电容式位移传感器的设计

课程设计设计名称: 电容式位移传感器的设计_专业班级: __姓名: ____________学号: _________指导教师: ______xxxx年 xx 月目录一、设计要求………………………………………………………………3二、电容传感器工作特性 (3)三、电容传感器的优缺点 (3)四、基本原理………………………………………………………………3五、设计分析………………………………………………………………4六、消除和减少寄生电容的影响 (5)七、转换电路的设计 (6)八、差动放大电路…………………………………………………………8九、相敏检波器系统工作及原理 (9)十、心得体会 (11)十一、参考文献 (12)十二、附录 (13)1、设计要求：设计差动变面积式电容位移传感器，要求规定的设计参数。

1、测量范围（mm）：0~±1mm；2、线性度（%Fs）：0.5；3、分辨率（μm）：0.01；4、灵敏度（PF/mm）：5、通过理论设计、结构设计、理论分析等过程设计传感器结构和测量电路，画出结构示意图和测量电路图，并进行参数计算。

利用参数和结构来选择合理的方法消除或减少寄生电容的干扰影响。

结合传感器实验平台，确定传感器的静态灵敏度和线性范围，并设计电容传感器的电子秤应用实验。

2、电容传感器工作特性电容式传感器具有灵敏度高、精度高等优点。

相对与其他传感器来说，电容式传感器的温度稳定性好，其结构简单，易于制造，易于保证高的精度，能在高温、低温、强辐射及强磁场等各种恶劣环境条件下工作，适应性强；它的静电引力小，动态响应好，可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等；它能够实现非接触测量，在被测件不能受力，或高速运动，或表面不连接，或表面不允许划伤等不允许采用接触测量的情况下，电容传感器可以完成测量任务；当采用非接触测量时，电容传感器具有平均效应，可以减少工件表面粗糙度等对测量的影响。

因其所需的输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、很小的加速度、位移等，由于在空气等介质中损耗小，采用差动结构并连接成桥式电路时产生的零点残余电压极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度，分辨力高，能敏感0.01μm至更小的位移。

本课题采用差动变面积式电容位移传感器，线性的反映电容和位移的变化关系。

3、电容传感器的优缺点优点：1.其温度稳定性好:电容传感器的电容值一般与电极材料无关，仅取决于电机的几何尺寸和介质，且空气介质等介质损耗很小，因此只要从强度、温度系数等机械特性考虑，合理选择材料和结构尺寸即可，电容传感器工作室本身发热极小，影像稳定性甚微。

2.结构简单且适应性强：电容传感器的结构简单，易于保证高的精度。

一般用金属做电极，无机材料做绝缘支架，可以做得非常小巧。

在高温、低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下都能正常工作。

3.静电力小。

忧郁极板间存在着静电场，因此极板上作用着静电引力或静电力矩。

一般来说，这种景点引力是很小的，因此只有对推动力很小的弹性敏感元件，才须考虑因静电考虑静电引力造成的测量误差。

4.动态响应好：由于极板间的静电引力小，需要的作用能亮极小，因此其固有频率很高，动态响应时间短.5.可实现非接触测量并且有平均效应。

在被测件不能受力或高速运动等不允许接触测量的情况下，电容传感器可以完成测量任务。

但是电容式传感器的一些缺点也是不可忽视的:1.输出阻抗高并且负载能力差.电容式传感器的容量受其几何尺寸等限制，不易做的太大，使传感器的输出阻抗很高，因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取平屏蔽措施，从而给设计和使用带来不便。

容抗还要求传感器绝缘部分的电阻值极高，否则绝缘部分将作为旁路电阻而映像仪器的性能，为此还要特别注意周围环境如湿度、清洁度等。

若采取高频供电，可降低传感器输出阻抗，但高频放大、传输远比低频的复杂，且寄生电容影响大，不宜保证工作的稳定性。

2.寄生电容影响大：传感器的初始电容很小，而传感器的引线电缆电容（1~2m 导线电缆电容可达800pF）测量电路的杂散电容以及传感器极板与周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度，另一方面这些电容常常是随机变化的，使传感器工作不稳定，影响测量精度。

因此对电缆的选择、安装、接法都有严格的要求，例如采取屏蔽性好、自身分布电容小的导线作为引线，引线粗而短，要保证仪器的杂散电容小而稳定等，否则不能保证高的测量精度。

4、基本原理利用电容C＝εA／d和其它结构的关系式通过相应的结构和测量电路可以选择ε、A、d中三个参数中，保持二个参数不变，而只改变其中一个参数，则可以有测谷物干燥度（ε变）、测位移（d变）和测量液位（A变）等多种电容传感器。

本实验采用的传感器为圆筒式变面积差动结构的电容式位移传感器，如下图所示：它是有二个圆筒和一个圆柱组成的。

设圆筒的半径为R；圆柱的半径为r；圆柱的长为x，则电容量为C=ε2x／ln(R／r)。

图中C1、C2是差动连接，当图中的圆柱产生∆X位移时，电容量的变化量为∆C=C1－C2=ε2 2∆X／ln(R／r)，式中ε2 、ln(R／r)为常数，说明∆C与位移∆X成正比，配上配套测量电路就能测量位移。

