北京凯硕恒盛科技有限公司减薄机HRG说明书

北京凯硕恒盛科技有限公司减薄机HRG说明书
⊙ 警告
⊙ 一样注释
你必须定期的执行那个过程以保持设备的状态良好. 但有些工作包含专门危险的部分.
因此你必须小心、集中精力去做这项工作. 最重要的是
“保证安全及事故预防”
你必须认真阅读并认真遵守那个章节里面的内容.
⊙ 关于设备的运输
至于有关设备的装载和卸载，讲明书中的运输部分差不多给出讲明，一定要按照其中的操作规程去做.
包装上面的讲明和符号一定要同意.
警告 : 设备举起后，不要在下面行走和停留；设备不要举过头顶
位置
零件 警告讲明 A 主轴，皮带，电机 旋转 B Oscillation Motor
旋转，移动 C 工作砂轮 旋转 D 修整砂轮 旋转，移动
E 修整轮的电机 旋转，移动
F 工作台 旋转，移动
G 工作轴电机 旋转，移动
H 进给工作轴电机
旋转，移动
K 操纵面板 电气危险 L NFB ，效用提升
电气危险 M
电气柜
电气危险
⊙关于进入操作和操作过程中的注意事项
在连接设备的电气线路之前，必需检查目前的主电源电压是否和输入的电压一致.
主电源线路不是单独装有保险丝的，因此要提供一个合适的保险盒.
连接要紧的电缆后检查旋转方向是否正确（电力上的）.
反复紧固设备上的电气终端元件.
开始工作前, 必需检查工作砂轮是否差不多用螺丝紧固.
当所有的安全装置装好后，例如安全门、盖子及机壳等才能启动设备.
当从锐利的工作砂轮上装卸工作零件时要格外小心.
⊙关于设备的爱护保养
操作讲明书中差不多讲明了设备检查、爱护和保养期间的注意事项，要严格遵守.
要有两个或以上人员从事爱护保养工作，工作的各方面都要正确的装卸.
⊙电气系统部分
在进行所有检查、爱护和保养之前，一定要将设备的主开关置于“OF F”位置.
当管路系统或装置工作时，保证恰当的部件（阀，阀门）保持关闭.
压缩空气管路的压力应该是安全的.
冷却水管路里面应该是空的.
不要修复破旧的管路，应该及时更换新的.
当显现多孔或裂缝时，赶忙更换软管.
为防止有螺丝的接头漏泄，应在没有压力下拧紧.
设备和辅助设备之间的弹性软管不能扭结，幸免受到损害.
工作时使用正确合适的工具.
赶忙更换有故障的零件, 任何不得不拆卸的部分必须相应的标明记号.
当移动盖子，铰链盖，电气封闭塞时, 在任何封闭现场标明记号.
重新装配前清洁密封面.
作为一个差不多原理，紧固件应该经常更新，要紧是指螺丝、螺母、弹簧垫圈、一般垫圈等.
有螺纹的接口装配时应使用适当的润滑剂或密封剂.
润滑之前完全地清洁内接头.
当更换油或油脂时，应确保所用的油脂是厂商指定或举荐使用的.
警告: 处理清洁原料和溶剂、黏结剂、润滑剂时, 必须遵守事故预防有关条例进行处理，以防事故和火灾的发生.
由于严格禁止杂物或碎屑落下，因此设备经常清洁. 清洗时不要把喷射水对准曲经密封面（防止磨削碎屑进入主轴部分）.
保证设备周围地面的清洁和洁净.
当移除润滑剂清洁剂和溶剂或油之类等废弃物时，必需遵守环境爱护有关的规章制度.
当进行电气方面的操作时，主电源的开关要关闭并锁紧，并在醒目的位置标明危险字样.
关闭电气部分的主开关后，在进行下一步工作前，先检查各元件（包括损坏的和能正常工作的）的上面是否存在电压.
在没有电的情形下才承诺把插头拔出来.
连接设备的电缆不要拉的太紧，不要用拉电缆的方法把插头从插座中拔出来.
额外的电气装置或系统只能用插座连接，不能在电气柜里面接.
After use, refit closure caps to sockets to prevent ingress of dirt and moisture.
当处理检查修理电气元件时，要有静电爱护措施，静电防护的方法如下：地面导电、工作面接地、戴有导电条的手套和鞋、静电爱护服、合适的静电包装纸或容器等.
不要把废旧电池扔火里：有爆炸的危险.
只能使用同一型号的电池，当丢弃废旧电池时, 遵守环境爱护的有关规定.
余外的在塑料容器里低温干燥储存，不能在包装里面储存超过6个月.
⊙爱护保养完成后注意事项
当完成爱护保养后，请按照下面的操作进行：
正确安装所有的挡板.
检查设备、电气系统和附属的装置和系统以确保正常功能.
其余细节会在操作讲明书中适当的章节做讲明，小的册子是关于连接设备的附属装置或系统的讲明书.
