125mm铝栅CMOS工艺技术开发及其应用
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“ ”
,
,
产 线完全 兼 容 无 须 增 加 新 设 备
2
.
,
。
4
圆 片衬 底 材 料 圆 片衬 底材 料 可 选 用 华 晶 公 司 硅 材 料 工
高温 热 氧 化 形 成 厚 场 氧 工 艺 对
,
P
十
/N
+
结深
的 影 响 保 证 M O S 管的 沟道 长度
3 ) 125m m
。
厂 生产 的 无 须进
,
容
2
.
。
“
3
圆 片加工 设 备 圆 片 加 工 过 程 中各 项 单 项 工 艺 设 备与 华
量硼离 子 注入形 成 硼 扩散 工 艺
。
P
十
区 工艺 来代 替常 规 的
”
晶公 司 现 有 ( 1 2 5 m m ) 3 拜m 硅 栅 C M O S 大 生
) 结 合铝 栅 的 工 艺 流 程 特 点 我 们开 发 2 了 C V D 形 成场 区 厚 氧化 层 工 艺 借 以 避 免
19 9 7
年底
,
,
12 5 m m
铝栅 C MO S
,
9 012
产
设 计规 则
设 计 规 则 与 1 0 0 m m 铝 栅 C M O S IC 设
品已 生产 出 2 04 万 只合 格 管 芯 平 均 成 品 率
.
达8 5
.
2 3
%
大 大高 于 原
,
10 m m
。
铝 栅工 艺 的
10 0 m m
I OOm m
, ,
并
大生产线 而铝
铝 栅 C MO S
产 品原用
I O0 m m
且与
工 艺相 比 单 位 圆 片的 产 量 增 加
,
工 艺 技术 完成 加 工
,
出 于 对产 品 结 构 及 技 术
了近 一 倍 具 有 高 产 量
低成本的特点 使 产
。
,
品 具 有 更 大 的市场 竞 争 力
华 晶公 司成功 地
,
较 与原
100 m m
铝 栅 C MO S 工 艺相 比 可
计规 则 兼 容
,
。
因此 用 1 0 0 m m 铝 栅 设 计规 则
,
6 5 97 %
的年 平均 成 品 率 采用
:
与原
铝栅
设 计 的 产 品 原 则 上 无 须 改 动 芯 片版 图布 局 布 2 线 就 可 以采 用 1
5m m
C MO S 工艺 相 比
12 5 m m
铝栅
一
CM O S
工 艺完 成 圆 片加 工
2
.
12 5 m m N
,
型 <1 0 的 晶向的抛光片
。
,
铝栅
C MOS
工艺光刻采用 正
。
口
材 料 可大 幅度 降 低 材料成 本 与
100 m m
性光 刻胶 而 腐蚀 工 艺 均为 湿 法 工 艺
,
我们通
5
12 5m m
铝栅
C MOS
工艺比
过 优 化光 刻 的前 / 后 烘 条 件 并 严格 控制 显 影 到 腐蚀 之 间 的 延 迟 时 间 从 而 保证 了 正 胶 的
,
6 5
以 9 0 1 2 红 外 遥 控 发 射 电路 为代 表 的 铝
%
,
成 品率提高了近
20 %
。
目前 该 套 工
,
栅
I 是 一 种 主 要 应 用在 民用 消 费类 C
, ,
艺技术 正 应 用 于 原 1 0 批量生 产 和 新 铝 栅
开发 中
。
Om m
铝 栅产 品 的 继 续 电路 的研 制
, ,
40
1 ) 6
摘
,
要
铝橱 CM O S C I 作 为 一 种 功 能 较 简单 性 能 比 较 低 集 成 度 不 高 的 低 挡 I C 产
。
品 长期 以 来一 直 采用 7 5 一 100 m m 圆 片材料 进 行 圈 片加 工 2 5m m 团片 与 1
,
本 文 闲述 了一 种 禾 用
。
编辑 部收稿 日期 1 9 9 7
一
1
0 1
8
俄
x
电
于
技
术 N
一
若能 对 芯 片 版 图 数据进 行
,
0
.
7
等 比例 缩 小
,
注入
,
处理 则 可 以 在 不 影 响 芯 片性 能 的前 提 下 进
一 步 缩小 芯 片 面 积 降 低 成 本 提 高产 量
2
.
(2 )沟 道 调 整 注 入 是 否需 要 根 据 产 品的 v
升级的 考虑 加 之 国 内 市 场 目 前对 铝 栅 产 品 的大量 需求 我 们提 出通 过 对 以 的
OOm m
, ,
90 1 2
实现 了 国 外 某 公 司 曾 预 言 无 法 实 现 的
12 5
为代 表
m m 铝栅 CM O S
。
I 圆 片 工 艺技 术 的 实 用 C
2 5 m m 圆片 工 艺的 铝 栅 产品 进 行 1
开发 研 究 建立 一 套 能 替 代原 l o m m 铝 栅
C MO S
化 2
圆 片工 艺 的
。
125 m m
铝栅
C MOS
圆片
, ,
12 5 m m
铝栅
C
M O S 圆 片工 艺
工 艺技术
,
通过 一 年 多 的 单 项 工 艺 开发 试
2
.
