氦质谱检漏常见问题

密封法兰氦质谱检漏技术(1)

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟密封法兰氦质谱检漏技术(1)密封法兰是在特殊加工的一对法兰之间安放密封垫圈,通过压紧法兰将密封圈挤压变形,实现密封。

假如法兰密封面或密封圈存在缺陷,或是压紧时未均匀加力,就会造成法兰密封性达不到要求,必须通过检漏控制其密封质量。

1、真空检漏常用方法与存在问题法兰检漏是检测法兰密封面与密封圈的配合是否存在通道型的漏孔或渗漏。

氦质谱检漏是常用的高灵敏度检漏手段,可查找漏孔位置及判断单个漏孔的漏率,其常规方法有吸氦法和喷氦法。

吸氦法是向法兰联结所形成的密闭空间内充氦,用与检漏仪连接的吸枪在法兰外抽吸;喷氦法是用检漏仪对法兰联结而成的密闭空间抽真空,用喷枪在法兰外侧向密封结构喷氦。

若法兰密封结构有漏,氦气将通过与检漏仪相连的吸枪或法兰密封的空间进入检漏系统,进而被检测到。

将泄漏信号与标准漏孔的校准信号进行比对就可求出被检部位的漏率。

对于吸氦法和喷氦法,普通的吸枪或喷枪只能沿法兰边沿移动(假如密封圈上有漏孔,根据气体扩散规律,距漏孔越远氦气浓度越低,因此吸枪离漏孔越远,检漏灵敏度越低(见法兰整体检漏时,通常是在法兰外焊接金属密封罩作为集气罩(也可作氦气罩) ,利用检漏仪对集气罩抽真空,形成检漏真空室,再在法兰内侧充氦,实施检漏。

当法兰较大时,集气罩的焊接质量极难保证、且焊接耗时较长。

为了进一步提高法兰检漏的灵敏度与可靠性,笔者改进设计了法兰检漏专用吸枪和喷枪,并研究了采用充压真空法和氦罩法进行的法兰整体检漏技术。

2、专用吸枪和喷枪的设计2.1、专用吸枪的结构设计与实验专用吸枪包括毛细金属管、接口和保护筒三部分,见专用吸枪的管端为内径小于0. 15 mm , 长150～200 mm 的不锈钢端管,可伸入法兰间隙内,以尽可能地接近密封结构。

氦质谱检漏仪校准方法培训

氦质谱检漏仪校准方法培训嘿，朋友们！今天咱要来聊聊氦质谱检漏仪校准方法这个事儿。

这氦质谱检漏仪啊，就像是个超级侦探，专门负责找出那些微小的泄漏点呢！要校准这厉害的家伙，咱得一步一步来。

首先呢，你得准备好各种工具和标准物质，这就好比战士上战场得有趁手的兵器呀！然后仔细检查仪器的各个部件，看看有没有啥问题。

这就像给它做个体检，确保它是健康的，能好好干活。

接下来就是关键步骤啦！要设置好校准的参数，这可不能马虎，就跟给房子打地基似的，得稳稳当当的。

然后呢，用标准物质进行测试，看看仪器的反应是不是准确。

这就好像考试一样，得检验检验它到底学没学好。

在这个过程中，可千万要细心啊！要是有一点疏忽，那可就像千里之堤毁于蚁穴一样，后果不堪设想。

你想想，如果校准不准确，那之后用它检测出来的结果能靠谱吗？那不是闹笑话嘛！而且啊，校准的时候还得注意环境因素呢。

温度、湿度啥的都可能会影响结果。

这就好比人在不同的环境下心情和状态也会不一样。

所以得给它创造一个合适的环境，让它能好好发挥。

还有哦，校准可不是一锤子买卖，得定期进行呢。

就像人要定期体检一样，这样才能保证它一直都能精准地工作呀。

要是长时间不校准，那它可能就会“开小差”啦。

咱再打个比方，这氦质谱检漏仪就像是一辆汽车，校准就是给它做保养。

只有经常保养，它才能跑得又快又稳，为我们服务呀！总之呢，氦质谱检漏仪校准方法可不能小瞧。

只有认真对待，严格按照要求来做，才能让它成为我们可靠的伙伴，帮我们找出那些隐藏的泄漏点。

大家可一定要记住哦！别嫌我啰嗦，这可都是为了大家好呀！希望大家都能熟练掌握这个校准方法，让我们的工作更顺利，更高效！你们说是不是这个理儿呢？。

ASM181T氦质谱检漏仪常见故障处理

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
ASM181T 氦质谱检漏仪常见故障处理
1、机械泵故障及处理（1）机械泵不动作。