绪论
导言
HRG-150 提醒!!
请在认真阅读本手册后再启动运行设备.除指定的人员外其余人员不得操作设备.否则会显现报警信息或造成设备的损坏.
感谢您使用我们的设备.
第一章．操纵面板(Ⅰ)
1. 操纵面板(Ⅰ)
启动设备前的预防措施！！
启动设备前，请按照下面的提示认真检查.
(1) 干燥的压缩空气是否供给？压缩空气压力是否大于0.5 [MP
a]？
-- 我们经常设定压缩空气压力为0.5∼0.6 [MPa] (5∼6 kg/㎠)
(2)连接设备的软管是否紧固？（冷却水、干燥空气）
(3) 电气供给是否达到所需要求?
修整时刻：No Function.
砂轮主轴转速外表：显示工作主轴的旋转速度.
改变修整砂轮旋转速度的电阻，65%相当于500 rpm
位置显示：当工作轴置于回复位置时
真空度显示：当真空压力超过设定值时起作用.
工作显示：工作状态下起作用.
错误信息显示：当显现错误时那个显示器起作用.
回复按钮：若显现专门或错误的情形下，此按钮弹回.
电源开关：开/关
修整开/关：⑬菜单模式+ ⑩修整开→修整砂轮会旋转工作，冷却液供给.
B/W : ⑬菜单模式+ 此按钮→修整砂轮会移向工作轴直到按F/W 按钮或传感器（附在汽缸上面的）差不多探测到.（修整砂轮的位置传感器探测到修整砂轮的反向移动）
F/W : ⑬菜单模式+此按钮→修整砂轮会移向砂轮方向明白按下B/W按钮
手动/ 自动/ 修整模式选择器S/W
真空开/关S/W : 若真空不开，你不能开始工作步骤.
进给速度高/低选择器S/W : [手动] 模式选择⑬+ 按下[F5]按钮+ or →工作主轴以此速度移动.
JOG (+) 按钮：[手动] 模式选择⑬+ 按下[F5] 按钮+ 那个按钮→工作轴移向砂轮轴.
JOG (-)按钮：[手动] 模式选择⑬+按[F5]按钮+那个按钮→工作轴反向移动到砂轮轴.
压力[START]按钮：[自动]模式选择⑬，打开真空⑭，Door sensor 开（门差不多关闭），你能够用那个按钮打开工作压力.
压力[STOP]按钮：停止工作压力或修整压力. 则工作轴回到起始位置.
复位按钮：[手动] 模式选择⑬+ 按JOG(+)(-) 按钮or + 那个按钮→当前工作轴位置数据变为速度数据同时移动到起始位置.
如果差不多选择[修整模式] 在⑬, 那么当前位置的数据可不能在R APID POSITION中储存下来.
紧急按钮S/W：按下那个会使整个设备所有的系统停止.
向右转动开关就能够使它复位，工作轴也会回到原始位置.
工作主轴速度R.P.M. ：那个转速外表显示工作主轴的旋转速度.(The set data have no function)
第二章.数据的设定
2-1. 操作面板(Ⅱ)
2-2. 菜单模式的讲明
2-3. 详述各个模式的作用2-4. 减薄研磨的操作步骤
2-1. 操作面板(Ⅱ)
启动设备前的预防措施!!
启动设备前，请按下面的提示认真检查.
(1) 干燥空气压力是否大于0.5 [MPa] ？
-- 我们经常设定空气压力为0.5∼0.6 [MPa] (5∼6 kg/㎠)
(2)管路的连接是否紧固(冷却水、空气)
(3)电气方面的供给是否符合要求？
按下启动按钮.
注意！在设备关闭后不要赶忙启动设备.
请稍候十几秒钟.
当设备启动后，面板上面显示如下内容：设备型号，电源，产品序号，REVISION LEVEL, 设计者名称.
下面内容只能显示3秒钟.
2-2. 菜单模式的讲明.
这是初始菜单的显示屏幕.
NO. :屏幕上显示晶片的顺序号：NO.1 NO.2 NO.3
当自动运行步骤启动后，那个数字加1.
During Add Work Mode process, the figure will not increased.
自动修整后，那个数字自动回复为"1".
2-2-1. POS=000.0000 MM
显示当前位置的坐标.
因此，当设备由关→开时，你最好按F3设定HOME.
2-2-2. 工作数据
若你按F1，你能够修改工作数据.
操作者可进行储备切削量，切削进给速度，磨削抛光时刻和刀具校正的输入.
这些数据会一直储存在储备器中.
2-2-3. 修整模式
若你按F2 ，承诺你设定修整步骤的有关参数。

