隙等形式掺入 现在,半导体材料的纯度达到并超过了
99.9999999%,常称为“九个9”
1946年1月,贝尔实验室正式成立了固体物理研究组,其宗 旨就是要对固体物理学进行深入探讨,从而指导半导体器件 的研制。
第一章半导体材料绪论.
《半导体材料》教材
教材: 《半导体材料》,邓志杰等编,化学工业出版社
参考书目: 1. 《半导体材料》杨树人 等编,科学出版社
2. 《半导体物理学》刘思科等编,国防工业出版社
讲课内容
第一章 绪论 第二章 半导体材料的基本性质 第三章 元素半导体材料 第四章 化合物半导体材料 第五章 固溶体半导体材料 第六章 非晶、有机和微结构半导体材料 第七章 半导体器件基础 第八章 半导体电子材料 第九章 半导体光电子材料 第十章 其他半导体材料 第十二章 半导体材料的制备
1.1.2 半导体的特有性质-负电阻温度 系数
法拉第 M. Faraday (1791~1867),英国英国物 理学家、化学家,现代电工科学的奠基者之 一。
电容的单位法(拉)即为纪念他而命名。 法拉第发明了第一台电动机,另外法拉第的
电磁感应定究,A即g随2S着半温导度体的材升料,
为了从理论上总结热辐射规律,19世纪物理学家 导出了热辐射物体的能量按发光波长分布的两个 公式:维恩公式和瑞利一金斯公式。
然而,这两个公式算出的结果,不是在长波方面 就是在短波方面与实验结果不符,物理学家为此 伤透了脑筋。
半导体物理习题及解答-刘诺
第一篇习题 半导体中的电子状态1-1、 什么叫本征激发?温度越高,本征激发的载流子越多,为什么?试定性说明之。
1-2、 试定性说明Ge 、Si 的禁带宽度具有负温度系数的原因。
1-3、 试指出空穴的主要特征。
1-4、简述Ge 、Si 和GaAS 的能带结构的主要特征。
1-5、某一维晶体的电子能带为[])sin(3.0)cos(1.01)(0ka ka E k E --=其中E 0=3eV ,晶格常数a=5х10-11m 。
求:(1) 能带宽度;(2) 能带底和能带顶的有效质量。
第一篇题解 半导体中的电子状态 刘诺 编1-1、 解:在一定温度下,价带电子获得足够的能量(≥E g )被激发到导带成为导电电子的过程就是本征激发。
其结果是在半导体中出现成对的电子-空穴对。
如果温度升高,则禁带宽度变窄,跃迁所需的能量变小,将会有更多的电子被激发到导带中。
1-2、 解:电子的共有化运动导致孤立原子的能级形成能带,即允带和禁带。
温度升高,则电子的共有化运动加剧,导致允带进一步分裂、变宽;允带变宽,则导致允带与允带之间的禁带相对变窄。
反之,温度降低,将导致禁带变宽。
因此,Ge、Si的禁带宽度具有负温度系数。
1-3、解:空穴是未被电子占据的空量子态,被用来描述半满带中的大量电子的集体运动状态,是准粒子。
主要特征如下:A、荷正电:+q;B、空穴浓度表示为p(电子浓度表示为n);C、E P=-E nD、m P*=-m n*。
1-4、解:(1)Ge、Si:a)Eg (Si:0K) = 1.21eV;Eg (Ge:0K) = 1.170eV;b)间接能隙结构c)禁带宽度E g随温度增加而减小;(2)GaAs:a)E g(300K)第二篇习题-半导体中的杂质和缺陷能级刘诺编2-1、什么叫浅能级杂质?它们电离后有何特点?2-2、什么叫施主?什么叫施主电离?施主电离前后有何特征?试举例说明之,并用能带图表征出n型半导体。
2-3、什么叫受主?什么叫受主电离?受主电离前后有何特征?试举例说明之,并用能带图表征出p型半导体。
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共价键的特点
1、 饱和性 2、 方向性 正四面体结构
金刚石型结构{100}面上的投影:
金刚石结构的结晶学原胞
Ge: a=5.43089埃
Si: a=5.65754埃
2、闪锌矿结构和混合键
材料: Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族二元化合物半导体
例: GaAs、GaP
化学键: 共价键+离子键 闪锌矿结构的结晶学原胞:
所以
1d E 2 k E( k ) E(0) (2) 2 2 dk k 0
2
令
1 2 h
d2E 1 * 2 dk mn k 0
mn*:电子有效质量
h k 则 Ek E0 3 * 2m n