检查项目有：电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵冷却后是否能启动）。

（2）机械泵声音异常。

检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否＜10 ℃，油雾过滤器的出口有无气体排出（假如无气体排出，更换油雾过滤器）。

2、分子泵故障及处理（1）开机2min 后压力指示灯不亮。

此时分子泵未转动，即分子泵入口压力未到设定值或未检测到压力（通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无法启动）。

因此，主要检查导致压力过高的因素。

检查的项目有：P
（2）分子泵加速指示灯不亮。

CD2 电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

（3）分子泵故障灯亮。

检查CD2 电路板设置开关是否处于R 位置，此时应该在N 位置。

检查风扇是否停止，假如风扇正常，请和厂家联系。

3、质谱室故障（1）灯丝指示灯不亮。

检查灯丝开关键是否处于关闭位置（再按一下），检查
（2）灯丝指示灯闪烁。

用万用表检查质谱室航空插座1 和5 接线柱是否开路，若开路，更换灯丝；若不开路，检查接线柱6 是否和其他接头导通，消除短路现象.
（3）遥控面板无压力指示。

检查P
（4）当检漏开始时压力不下降。

检查电路板PO318 保险丝是否有问题. （5）检漏口压力＞0.01MPa。

机械泵油失效或P。

阀门氦质谱检漏

阀门氦质谱检漏阀门氦质谱检漏是一种常见的检漏方式，它利用氦气的低渗透率以及质谱仪的高精度检测能力，可以有效地检测出设备、管道、阀门等的泄漏点。

下面将详细介绍阀门氦质谱检漏的原理、操作步骤及注意事项。

一、原理阀门氦质谱检漏的基本原理是：将氦气注入待检测的设备或管道中，利用阀门控制氦气的进出，通过质谱仪检测氦气的浓度变化，找出泄漏点。

该方法具有以下几个特点：1.高精度：质谱仪可以对氦气的浓度进行精确测量，可以检测出非常微小的泄漏点。

2.快速：使用阀门可以方便地控制氦气的进出，整个检测过程快速而简单。

3.可靠：由于氦气具有低渗透率，可以有效地避免假警报的情况。

二、操作步骤阀门氦质谱检漏的操作步骤如下：1.准备：将质谱仪和氦气瓶连接起来，将质谱仪调节到合适的工作状态。

2.清洁：清洁要检测的设备或管道，确保表面干净无尘。

3.施加氦气：在检测点处用灵活的氦气泵施加氦气。

4.检查：用质谱仪检查氦气的浓度变化，找出泄漏点。

5.标记：标记泄漏点，以便后续维修。

6.修复：对泄漏点进行修复。

7.再次检测：在修复后，再次进行氦质谱检漏，确保设备完全没有泄漏。

三、注意事项在进行阀门氦质谱检漏时应注意以下几个方面：1.注意安全：氦气是一种有毒无色气体，应注意防护措施。

2.正确定位：要在待测试的设备或管道上恰当位置注入氦气。

3.清洁设备：检查前应将设备或管道清洁，以避免误测。

4.确保气密性：在测试前应检查所有管路阀门并确保气密性。

5.注意精度：质谱仪对氦气浓度的测量精度很高，需要对仪器进行定期校准。

6.按要求进行修复：对发现的泄漏点应及时予以修复，并再次进行检查。

四、总结阀门氦质谱检漏是一种常见的检漏方式，具有高精度、快速、可靠等特点。

在操作时应注意安全，确保操作流程的正确性，遵循注意事项，并对设备进行定期维护和校准，以保障检测的准确性和有效性。

氦质谱正压检漏方法

氦质谱正压检漏方法嘿，咱今儿就来唠唠氦质谱正压检漏方法！这可是个相当重要的玩意儿呢！你想想看啊，要是有个什么容器或者设备，它不能漏气吧，一旦漏气那可就麻烦大啦！就好比咱家里的水管要是漏了，那水不得哗啦啦到处流啊。