你能够修改切削量(D WP)，切削进给速度(DWV)和快速移动的位置(DRP).
这些数据也被储存在储备器中.
2-2-4. SET HOME
当你按F3，工作台会移动到自动查找的中心位置，中心位置的发光二极管点亮。

不管你何时启动设备或设备显现错误，在启动设备前都要把工作台复原原位.
注意：复位之前不要开动设备. 否则会发生事故.
2-2-5. ADD WORK MODE
在AUTO RUN MODE下工作后，测量工件尺寸。

如果还需要再磨削，就用ADD WORK MODE.。

你能够储存加工时刻，在ADD WORK MO DE中，rapid position 确实是AUTO RUN MODE中的最终位置.
在这种情形下，你能够用ADD WORK MODE工作.
2-2-6. JOG MODE
当你选择JOG MODE F5 键，承诺你缓慢移动工作台.
你能够通过选择开关来选择高速或低速.
用那个能够在砂轮和工件间找到接触点.
找到接触点后，按下[HOME] 按钮.
这时，如果你选择[MANUAL MODE]，那么设备就会自动的把那个点看作磨削的参考点（rapid movement position）。

然而，若你选择[AU TO MODE] 或[DRESS MODE]，那么工作轴就会在没有储存有关于参考点的位置而移动到零位置。

2-2-7. AUTO RUN MODE
如果你选择F6 ，承诺你自动反复的运行设备。

你能够在[MANUAL/AUTO/DRESS] 选择开关上选择[AUTO]，进入那个菜单。

如果你选择：
[MANUAL MODE]，工作砂轮和工作轴就会旋转，冷却液开，但工作轴可不能移动到工作位置。

[DRESS MODE]，当你按下开始按钮后，修整砂轮就会行进直到被前面的传感器感应到，工作轴移动到DRP位置并开始修整。

当工作轴到达修整的最终位置(DWP+DRP)时，工作轴稍后3秒钟做磨削抛光时刻，然后工作轴回到中心位置，汽缸也到达最原始的位置。

我们把这一步骤称为S EMI-AUTO DRESSING PROCESS。

[AUTO MODE],，当你按下开始按钮后，那么平常的工作步骤就会进行.
2-3. 各个模式的作用
2-3-1. WORK DATA
当你按下F1时，你能看到下面的显示画面。