§1·2 半导体中的电子状态和能带
1 、原子的能级和晶体的能带
(1)孤立原子的能级
(2)晶体的能带
电子共有化运动:
四个原子的能级的分裂
N个原子的能级的分裂
由于电子的共有化运动加 剧,原子的能级分裂亦加显 著: s p N个子带 3N个子带
出现准连续能级
金刚石型结构价电子的能带
对于由N个原子组成的晶体:共有4N个价电子
* 重 点 之 二:
Ge、Si和GaAs的能带 结构 *重 点 之 三 : 本征半导体及其导电机 构、空穴
§1·1 半导体的晶体结构和结合性质
1、金刚石型结构和共价键
化学键: 构成晶体的结合力.
共价键: 由同种晶体组成的元素半导体,其原
子间无负电性差,它们通过共用一对 自旋相反而配对的价电子结合在一 起.
因此,为了形象直观地表示 E(k) - k 的三维关系,我们用k空间中的等能 面来反映 E(k)- k 关系。
2、Ge、Si和GaAs能带结构的基本特征
(1)Ge的能带结构
Eg
(2)Si的能带结构
Eg
Ge、Si能带结构的主要特征
(1)禁带宽度Eg随温度增加而减小— —即Eg的负温度特性
T Eg T Eg 0 T
导 带 底 Ec
发
前:
激
发 后:
导带电子
价 带 顶 Ev
价带电子
空的量子态( 空穴)
(3)空 穴 空穴:将价带电子的导电作用等效为带正
电荷的准粒子的导电作用。
空穴的主要特征:
A、荷正电:+q; B、空穴浓度表示为p(电子浓度表示为n); C、EP=-En
因此,在半导体中存在两种载流子: (1)电子; (2)空穴; 而在本征半导体中,n=p。如左下图所示:
h 2k 2 利用 Ek E0 * 2m n
1 dE hk v 5 * h dk m n 这也是电子波包运动的群速度
在能带极值附近的v(k)- k关系: v(k)
k
3、半导体中电子的加速度 1 dE 显然 dE f ds f v dt 而 v
2
1 其波矢 k
电子在空间是等几率分布的,即自由电子在空间 作自由运动。 波矢k描述自由电子的运动状态。
(2)晶体中的电子:
布洛赫定律指出 k ( x ) u k ( x )e
i 2 kx
/ k k / / u k (r )u k (r ) / n 其波矢k 2a
分布几率是晶格的周期函数,但对每个原胞的
所以有
2 2 h2 h h 2 2 2 (k k ) (k k ) (k k ) E(k) E(k 0 ) 1 10 2 20 3 30 * * * 2m1 2m 2 2m3
上式代表的是一个椭球等能面。 等能面上的波矢k与电子能量E之间有 着一一对应的关系,即: k空间中的一个点=一个电子态
2
4 73 10 4 eV / K Si 636K
4 7774 10 4 eV / K Ge 235K
且
Si:dEg/dT=-2.8×10-4eV/K Ge: dEg/dT=-3.9×10-4eV/K
(2)Eg: T=0: Eg (Si) = 0.7437eV Eg (Ge) = 1.170eV
§1.3 半导体中电子的运动 有效质量
1、半导体中E(k)与k的关系 假设E(0)为带顶或带底,将E(k)在 k=0附近展成泰勒级数: 2 1d E dE 2 E( k) E(0) k k ( 1 ) 2 dk dk 2 k 0 k 0
2
2
由(3)式可以见到:
(1)对于能带顶的情形,由于E(k)<E(0),故 mn*<0; (2)对于能带底的情形,由于E(k)> (0), 故 mn*>0.:电子有效质量
在能带极值附近的mn - k关系 m n*
k
*
2、半导体中电子的平均速度
由波粒二象性可知,电子的速度v与能量之间有
1 dE v 4 h dk
h dk
dE 1 dE f v f dt h dk
f 1 d 2E dv f a h 2 dk 2 m * dt n
f mn a 这里的 m n 为电子的有效质量
*
*
4、mn*的意义
f a * mn
空穴与导电电子
Marble in a tube analogy: (a) Electrons move right in the conduction band as electrons enter tube. (b) Hole moves right in the valence band as electrons move left.