这氦质谱正压检漏方法呢，就像是个超级厉害的侦探，能把那些小小的漏气点给揪出来。

它的原理其实也不难理解。

就是用氦气呀，这氦气就像个小精灵，在里面到处跑。

然后通过专门的仪器，也就是氦质谱仪来检测氦气的踪迹。

要是哪里有氦气跑出来了，那就说明那里有漏洞啦！是不是挺神奇的呀？具体操作起来呢，首先得准备好氦气和氦质谱仪。

然后把氦气充到要检测的东西里面，让它在里面好好地溜达溜达。

这时候，氦质谱仪就开始工作啦，它就像个警惕的小卫士，时刻盯着氦气的动静呢。

这过程中可得仔细咯，不能有一丝马虎。

就好像你在找你丢的钥匙一样，得认真地找遍每一个角落。

如果不认真，那可就找不到漏洞啦，到时候出了问题可就糟糕啦！而且啊，这氦质谱正压检漏方法的精度那可是相当高的呀！它能检测到极其微小的漏气点，比你用眼睛看可厉害多啦！你说要是光靠咱肉眼，那得费多大劲才能找到那些小漏洞呀。

咱再打个比方，这氦质谱正压检漏方法就像是医生给病人做检查一样，要仔仔细细地把每一个地方都检查到，不能放过任何一个小毛病。

只有这样，才能确保设备或者容器的安全可靠呀。

在很多行业里，氦质谱正压检漏方法都发挥着重要的作用呢！比如航天航空领域，那可都是高科技的东西，一点点漏气都可能引发大问题，所以这个方法就显得尤为重要啦。

还有一些精密仪器的制造，也离不开它呢。

你说这氦质谱正压检漏方法是不是很牛呀？它能让我们的生活变得更加安全可靠，让那些可能出现的危险都被扼杀在摇篮里。

所以呀，咱可得好好了解了解它，说不定啥时候咱自己也能用得上呢！反正我觉得这东西真的很棒，你们觉得呢？。

氦质谱检漏仪操作规程

氦质谱检漏仪操作规程氦质谱检漏仪操作规程一、检漏仪的常见故障及解决方法1. 漏气检测灵敏度低：检查氦气输送管道是否有泄漏，检查检漏仪保护罩是否安装正确，调整检漏仪探头的距离和角度。