POS1, VEL1, SK1, RP1分不表明操作步骤前的储备磨削量，移动速度，磨削时刻和参考位置的数值。

POS2 是储备的新的储备磨削量。

单位是[mm].
例如，若你想要300㎛的磨削量，你只要输入0.3 按[ENTER] 即可。

如果你只是按[ENTER]而没有改变数值，那么就会显示往常的数值，光标也会移动到VEL2 位置。

现在光标停留在VEL2 位置。

VEL2承诺你设定进给速度，单位是[㎛/sec]。

例如，如果你想要1 ㎛/sec，只要输入1 然后按下[ENTER]即可。

如果你只是按[ENTER]而没有改变数值，那么就会显示往常的数值光标也会移动到SK2 位置。

现在光标停留在SK2位置
SK2 表示SPARK-OUT TIME.
你能够在[SECOND] 部分设定数值。

例如，你想输入30，这表示SPARK-OUT 是30秒。

如果你只是按[ENTER]而没有改变数值，那么就会显示往常的数值同时刻标也会移动到PR2位置。

现在光标停留在RP2 位置。

RP2承诺你设定参考点（接触点）。

单位是[㎛/sec]
那个数据会被自动储存下来。

第一，选择[MANUAL MODE].
按[F5]功能键选择[JOG MODE]。

用[JOG HIGH/LOW SPEED], [JOG+], [JOG-] 按钮移动工作轴。

当你找到参考点后，
按下[HOME]按钮。

那么那个当前位置会被储存在那个RP2 ，工作轴也会回到‘0’位置。

如果这时你选择[AUTO MODE]或[DRESS MODE] ，那么工作轴移动到‘0’位置而可不能储存那个当前位置在RP2中。

如果你只是按[ENTER]而没有改变数值，那么往常的数值就会显示显示屏幕也会变为最初的显示屏幕。

请慎重的输入新的数据
再次检查
If you do mis-input data,只要按[ENTER] 直到MENU Screen显示。

选择F1 WORK DATA 然后再次编辑数据。

输入错误数据
如果在DRESS MODE(DRP+DWP)中的最终位置比在AUTO RUN MODE中的大，则显示信息“WRONG DATA INPUT”，当你选择F6 [A UTO RUN MODE]时。

DRP + DWP > POS + RP => "WRONG DATA INPUT"
-> 当那个信息显示时，你不能进行操作步骤。

改变DRP然后开始工作步骤。

DRP + DWP > 40 mm => "CHECK DRESS STONE"
->当那个信息显示时，你不能进行操作步骤。

更换心的修整砂轮并找到修整砂轮的参考位置(DRP).
当工作砂轮是新的的时候决定设定的数据，修整用的磨石剩余2mm。

2-3-2. 修整模式
如果你选择F2 键，你能够编辑关于修整的数值.
WP, WV, DRP 是关于修整方面的参数。

输入数据的方法和WORK DATA中提到的相同。

WP 表示修整砂轮的储备磨削量
单位是[mm].
WV 表示修整轮到达DRP 位置直到工作轴到达修整的最终位置(WP+DRP)的进给速度。

单位是[um/sec]
DRP 表示位于前进位置的修整砂轮轴下的修整用砂轮磨石的the Ra pid approaching position 。

单位是[mm].
你能够象如此找到那个DRP位置.
看右边的图片。

选择Manual Mode.
按[F5]功能键选择[JOG MODE]。

按F/W 按钮用来移动修整轮的轴向前面方向移动。

用JOG(+), JOG(-) 按钮来移动工作轴直到工作轮和
修整轮相遇在[A].
看屏幕并记下current position.
JOG MODE
POS=006.260 MM
选择[Auto Mode]或[Dress Mode].
按[HOME]按钮，则工作轴回到‘0’位置。

如果在第6步你不选择[Auto Mode] 或[Dress Mode]，那么current position 会被自动储存在RP1 [F1] 中。

按[F2] 功能键并输入上面的位置数据到DRP中。

请认真认确实检查数值!!
如果你有两个如此的数值, 请用JOG MODE再次确认证实一下。

TC 表示距离补偿。

自动修整后，RP1(Rapid approaching position for wafer ; 见2-3-1) will be added with this distance. 现在设定为10 um.
单位是[um]
CNT : When the count of wafer reached to this parameter, then after you pushed START button in the next Auto Run Mode, the Auto Dressi ng process will be started automatically. This parameter will be count in t he program, and will not count in Add Work Mode. Maximum is 99.
EN ：是否使用上面的CNT功能。

