薄膜应力激光测量方法分析

薄膜应力激光测量方法分析
王成;马莹;张贵彦;肖孟超;甘志宏;缪同群;钱龙生
【期刊名称】《激光技术》
【年(卷),期】2005(029)001
【摘要】总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法--激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干涉法的精度可达0.92%,可测量的最小应力值为
15.7MPa;激光束偏转法较低,为2.12%,可测量的最小应力值为25.5MPa,空间分辨率低,约为100μm.
【总页数】3页(P98-100)
【作者】王成;马莹;张贵彦;肖孟超;甘志宏;缪同群;钱龙生
【作者单位】中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长
春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022
【正文语种】中文
【中图分类】O484.5
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