2. 漏气检测结果不准确：检查检漏仪背景读数，并进行零点校准，检查漏气点的位置和状态，并使用带有氦气充装的喷嘴重新检测。

3. 检漏仪电源不工作：检查电源插头是否正确插入，检查电池是否安装正确并充电。

二、检漏仪的基本操作步骤1. 准备工作：将漏气检测仪连接到氦气供应系统，并将氦气气瓶连接到检漏仪上。

确保电源正常工作并充电。

2. 打开电源：按下电源按钮，检漏仪将开始初始化并显示相关信息。

3. 调节检测灵敏度：根据需要，通过调节检漏仪的灵敏度按钮来调整检测灵敏度。

通常，灵敏度越高，检测结果越准确，但也容易产生误报。

4. 零点校准：在开始检测之前，需要进行零点校准。

将检漏仪放在一个无气体泄漏的环境中，按下零点校准按钮进行校准。

5. 检测漏气点：将检漏仪探头靠近怀疑泄漏的部位，检测仪将开始收集氦气并进行分析。

过程中需要保持探头和被检测区域的距离适当，通常为5-10厘米。

6. 分析检测结果：检漏仪将显示漏气点的读数，并根据设定的报警值发出警报。

如果不确定结果，可以反复检测或调整探头位置。

7. 关闭电源：检测结束后，按下电源按钮关闭检漏仪，并将氦气源关闭。

三、检漏仪的安全使用注意事项1. 禁止将氦气直接吸入：氦气是惰性气体，但高浓度的氦气对人体有害。

在操作时应注意不要将氦气直接吸入，尽量避免长时间暴露在氦气环境中。

2. 避免氦气泄漏：在连接氦气供应系统时，要确保连接处紧固，避免氦气泄漏。

在检测过程中，检漏仪背景读数应为零，否则可能存在氦气泄漏，需要重新检查连接处。

3. 防止电源故障：在使用检漏仪时，应定期检查电源插头和电池的状态，确保电源正常工作。

在使用过程中，尽量避免电源过载或短路等故障。

4. 妥善保管和维护：使用完毕后，应将检漏仪存放在干燥、通风的地方，避免受潮或暴露在高温环境中。

氦质谱检漏仪的检漏方法

氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，可以检测出微小的漏孔和缺陷。

下面是氦质谱检漏仪的几种常见检漏方法：1.吸枪法吸枪法是一种常用的检漏方法，它通过将吸枪放置在待检测部位，利用氦气在漏孔处产生的气流吸引，将漏气吸入质谱室进行分析。

吸枪法的优点是操作简单、灵敏度高，适用于检测表面上的小漏孔。

但是，对于一些深孔或内部缺陷，吸枪法可能无法检测到。

2.喷吹法喷吹法是通过将氦气或氮气等气体以一定的压力和流量喷向待检测部位，从而发现漏孔的方法。

喷吹法的优点是可以检测到深孔或内部缺陷，并且对于一些小漏孔也有较好的检测效果。

但是，喷吹法的灵敏度相对较低，需要较高的气体压力和流量，可能会对被检测部件造成一定损伤。

3.真空法真空法是通过将被检测部件放置在真空环境中，然后向其内部充入一定量的氦气或氮气等气体，再通过检测部件内部气体压力的变化来判断是否存在漏孔的方法。

真空法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。

但是，真空法的操作比较复杂，需要较高的技术水平和设备投入。

4.压力法压力法是通过将被检测部件放置在一定压力的氦气或氮气等气体环境中，然后通过观察部件表面是否有气体泄漏来判断是否存在漏孔的方法。

压力法的优点是可以检测到较大的漏孔，并且操作简单、灵敏度高。

但是，压力法可能会对被检测部件造成一定损伤，需要小心操作。

5.粘滞液体法粘滞液体法是通过将粘滞液体（如硅油）涂抹在被检测部件表面，然后在一定压力的氦气或氮气等气体环境中观察是否有气泡产生来判断是否存在漏孔的方法。

粘滞液体法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。

但是，粘滞液体法的操作比较复杂，需要小心操作避免产生假阳性结果。

压力容器氦质谱检漏法介绍

被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。

采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。

根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。

检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。

吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。

2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。

当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。

下图是喷吹法原理示意图。

喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。

3、背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。

检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。

若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。

用这种方法测得的漏率也是总漏率。

图1－7为背压法检漏示意图。

4、真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。

检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。

氦质谱检漏技术不确定度研究

。
但是
,
应用氦质谱检漏技术所得到的检漏
数据只是检漏测试系统的最终测量值
测量的真实值之间的准确偏差
,
,
没有考虑整个测试系统中诸如测试环境
,
。
操作者
检漏
仪等各个参与因素本身所存在的不确定度
Hale Waihona Puke 这样难以知晓检漏测试系统所得到的检漏数据与被
导致检漏数据的可信程度降低
表面温度
气体种类
,
碰撞模型等方面
(
研究得出如下一些特性
∃
分子温度对于抽气特性影
,
,
有一定的波动特点
降低表面温度能提高泵的抽气性能 ( 镜面反射与漫反射有一越容易被
(
个最佳比例点
盘型分子泵内表面的表面粗糙度有一个最佳值 ( 气体分子质量越大
,
本次研究通过检测现场的测试
,
系统对被测基准的测试
,
并借鉴以往测试数据进行分析
。
通过不确定度理论和数理统计等数学
算法
,
探索出各个参与因素的单一不确定度对单点检漏测试系统的影响
,
并探索降低不确定度
的改进措施最终得到测试系统的合成不确定度
圆弧形盘型分子泵不同气体的抽气特性研究
钟亮巴德纯
, ,
闰荣鑫
,
北京空间技术研究院总装与环境工程部
北京 %∀ ∀∀&∋
。
摘要
方法密度