当你把那个参数设为“1”，那么就意味着你要使用CNT功能。

然而，如果你不是设为“1”，例如，"2", "3", "4"..., 那么就意味着你不使用CNT 功能。

2-3-3. SET HOME
任何时候你启动设备或遇到错误的情形下，按F3 键再次设定ME CHANICAL HOME POSITION 。

如果你按F3 键，工作台移动查找HOME POSITION.
After that, the screen will be changed with MENU SCREEN.
[HOME LED] 点亮。

2-3-4. JOG MODE
JOG MODE 用来手动研磨工件或者是查找砂轮表面和工件表面的接触点。

如果你按F5键，将承诺你移回工作台，前面你能够从屏幕上看到从原始位置移动到当前位置。

你也能够通过转动JOG SPEED SELECTOR开关来操纵速度的高和低。

如果你想要找到工作轮和工件之间的接触点：
1. 选择Manual Mode 和高的Jog Speed.
2.通过JOG(+) and JOG(-) 按钮移动工作台到砂轮头前面，距砂轮头0.5mm。

3. 选择LOW SPEED.
4. 再次移动工作台到砂轮头直到工作砂轮和工件有接触。

5. 旋转砂轮头检查接触点。

6. 当你得到接触点后，按[HOME] 按钮。

7. 则那个当前位置会被储存在RAPID movement position. 那个位置数据会被字空储存在程序里面。

（你不能对它做修改）。

8. 工作轴回到‘0’位置。

You can check this saved contact position after the screen change d to Menu Screen and selected AUTO MODE and pressed F6 for Auto Run Mode. (for example, RP=54.230)
如果你不想在上面第6步储存当前位置在RAPID movement positi on中，选择[Auto]或[Dress] MODE 然后按[HOME]按钮。

那么工作轴回到‘0’位置而不用储存当前位置在程序中。

2-3-5. ADD WORK MODE
AUTO RUN MODE and ADD WORK MODE之间的不同要紧表现在are rapid position 和速度。

因此，如果你用ADD WORK MODE，你能够节约时刻.
选择ADD WORK MODE F4.
那么在[W/D]输入数据，单位为[mm]。

输入[W/D]数据后按[ENTER]，则屏幕显示如下。

检查the rapid position [RP], final position [FP], Dress rapid p osition [DP].
其余要做的和AUTO RUN WORK MODE中相同。

请查阅2-3-6。

2-3-6.自动退出
当你按F6 键时，屏幕显示如下。

例如上面显示的屏幕遵照下面的输入方法输入数据。

工作数据POS=0.1, VEL=1, SK=30, RP1=10.000
修整模式下的数据WP=0.200, WV=3, DRP=6.030, TC=10, CNT=2, EN=1
FP表示final position, R/P + W/P.
RP 表示RAPID APPROACH POSITION.
WP 表示WORK DATA POSITION ，和STOCK REMOV AL A MOUNT相同。

DP 表示修整砂轮的the rapid approaching position。

如果在那个菜单下你按[START] 按钮，你能够看到下面的屏幕显示。

屏幕显示的是RAPID APPROACH operation.
工作台仅向前移动10-0.1mm=9.9mm with RAPID SPEED.
(This rapid speed and 0.1 mm distance are fixed in the program)
下一个屏幕显示9.900和10.000之间的速度近似值。

那个接近速度在程序中也被确定下来。

当工作台接近10.00，如上面显示要暂停1秒钟。

那个屏幕显示研磨步骤的百分比。

当我们输入WORK DATA POSITION 0.1 [mm]，设备以1 [㎛/s ec]的进给速度研磨工件0.1 [mm]。

当工作台到达最终位置时，停止30 秒钟(as set times)
然后工作台回到起始位置，显示屏幕返回原始的菜单显示。

After you working 1 more Auto Run, then the 3rd Auto Run, the au to dressing procedure will be done before start grinding.
2-4. 减薄研磨的操作步骤
上面的图片显示的是操作的面板。