5、设计分析本文主要是设计差动变面积式电容位移传感器，以及测量电路的设计。

利用电容式传感器非接触测量的特性，测量微小位移的变化，由于位移的变化引起电容的变化，将电容的变化量转换成电压的变化，由电压的变化测出位移的变化量。

本设计主要目的是如何利用设计的差动变面积式位移传感器与转换原件，尽量消除外界干扰引起的误差，高精度测出位移的变化量。

图1.差动电容简图图1为差动式圆柱形电容传感器的原理简图，此传感器由三个圆柱形电容极板组成，中间为气体介质，两两构成电容器。

当中间的极板上下移动式，它与上下两个极板组成的电容器的面积就会改变，当中间电容极板向上移动时，与上边极板间面积增大，与下极板间面积减小；反之，当中间极板向下运动时，与上极板面积减小，与下极板间的面积增大。

所以导致两个柱形电容总能保持一个增大一个减小的状态，由此构成了差动电容。

圆柱式电容的计算公式为C=2πεx/ ln(D/d)式中：x为内、外电极重叠部分的长度；D、d分别为外电极内径与内电极外径。

当重叠部分长度x发生变化时，电容的变化量为灵敏度为K=ΔC/Δx=2πε /l n(D/d)设计一个圆柱式差动变面积电容位移传感器测量大位移，可以测量0~±1mm的距离，传感器由两组定片盒一组动片组成。

当动片上、下改变位置，与两组静片之间的重叠面积发生变化，极间电容也发生相应变化，成为差动电容。

将上层定片与动片形成的电容定位Cx1，下层定片与动片形成的电容定为Cx2，当Cx1和Cx2接入桥路作为相邻臂时，桥路的输出电压与电容量的变化有关，即与动片的位移有关。

6、消除和减少寄生电容的影响在电容式传感器的设计中，受到结构尺寸的限制影响，其自身电容量都很小（几皮法至十几皮法），属于小功率高阻抗原件，因此对寄生电容干扰非常敏感，并且寄生电容与传感器的电容相并联，影响传感器灵敏度等硬性参数，而它的变化则为虚假信号，影响仪器的精度。

传感器实用性的关键就是减小并消除寄生电容的影响。

1增加传感器初始电容值采用减小极片或极筒间的间距，增加工作面积来增加电容初始值，单该方法收加工及安装及装配工艺，精度，示值范围，击穿电压，结构条件因素限制。

2集成化将传感器与测量电路本身或前置级装在一个壳体内，省去传感器的电缆引线。

这样，寄生电容大为减少而且固定不变，是仪器工作稳定，但这种传感器收高，低温或环境差的影响。

3运算放大器法利用运算放大器的虚地减少引线电缆寄生电容Cl，电容的传感器Cx的一个电极经电缆芯线接运算放大器的虚地∑点，电缆的屏蔽层接仪器，这时与传感器电容相串联的为等效电缆电容Cp/（1+A），大大减少了电缆电容的影响，外界干扰因屏蔽层接仪器地，对芯线不起作用。

传感器的另一电极接大地，用来防止外来电厂的干扰。

若采用双层屏蔽层电缆，其外层屏蔽鞥接大地，干扰影响就更小。

开环放大倍数A越大，精度越高。

选择足够大的A值以确保足够的测量精度。

4 采用“电缆驱动”技术当电容式传感器的容值很小，而且因为某些原因，测量电路只能与传感器分开时，可采用电缆驱动技术，即传感器与测量电路前置级间的引线为双层屏蔽电缆，其内屏蔽层与信号传输线之间的电容。

采用这种技术可是电缆线长达10m之远也不影响仪器的性能。

此外，还可以采用整体屏蔽法以及防止和减小外界干扰给仪器带来的误差和故障7、转换电路的设计电容传感器可以把位移等被测量转换成电容量C，电容传感器的电容变化量通常非常小（一般为几十PF），如此微小的电容量不便于直接测量和传输，因此需要将电容量C进一步转换成易于数据处理的电压或电流信号，将电容量转换成电量的电路称作电容式传感器的转换电路，本文采用电桥电路作为转换电路。

电桥电路电桥法转换电路主要有普通交流电桥电路、紧耦合电感臂电桥电路、变压器式电桥电路和双T二极管电桥电路。

下图所示为双T二极管电桥电路原理图。

其中，U为高频电源，提供对称方波D1、D2是两个特性相同的二极管，R1和R2是固定电阻，且R1=R2=R,C1、C2为差动电容传感器的两个差动电容（对于单电容工作的传感器，可以选择其中之一为固定电容，另一个为传感器电容）。

电路工作原理为：当电源U0正半周时，二极管D1导通，D2截止，电路可等效为下图（a）所示电路，此时C1充电，C2放电，流经Rf的电流If为电源U供电电流If和C2放电电流I2之和；当电源U为负半周时D1截止，D2导通，等效电路如下图（b)所示，此时C1放电，C2充电，流经Rf的电流If为电源U供电电流I2‘和C1放电电流I1’之和。

由于D1、D2特性相同，且R1=R2，因此当C1=C2（即传感器极板位于中间位置，没有位移输入）时，If 与I1’的平均值大小相等，方向相反，在一个周期内流过Rf的平均电流为零，即Rf 上无电压输出；当C1或C2发生变化时，Rf上平均电流不为零，有电压输出，输出电压为式4.3表明，该电路的灵敏度与电源电压U 0的幅值和频率f 有关，因此，为保证电路输出的稳定性，采用的电源需要同时稳频、稳压。

该电路的最大优点是将D 1、D 2、R 1、R 2安装在C 1、C 2附近可以消除电缆寄生电容的影响，同时电路简单，不需要附加其他相敏整流电路便可得到较高的输出电压。

该电路常用来测量高速的机械运动。

8、差动放大电路差动放大电路又叫差分电路，他不仅能有效的放大直流信号，而且能有效的减小由于电源波动和晶体管随温度变化多引起的零点漂移，因而获得广泛的应用。