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。

当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。

在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。

按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。

氦质谱检漏测试 -回复

氦质谱检漏测试-回复标题：深入理解氦质谱检漏测试一、引言氦质谱检漏测试，作为一种先进的无损检测技术，已在众多领域中得到广泛应用，包括航空航天、汽车制造、半导体设备、真空设备、电力设备等。

其核心原理是利用氦气的特性进行泄漏检测，具有高灵敏度、快速、准确等优点。

本文将详细解析氦质谱检漏测试的原理、步骤、应用以及优势。

二、氦质谱检漏测试的原理氦质谱检漏测试的基本原理是利用氦原子质量轻、穿透性强、不与其他元素反应的特性。

当被检测设备可能存在泄漏时，氦气作为示踪气体被注入设备内部。

如果设备存在泄漏，氦气就会从泄漏点逸出。

然后，使用氦质谱仪对周围环境中的氦气进行检测和分析。

氦质谱仪通过离子源将氦气离子化，然后在磁场的作用下，根据质荷比的不同进行分离。

由于氦原子的质量非常小，其质荷比在所有元素中最小，因此在质谱仪上可以很容易地被识别出来。

通过测量氦气的浓度，就可以判断设备是否存在泄漏以及泄漏的程度。

三、氦质谱检漏测试的步骤1. 准备工作：首先，需要确保被检测设备已经清洗干净，没有其他可能干扰检测结果的气体。

然后，选择合适的氦气注入方法，如直接注入、压力差注入、真空抽吸注入等。

2. 氦气注入：将氦气注入到被检测设备内部，可以通过特定的接口或者直接在疑似泄漏点附近注入。

3. 检测过程：待氦气在设备内部分布均匀后，启动氦质谱仪进行检测。

操作人员手持探头在设备表面或疑似泄漏点附近移动，如果存在泄漏，氦质谱仪会显示出氦气的浓度变化。

4. 数据分析：根据氦质谱仪的检测结果，分析设备的泄漏情况。

通常，氦气浓度越高，说明泄漏越严重。

5. 处理和修复：根据检测结果，对泄漏点进行定位和修复。

修复后，可以再次进行氦质谱检漏测试，确认修复效果。

四、氦质谱检漏测试的应用氦质谱检漏测试因其高灵敏度和准确性，广泛应用于各种需要检测泄漏的场合。

1. 航空航天：对于飞机、火箭、卫星等设备，任何微小的泄漏都可能导致严重的安全问题。

氦质谱检漏测试能够准确检测出这些设备的微小泄漏，确保其安全运行。

氦质谱检漏仪的检漏方法

主要的优点总漏率检测，可靠相对而言成本较低
He
被测件
He
ASM 142
总漏率检测：背压式检漏
第一步 : 将被测件放置于一个充氦
的腔内
第二步 : 将被测件放于通风处（去 1
除表面累积的氦，以防影响之后的检
He
测精度
第三步 : 将被测件放置于一个与吸
枪探头相连的腔内
主要的优点
2
总漏率检测
(2)以1atm的纯氦作为示漏气体
(3)动态检漏时所能检出的最小漏孔的漏率 (指:检漏时不用累积法;仪器本身的真空系统仍在抽气;仪器反应时间小于1秒).
*
低灵敏度
氦检漏仪的灵敏度
一个容积为 1 升的自行车轮胎如果在24小时内气就漏光的话漏率为 3,5.10-2 mbar.l/s = 每秒有3 个半径 2 mm 的气泡
ks 10-7
aks
10-3
« big » leaks
气泡法检漏
压降法检漏
氦质谱检漏仪检漏
将被测件抽真空用喷枪对被测件表面喷氦检测进入被测件的氦流量
主要的优点非常高的灵敏度比较便宜
逐步区域检漏：喷氦式检漏
He
He
被测件
ASM 142
逐步区域检漏：吸枪式检漏
对被测件内部进行充氦用吸枪在被测件表面缓慢移动，采样逃逸的氦气
优点 :
• 到达可以检漏的压力所需时间 (+ +) • 灵敏度 (+) • 响应时间 (+ +) • 恢复时间 (++)
优点 :
• 到达可以检漏的压力所需时间 (+ +) • 灵敏度 (+) • 响应时间 (+ +) • 恢复时间 (++)