2-4-1. 放置工件
当接触到夹盘上的夹具后打开真空。

然后检查真空测量表是否到达60mm/Hg.
如果达到60mm/Hg，[V ACUUM LED]点亮。

如果没有，请检查工件和夹盘之间是否存在杂质，然后重试一次。

2-4-2.设定原始位置
按F3键，检查[HOME LED]是否点亮。

这一步骤只需要一次，当电源关→开的情形下或者按下[RESET]键或[STOP] 或[EMG] 按钮。

(见2-3-3中的描述)
2-4-3. 设定研磨的参考点（接触点）
1. 选择MANU模式。

2. 放置工件后把真空打开。

3. 按F5键进入JOG MODE 显示屏幕。

4. 用JOG(+), JOG(-) 以高和低的速度移动工作轴直到工作砂轮和工件接触。

5.按[HOME] 按钮，则当前位置会被自动储存在RAPID POSITI ON数据中[RP1]。

(见2-3-4中的描述)
这时，当你找到接触位置后如果你选择[Auto Mode] 或[Dress Mod e]，按下[HOME]按钮，则当前位置就可不能被储存在程序中。

2-4-4. 设定工作数据
选择F1键，输入工作数据变量。

用数字键和回车键输入POS2 (STOCK REMOV AL AMOUNT), VE L2(REMOV AL SPEED), SK2 (SPARK-OUT TIME)和RP2(REFERENCE P OSITION)。

(见2-3-1中的描述)
2-4-5.检查修整模式数据
请查阅2-3-2中描述的方法检查那个模式中的数据。

如果有错误的数据，和编辑工作数据的方法一样编辑这些数据。

2-4-6. EXECUTION AUTO RUN MODE
选择AUTO 模式。

按F6 键。

盖上盖子。

检查FP, RP, WP和DP的数据。

按下[START]按钮。

设备自动实现研磨操作。

(见2-3-4中的描述)
2-4-7. SEMI-AUTO DRESSING
适用94%氧化铝薄片，
第一我们需要修整。

当你找到修整用的砂轮磨石和工作砂轮之间的接触点时[DRP]，
关闭前盖。

修整轴是否差不多位于反转位置？
修整用的磨石是否有足够的剩余用于修整？
选择[Dress Mode]
按下[START]按钮。

则修整轴移动到前进位置然后再移动到DRP 位置。

修整工序后，工作轴回到‘0’位置，完成。

2-4-8. AUTO-DRESSING
After Semi-dressing procedure, working the wafer with Auto Run Mo de.
If you set the data
TC=10, CNT=2, EN=1
Then after this 1st Auto Run procedure, the NO in the Initial Menu screen will be ‘1’.
Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.
After this 1st wafer, loading the new 2nd wafer.
Select Auto Run Mode, and press [START] button to start working.
After this 1st Auto Run procedure, the NO in the Initial Menu scree n will be ‘2’.
Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.
After this 2nd wafer, loading the new 3rd wafer.
Select Auto Run Mode, and press [START] button to start working.
At this moment, after you press [START] button, Dress axis move to Forward position to start auto-dressing process because the CNT=2 and EN=1.
At this moment, if the EN is not equaled to ‘1’(2,3,4…), then the auto-dressing process doesn’t occurred.
Then the work axis move to the DRP position and do dressing proce dure.
After dressing process, the dressing axis returned to Backward positio n.
And the work axis move to RP2 position.
At this moment, the RP2 position will be changed to [RP2+TC] auto matically.
After this Auto Run process, the NO in the Initial Menu screen will be ‘1’.
2-4-9. 其余按键的功能.
[RESET] 按钮：当显现专门情形或错误的时候按下那个按钮。

一旦按下那个按钮，工作轮的运动操纵器和伺服传动器也要重新设定。

[STOP]按钮：此键停止所有的电机工作。

研磨工作中你按下那个按钮，工作轴就会回到‘0’位置。

[EMERGENCY] 开关：此键停止所有的操作系统
回复开关，向右旋转开关，工作轴会回到‘0’位置。

然后按下[RESET]按钮。

※如果你按下[STOP]按钮或[EMG]开关，请再次按下[RESET] 按钮和[SET HOME] F3 。

如果你想按下START按钮开始工作，必须
- 真空传感器差不多探测到（真空压力超过60 mmHg）
- 门传感器差不多探测到(门必须关闭)
- 工作轴的力学内部传感器必须开启。

