气体质量流量控制器原理
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Sccm：标准毫升/分 slpm：标准升/分
如果需要单位时间内流过的质量（如 g/min），可以查阅标准状态下的气体密度，然后作乘法就可以了。 3．质量流量计／质量流量控制器的主要的优点 （1） 直接测量气体的质量流量
热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无 需进行换算。 （2） 无可移动部分
注意不要造成气路堵塞，当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失 误，均有可能造成堵塞。对于的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和 正确使用。 （2）我公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算 5．区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合 一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量 场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。 6．不同气体的质量流量的换算
产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的 MFM/MFC 测量不同的气体，当流量 检测值相同时， 实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转 换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在 产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量 流量；反之，在确定所购产品的量程时， 以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定 产品的流量值。
属性特征 • 质量流量检测 • 不因温度和压力的波动 而失准 • 方便型的流量控制系统 • 高准确度 • 拒绝漏气 • 耐高压（90bar） • 快速的响应时间 • 高重复精度 • 性能稳定 • 宽量程比 • 高性价比 • ce 认证 • ISO 9001：2008／KS Q 9001;2009 • 完善的 AS 售后服务
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例 控制等。 （6） 准确度高，重复性好
我们的产品准确度可达+-1%F.S（full scale）重复性为＋-0.25%F.S（full scale） （7） 体积小巧，安装方便，操作简单 （8） 技术先进，符合发展潮流 4．使用流量计／质量流量控制器应注意的问题 （1）被测气体需要清洁。
本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。 （3） 可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。 （4） 测量控制的自动化
质量流量计／质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显 示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。 （5） 精确地定量控制流量
line－tech（莱因泰可）
关于 MFC 和 MFM 1． 质量流量计，质量流量控制器的概念
质量流量计，即 Mass Flow Metቤተ መጻሕፍቲ ባይዱr (MFM)，是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动 而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即 Mass Flow Controller (MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制 气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温 度有变化，也不会使其偏离设定值。 2． 质量流量计，质量流量控制器的流量单位
气体质量流量单位一般以 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和 SLM (Standard Liter per Minute) 来 表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状 态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是 SCCM、SLM 不同于 Ml/min、L/min 之处。
line－tech（莱因泰可）
7. MFC/MFM 适用范围
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到 10MPA；本公司 MFC/MFM 可以适用于很多气体介质（包括 一些腐蚀性的气体，如三氧化硼，三氯化硼，氯化氢，氟化氢等等）有很宽的流量范围，产品最小流量范围可 达 0~5sccm，最大流量范围可达 0~120slpm。流量控制范围是满程的 2~100%（量程比为 50：1），在很多的领 域得到广泛的应用。
8. 部分常用单位
1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters(公升) sccm : s = standard cc = cm 的 3 次方 m = minute(分鐘) slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分鐘)
LINE-TECH（莱因泰可）北京
LINE TECH 自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程， 终于诞生出今天的 M 系列，MFC/MFM 产品。
LINE TECH 气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀 膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER 磁控溅射 台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直 拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生 物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药 产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
LINE-TECH 致力于为客户提供专业的仪器仪表及精密稳定的 过程控制设备。公司自成立以来，以灵活的经营机制，以“质量第 一、服务第一、客户第一”的信念，为客户提供更加专业化的、优 质的服务，深受各界用户的欢迎，并且在石油、化工、电力等重 点行业做出了突出成绩。如今产品远销美国，澳大利亚，日本， 台湾，伊朗，中国，印度等...我们将一如既往的为所有的客户提供 更优质、高效的服务。
如果需要单位时间内流过的质量（如 g/min），可以查阅标准状态下的气体密度，然后作乘法就可以了。 3．质量流量计／质量流量控制器的主要的优点 （1） 直接测量气体的质量流量
热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无 需进行换算。 （2） 无可移动部分
注意不要造成气路堵塞，当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失 误，均有可能造成堵塞。对于的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和 正确使用。 （2）我公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算 5．区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合 一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量 场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。 6．不同气体的质量流量的换算
产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的 MFM/MFC 测量不同的气体，当流量 检测值相同时， 实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转 换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在 产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量 流量；反之，在确定所购产品的量程时， 以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定 产品的流量值。
属性特征 • 质量流量检测 • 不因温度和压力的波动 而失准 • 方便型的流量控制系统 • 高准确度 • 拒绝漏气 • 耐高压（90bar） • 快速的响应时间 • 高重复精度 • 性能稳定 • 宽量程比 • 高性价比 • ce 认证 • ISO 9001：2008／KS Q 9001;2009 • 完善的 AS 售后服务
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例 控制等。 （6） 准确度高，重复性好
我们的产品准确度可达+-1%F.S（full scale）重复性为＋-0.25%F.S（full scale） （7） 体积小巧，安装方便，操作简单 （8） 技术先进，符合发展潮流 4．使用流量计／质量流量控制器应注意的问题 （1）被测气体需要清洁。
本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。 （3） 可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。 （4） 测量控制的自动化
质量流量计／质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显 示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。 （5） 精确地定量控制流量
line－tech（莱因泰可）
关于 MFC 和 MFM 1． 质量流量计，质量流量控制器的概念
质量流量计，即 Mass Flow Metቤተ መጻሕፍቲ ባይዱr (MFM)，是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动 而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即 Mass Flow Controller (MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制 气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温 度有变化，也不会使其偏离设定值。 2． 质量流量计，质量流量控制器的流量单位
气体质量流量单位一般以 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和 SLM (Standard Liter per Minute) 来 表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状 态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是 SCCM、SLM 不同于 Ml/min、L/min 之处。
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7. MFC/MFM 适用范围
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到 10MPA；本公司 MFC/MFM 可以适用于很多气体介质（包括 一些腐蚀性的气体，如三氧化硼，三氯化硼，氯化氢，氟化氢等等）有很宽的流量范围，产品最小流量范围可 达 0~5sccm，最大流量范围可达 0~120slpm。流量控制范围是满程的 2~100%（量程比为 50：1），在很多的领 域得到广泛的应用。
8. 部分常用单位
1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters(公升) sccm : s = standard cc = cm 的 3 次方 m = minute(分鐘) slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分鐘)
LINE-TECH（莱因泰可）北京
LINE TECH 自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程， 终于诞生出今天的 M 系列，MFC/MFM 产品。
LINE TECH 气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀 膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER 磁控溅射 台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直 拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生 物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药 产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
LINE-TECH 致力于为客户提供专业的仪器仪表及精密稳定的 过程控制设备。公司自成立以来，以灵活的经营机制，以“质量第 一、服务第一、客户第一”的信念，为客户提供更加专业化的、优 质的服务，深受各界用户的欢迎，并且在石油、化工、电力等重 点行业做出了突出成绩。如今产品远销美国，澳大利亚，日本， 台湾，伊朗，中国，印度等...我们将一如既往的为所有的客户提供 更优质、高效的服务。