相应位置,电子的分布几率一样的。 波矢k描述晶体中电子的共有化运动状态。
(3)布里渊区与能带
简约布里渊区与能带简图(允带与允带之间系禁带)
布里渊区的特征:
(1)每隔1/a的k表示的是同一 个电子态; (2)波矢k只能取一系列分立的值,每个k占有的线度为1/L;
E(k)- k的对应意义:
(1)一个k值与一个能级(又称能量状态) 相对应; (2)每个布里渊区有N(N:晶体的固体 物理学原胞数)个k状态,故每个能 带中有N个能级; (3)每个能级最多可容纳自旋相反的两个 电子,故 每个能带中最多可容纳2N 个电子。
半导体物理
PHYSICS OF SEMICONDUCTORS
编写:刘诺 独立制作: 刘
诺
电子科技大学 微电子与固体电子学院 微电子科学与工程系
第一章 半 导 体 中 电 子 状 态
The electronic state in semiconductors
*重 点 之 一:Ge、Si和 GaAs的晶体结构
(a) N-type semiconductor with electrons moving left to right through the crystal lattice. (b) P-type semiconductor with holes moving left to right, which corresponds to electrons moving in the opposite direction.
3、导体、半导体、绝缘体的能带
(1)满带中的电子不导电 I(A)=-I(-A) 即是说,+k态和-k态的 电子电流互相抵消 所以,满带中的电子不 导电。 而对部分填充的能 带,将产生宏观电流。
(2)导体、绝缘体和半导体的能带模型
(3)本征激发 当温度一定时,价带电子受到激发而成为导带 电子的过程 本征激发。 激
1 10
2 k 20
1 2E 2 (k 2 k 20 ) (k k ) 3 30 2 2 k 3 k k
2
3 30
2 2 h2 h h 2 2 2 E(k 0 ) (k k ) (k k ) (k k ) 1 10 2 20 3 30 * * * 2m1 2m 2 2m 3
mn
*
半导体内部势场+外电 场的共同作用结果
h 2 d E 2 dk
2
概括了半导体内部 势场的作用
§1.4 常见半导体的能带结构
1、E(k)- k 关系和等能面
1 2E 1 2E 2 E(k) E(k 0 ) (k1 k10 ) 2 2 k1 k k 2 k 2 2 k
空带 ,即导带
满带,即价带
波函数:描述微观粒子的状态
2 、半导体中电子的状态和能带
薛定谔方程:决定粒子变化的方程
h d [ 2 V ( r )] ( r ) E ( r ) 2 8 m dr
2
2
(1)自由电子:
k (r ) Ae
ik r
/ k k / A
编写:刘诺 独立制作: 刘 诺
电子科技大学 微电子与固体电子学院 微电子科学与工程系
(3)间接能隙结构
(3)GaAs的能带结构
~0.29eV Eg
能带主要特征:
(1)Eg负温度系数特性: dEg/dT = -3.95×10-4eV/K (2)Eg(300K)= 1.428eV Eg (0K) = 1.5 SEMICONDUCTORS