氦质谱检漏常见问题

氦质谱检漏常见问题As a person, we must have independent thoughts and personality.
一、为什么用氦气作为示踪气体其他气体可以吗
答：（1）在空气中含量低(只有5?ppm)，环境本底低
（2）惰性气体不易燃，不易爆对环境没有污染，不与其他物质反应，可以混合到任意浓度
（3）无毒，可以用在食品工业
（4）在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
（5）比空气轻，运动速度快
（6）气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔
（7）其它气体也可以
二、喷氦检漏的注意事项。

?
答：
（1）被测系统应尽量清洁，干燥，无油
（2）如果测量条件发生变化（温度），需要重新对检漏仪做内部较准?（3）氦气比空气轻，喷氦法检漏应注意方向?
（4）尽量不要使用密封脂（油脂会大量吸附氦气）
（5）不要向环境释放大量氦气?
（6）真实的漏率信号应当是快速上升的信号，相对缓慢下降的信号三、漏率（leak rate）
在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。

注：采用国际单位制时，漏率单位为：Pa?m3/s。

氦泄漏测试常见问题解答

氦泄漏测试常见问题解答
什么是氦泄漏测试？
随着工业的不断大规模生产，重型机械经常面临肉眼无法看到的破裂。

这些破裂阻碍了容器的连续性，从而在容器中形成泄漏，直接影响生产质量，并为周围的工作人员造成不安全的环境。

氦泄漏检测，可以通过将氦气喷洒或嗅探到组件上跟踪泄漏类型的位置来帮助识别看不见的破裂。

什么时候应该进行氦泄漏测试？
有时，热交换器或冷凝器等工作设备的输出无法提供最佳结果。

这种波动是由于管中的泄漏而发生的。

将泄漏的管子识别为像这样的轻微故障变得非常重要，这可能会导致行业中出现重大工艺混乱或事故。

由于其高灵敏度，氦泄漏测试可以很容易地查明泄漏的微小尺寸。

为什么是氦？
氦是仅次于氢的第二轻元素，具有无毒、惰性和不易燃等特性。

即使在存在工艺残留物的情况下，氦分子也可以穿过组件中的微小裂缝，从而检测泄漏的路径、位置和大小。

由于氦通常不存在于大气中（<5ppm），因此可以通过泄漏的容器确定地对其进行追踪。

与使用水或其他流体的气动和液压测试相比，氦泄漏测试被认为是最准确的检测方法。

通常在哪些组件上执行HLT？
许多设备用于各个行业，其中无泄漏是最重要的。

氦泄漏测试主要在：
冷凝器
热交换器
发电厂涡轮机
此外，它还可用于阀门、波纹管、歧管密封件、真空容器和系统、医疗设备、燃料管线、液压管线、制冷组件、散热器、手套箱、真空炉、真空镀膜机、半导体和激光加工设备、气体处理系统、生物反应器、密封包装、液化气设施和低温罐。