CHAPTER 3. 爱护保养
3-1. 细述工作台的图纸
3-2. 如何调整工作台的角度3-3. 更换砂轮
3-4. 改变每个部分的旋转速度3-5. 冷却器
3-6. OSCILLATE FUNCTION 3-7. 皮带张力
3-8. 修整砂轮
3-9. 废气排放压力
3-10. 油脂
3-11. 真空传感器
3-1. 细述工作台的图纸
①(19mm)活扳手截面
②⑤⑥⑪M12 固定轴壳的扳手螺栓
③④⑧⑩M6改变砂轮头方向的M6固定螺丝⑦Dial Indicator
⑨M10 hexagonal-bolt for oscillation
⑫M10 固定砂轮的扳手螺母
⑬工作轴
⑭工作空间的照明
⑮门传感器
3-2. 如何调整工作台的角度
第一， Untighten 3 pieces of bolts with M12 wrench. It means on e of ②⑤⑥⑪ bolts must be tightened.
Next, Then turn the wheel-head to proper angle by used ③④⑧⑩, M6 set screws.
See the Dial indicator for reference.
壳A ： A 点比其它各点要高
第一，松开③④⑧⑩螺栓直到它和主轴底板没有接触为止。

壳B ： A 点比其它各点要低
第一，松开③④⑧⑩固定螺丝直到它和底板没有接触为止。

B C A D E
※以这些讲明作为参考。

你能够用⑦检查砂轮头的改变，千分表。

3. 所有的情况OK后，然后拧紧②⑤⑥⑪螺钉。

※请确定检查所有的干扰后小心的移动砂轮头使砂轮末端和工作台中心相一致。

3-3. 更换工作砂轮
A. 把M10套筒扳手嵌入⑫螺钉上，19mm扳手卡住主轴①。

B. 逆时针旋转扳手。

C. 那么你就能够把它拆卸下来。

D. 从轴上把砂轮取下来。

E. 更换砂轮并重新把它拧紧。

F. 用千分表检查砂轮的径向跳动。

设定径向跳动在0.02 mm以内。

3-4. 每个部分的旋转速度
你能够通过操纵面板上的VR(V olume Resister) 开关来改变修整砂轮的旋转速度。

修整砂轮
※65% 大致相当于500 rpm. 用V/R 改变速度.
工作砂轮
※主轮的旋转速度(工作)由2速度确定.
工作时，它是用参数No.9(大致2250 rpm)来设定
如果是修整时, 它的旋转速度的设定由参数No.8(大致1150 rpm)决定. 因此你能够从伺服放大器来改变旋转速度。

Please refer to the a ttached manual for the servo amp.
工作轴
※工作轴的旋转速度确定为560 RPM . 你能够从逆变器中改变旋转速度.
3-5.冷却器
右图显示的是冷却器的操纵面板
如果你想改变冷却液的温度
A 打开电源(按④按钮)
B. 按①显示屏幕闪耀(数据改变模式)
C. 用②③来改变数据
D. 再次按①。

完成
3-6. 振动功能
※振动原理
第一，松开⑨M10 六角螺母。

Next, move the spin guide what you want to and tight bolt ⑨ag ain securely.
We usually recommended this eccentricity rate as 0∼2.5 [mm].
3-7. 如何操纵每条皮带的张紧程度
出厂时我们差不多使皮带张紧。

因此,如果不是需要,不要更换皮带的松紧程度.
3-7-1. 工作轴(BELT SPEC. : 7M 630 - POLYMAX BELT)
第一，松开图中显示的4个螺钉。

然后移动电机使皮带张紧。

重新把4个螺钉固定好。

3-7-2 步进电机(BELT SPEC. : 184 MXL - 9[mm] TIMING BELT)第一松开图中显示的4个螺钉。

然后移动电机使皮带张紧。

重新固定好4个螺钉。