的技 术 特点
1
验 和 以 提高 成 品 率 为 目标的 工 艺优 化 工 作 截止
。
3 拼m
硅 橱 C M O S 大 生 产 线 完全 兼 容 的 铝 栅 C M O S 工 艺技 术
.
详细
地讨 论 了 它的 开发过 程及
其技 术 特 点 以 及 在 产 品 生 产 土 的 应 用
开发 应用
,
前景
。
关键 词 1
125 m m
吕橱 C M O S 奎
引
C MO S
言
工 艺 后 9 0 1 2 单 位 圆 片 的理 论 管 芯 数 增 加 了
第2
V
o
.
卷第
l 2
.
1
.
期
1
微
MI
R EL E
电
,
子
技
术
总第 1 1 9 期
1998
No
I R ONIC
TEC H NO LOG Y
年
6
月
2 1
5m m 铝 栅 CMO S 工 艺 技 术 开 发 及 其 应 用
吴 巍 蔡 木本
, ,
’
( 中 国 华 晶 电子 集 团公 司 M O 1 S 总厂 无锡 2
、
C MO S I C
,
电子 产品 上 而 且 销 售 价 格 比 较 低 的 I C 产 品
。
随着 9 0
8
工 程 的进 入
l
o
mm
2 实践应 用 显 示 新 开 发 的 1
5m m 铝
,
圆片加 工
,
设备 已 迁 出 华 晶 公 司 栅
CMO S I C
。
MO S
栅
C M O S 工 艺 技术 完全 达 到 了 预 期 目 标
T
,
,
。
要求 而 定
。
2
光 刻 制版 与 胶型 要 求 光刻 制 版 及 胶 型 要 求 与 华 晶 公 司 现 有
4
12 5 m m
铝栅
CMO S
圆 片加 工
( 1 2 5 m m ) 3户 m 硅 栅 C M O S 大 生 产 线 完 全 兼
流 程 中的单项 工 艺开 发
) 根 据 现 有 设 备条件 我 们开 发 了 高 剂 l
,
,
产 线完全 兼 容 无 须 增 加 新 设 备
2
.
,
。
4
圆 片衬 底 材 料 圆 片衬 底材 料 可 选 用 华 晶 公 司 硅 材 料 工
高温 热 氧 化 形 成 厚 场 氧 工 艺 对
,
P
十
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+
结深
的 影 响 保 证 M O S 管的 沟道 长度
3 ) 125m m
。
厂 生产 的 无 须进
,
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2
.
。
“
3
圆 片加工 设 备 圆 片 加 工 过 程 中各 项 单 项 工 艺 设 备与 华
量硼离 子 注入形 成 硼 扩散 工 艺
。
P
十
区 工艺 来代 替常 规 的
”
晶公 司 现 有 ( 1 2 5 m m ) 3 拜m 硅 栅 C M O S 大 生
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19 9 7
年底
,
,
12 5 m m
铝栅 C MO S
,
9 012
产
设 计规 则
设 计 规 则 与 1 0 0 m m 铝 栅 C M O S IC 设
品已 生产 出 2 04 万 只合 格 管 芯 平 均 成 品 率
.
达8 5
.
2 3
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大 大高 于 原
,
10 m m
。
铝 栅工 艺 的
10 0 m m
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, ,
并
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铝 栅 C MO S
产 品原用
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且与
工 艺相 比 单 位 圆 片的 产 量 增 加
,
工 艺 技术 完成 加 工
,
出 于 对产 品 结 构 及 技 术
了近 一 倍 具 有 高 产 量
低成本的特点 使 产
。
,
品 具 有 更 大 的市场 竞 争 力
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,
较 与原
100 m m
铝 栅 C MO S 工 艺相 比 可
计规 则 兼 容
,
。
因此 用 1 0 0 m m 铝 栅 设 计规 则
,
6 5 97 %
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:
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铝栅
设 计 的 产 品 原 则 上 无 须 改 动 芯 片版 图布 局 布 2 线 就 可 以采 用 1
5m m
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12 5 m m
铝栅
一
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工 艺完 成 圆 片加 工
2
.
12 5 m m N
,
型 <1 0 的 晶向的抛光片
。
,
铝栅
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工艺光刻采用 正
。
口
材 料 可大 幅度 降 低 材料成 本 与
100 m m
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,
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,
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目前 该 套 工
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1 ) 6
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1
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12 5
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。
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,
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1
验 和 以 提高 成 品 率 为 目标的 工 艺优 化 工 作 截止
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其技 术 特 点 以 及 在 产 品 生 产 土 的 应 用
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关键 词 1
125 m m
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卷第
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1
微
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,
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技
术
总第 1 1 9 期
1998
No
I R ONIC
TEC H NO LOG Y
年
6
月
2 1
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吴 巍 蔡 木本
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C MO S I C
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电子 产品 上 而 且 销 售 价 格 比 较 低 的 I C 产 品
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随着 9 0
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圆片加 工
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光 刻 制版 与 胶型 要 求 光刻 制 版 及 胶 型 要 求 与 华 晶 公 司 现 有
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12 5 m m
铝栅
CMO S
圆 片加 工
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