最后的好处是节省时间。

氦检设备合理化建议

氦检设备合理化建议
1、正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。

如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。

2、氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。

如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果。

3、在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。

对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。

如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。

4、如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。

因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。

5、检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。

如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。

此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。

6、如果检漏气体泄漏氦和氢，它将像气球一样飞到检漏区的室
顶，并逐渐漂浮在整个检漏区。

因此，应该为泄漏测试区域提供足够的通风。

由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动，因此建议从底部输入新鲜空气，从顶部向外排放气体。

伯东氦质谱检漏仪安全操作及保养规程

伯东氦质谱检漏仪安全操作及保养规程前言伯东氦质谱检漏仪是一种高灵敏度、高精度的检测仪器，在多个行业中得到了广泛应用。

为了确保使用者的安全和设备的长期稳定运行，本文档将介绍伯东氦质谱检漏仪的安全操作、日常保养及维修方法。

安全操作规程1. 仪器安装•仪器应安装在干燥、通风、无尘、无腐蚀性气体的环境中，避免阳光直射、雨淋、强电磁干扰等情况。

•仪器应稳固地安装在平坦且坚实的地面上，避免因地面不平或颠簸而导致故障或安全事故。

•仪器电源应接到电源插座或电源箱中，并先接地。

插座电压应符合仪器额定电压。

•检查各电缆、接头、管路等是否牢固连接，是否存在磨损、裂口、老化等情况。

•在安装时，请严格按照仪器说明书要求进行。

2. 仪器开机及使用•在仪器通电前，请先仔细阅读使用手册，了解相应相关规定、要求以及注意事项。

•开机前，请检查油、氦气罐或瓶是否已充足。

油量过少或氦气含量须达到额定容量的70%以上才能正常使用检漏仪。

•使用时请按照操作手册要求接入检测器，并对样品进行必要的准备工作。

•操作时应确保仪器运行平稳，若因电网电压变化、其他电器干扰等原因而引起波动和异常，请立即停机与厂家取得联系。

•操作人员应按照要求戴防护手套、防护眼镜和防护口罩等，避免对人体产生伤害。

3. 关闭仪器•操作完成后，应按照操作手册要求，正确地关闭仪器，如关闭气源，切断电源，关机等操作，以免影响设备寿命及运行效果。

•注意勿随意拆动或更换任何部件，以免影响设备的正常运转。

保养规程1. 定期清洁•定期清洗外壳、器皿等器材，避免杂物污染、磨损和润滑不良等问题。

切勿用插头连接方法擦拭，避免安全事故的发生。

•清洗前，请将仪器断电、关闭气源，然后使用专用清洁剂擦拭。

切勿使用过于浓厚的清洁剂或含有腐蚀性成分的清洁剂。

2. 油更换•应定期更换机内的油，并清除油箱中的杂物和污垢，以避免油含杂质而破坏仪器的性能。

•更换油时，先清洗油槽，然后拆卸管道，将原有的油充分排放。

氦质谱检漏仪使用说明

氦质谱检漏仪使用说明(总9页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--氦质谱检漏仪使用说明书资产编号：型号：ZQJ-542一、设备组成及工作原理1、设备组成框图2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。

检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。

ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。

由于磁场参数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。

氦离子流正比于容器中氦分压。

因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。

二、设备工作外部条件氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。

仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。

放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。

检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。

在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。

三、设备工作外部条件接通操作氦质谱检漏仪图1检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。

检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。

加压罐压氦装置图2加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。

干法腐蚀氦漏和温度常见问题分析

工作小结设备在运行时会有一些故障发生，对于故障的原因分析和处理方法是值得想的问题。

一、氦漏氦漏是常见的问题，氦气在工艺中的作用是使产品的温度保持与ESC一致，若发生氦漏，则产品的温度将不受控制，泄露的氦气还改变反应腔体的环境，造成压力和气体离子的浓度变化，影响速率和均匀性。

现在对氦漏发生的原因总结和分析。

1.ESC表面沾污2.片子背面沾污m4520 压痕偏移4.TCP9600 ESC电压故障5.ESC本身的问题6.传送偏移7.Chamber Lifter UP/Down 太快验证过程和分析1）氦漏看一下当前氦漏值，若略大于设定值则结束菜单，传出当前片，观察是否背面沾污，看下一片是否氦漏，若不氦漏可以继续工艺。

2）若氦漏，停止工艺，传出所有片子，用胶片反沾ESC，看一下胶片上是否有生成物。

再跑一片Season观察，所season片正常，可继续工艺3）对于Lam4520不是靠ESC静电吸附片子，而是靠clamp压在下电极上，跑一片SiO2片子看一下压痕是否偏移，若压痕偏移则导致片子没有被完全压在ESC上，调节ELL ARM Rotion&Extion chamber参数使压痕正常，再跑season看氦漏是否正常，若正常可继续工艺。

4）若不正常，可观察chamber Lifter UP/Down 速度，速度太快会导致在传送过程中片子位置偏移。

5）对于Tcp9600 若ESC表面的膜和ESC边缘被刻蚀掉会导致氦漏，开腔观察ESC表面是否有白点和边缘是否异常。

若有异常则更换ESC。

6）TCP9600 ESC电源要打到OFFset 档，在加背氦是测量ESC电压是否异常，若异常，观察ESC电源线是否松脱。

可拆下ESC电源检查几个端口电阻是否正常。

7）开腔校准传输。

检查ELL ARM螺丝是否松动。

二、二、CHILLER 异常Chiller是控制上电极和下电极温度的装置，在工艺菜单中设定的值对速率的影响至关重要。

常压累积法氦质谱检漏的误差分析

常压累积法氦质谱检漏的误差分析导弹与航天运载技术MISSILES AND SPACE VEHICLES常压累积法氦质谱检漏的误差分析康小录(上海航天动力机械研究所，上海，200233)摘要通过对常用的大气压累积法氦质谱检漏过程和标定技术的分析，导出了该方法所带来的系统误差的一般表达式。

指出了消除系统误差，提高常压累积法氦质谱检漏准确度和可靠度的可能的努力方向。

关键词误差，测量，质谱检漏。

The Error Analysis of Usual Integrating Leak Detection of Helium Mass Spectrometer at Normal AtmosphereKang Xiaolu(Shanghai Aerospace Power Machinery Institute，Shanghai，200233)Abstract The general expression of system error of usual int egrating helium mass spectrometer leak de tection measurement at normal atmosphere is given by analyzing the leak detectio n procedure and its calibration. A possible study direction is proposed to red uce the system error and to increase the accuracy and reliability of integrating leak detection measurement at normal atmosphere.Key Words Error，Measurement，Leak detection.1引言航天工程中，常常需要对大型组件、结构复杂系统的总漏率进行测试。

氦质谱检漏在飞机密封性检测中的应用

氦质谱检漏在飞机密封性检测中的应用一、目前飞机密封检测常用方法及其存在问题国内目前军机研制和生产、维护保障中油箱检漏技术根本停留在20世纪五六十年月的水平，以传统指针式压力表读数的压力变化检漏法、结合气泡检漏法、充煤油加压渗液检漏法为主。

主要承受气密、油密试验两种检査方法。

气密试验是承受压降法进展整体检漏，以推断整体油箱气密性是否合格，承受皂膜气泡法进展漏源定位；油密试验先用80％容积煤油静置24小时，承受常压煤油渗透检漏进展漏源定位，随后承受压降法进展整体检漏，以推断整体油箱密封性是否合格，同时承受加压煤油渗透检漏进展漏源监测。

这些方法，主要存在以下问题：1）试验过程对温度、湿度要求较髙，温差较大的天气会直接影响试验的进程；2）煤油的大量使用，需要建设专用的油密场地用以存储煤油，存在严峻火灾安全隐患；3）由测试者目测来判别工件是否存在泄漏，泄漏的大小取决于测试者的主观推断，人为因素对测试结果的影响较大，同时也存在无法定量地测出工件的泄漏率的问题；4）效率低，无法满足大批量生产需求。

正常状况下需要填充24小时无渗漏后再做有压试验，当遇到压力表读数下降时，为确定漏源进展补漏，需在机翼全外表刷涂肥皂泡，在泄漏量小、漏源位置隐秘的状况下，需要花费较大精力才能找到漏源；5）特别部位由于受构造限制无法承受气泡检漏法和传统指针式压力表读数的压力变化检漏法来实现检漏。

随着飞机产品生命周期的延长，飞机制造质量及牢靠性要求的不断提高，传统承受充压涂肥皂水的检漏方法越来越不适应飞机的批量生产、外场维护的现实需求，数字化快速检漏的技术和方法的争论应用变得急为迫切。

二、氦质谱检漏的原理及在飞机密封检测中的应用在飞机密封构造的泄漏检测中，国外较多的承受了氦质谱检漏技术。

如空客公司于20世纪90年月初期引入氦质谱吸枪法泄漏检测技术，用于A310、A320飞机整体油箱的检漏中，并推广到全部空客飞机的制造和修理中，不仅提高了整体油箱的制造和修补质量，同时由于不需要进展燃油密封试验，也大大节约了费用。