工序能力及工序能力指数的计算(PPT 18页)
工序能力和工序能力指数计算
工序能力和工序能力指数计算
工序能力是指在一定时间内完成生产过程中的一项特定工序所需要具
备的能力和技术水平。工序能力指数是对工序能力的评估和度量，用于衡
量工序能力的强弱和优劣。
工序能力的计算是一个复杂的过程，需要综合考虑多个因素和指标。
以下是一种常见的工序能力计算方法。
首先，确定评估的工序和评估期间。工序可以是一个单独的操作，如
车床加工或焊接，也可以是一个更复杂的过程，如产品的装配过程。评估
期间可以是一天、一周、一个月或更长的时间。
其次，确定评估的指标和准则。这些指标和准则应该与具体的工序和
生产需求相关，可以包括以下几个方面：
1.产能：工序单位时间内能够完成的产品数量。这个指标是工序能力
的一个重要指标，可以通过实际生产数量和所需完成时间比较得出。
2.效率：工序完成工作所需的时间与实际工作时间之比。这个指标反
映了工序的工作效率和工艺水平，可以通过实际完成时间与预期工作时间
的比较得出。
3.资源利用率：工序所使用的资源（如设备、人力、材料）的利用率。这个指标反映了工序的资源管理和协调能力，可以通过实际资源使用量与
预期资源使用量的比较得出。
4.质量：工序完成产品的质量水平。这个指标反映了工序的工艺控制
和质量管理能力，可以通过实际产品质量和质量标准比较得出。
5.合格率：工序完成产品的合格率。这个指标反映了工序的质量控制
能力，可以通过合格产品数量与总产品数量的比较得出。
基于这些指标，可以按照一定的权重和算法进行综合计算，得出一个
工序能力指数。可以使用加权平均法，根据不同指标的重要性给出相应的
权重，然后将每个指标的得分按照权重加权求和，得出总得分。
工序能力和工序能力指数
13.9
14.0 14.7 13.7
14.1
14.4 13.6 14.1
13.7
14.0 13.9 13.5
14.0
13.2 14.8 13.9
14.1
14.5 13.6 14.0
13.7
13.9 14.0 14.7
13.8
13.7 14.2 14.2
14.7
14.3 13.5 14.8
J
13.1
14.4
步骤4 步骤5
决定测量单位（测量值最小刻度）
测量单位是指测量数据时的测量精度：所举事例的测量单位是0.1克
确定区间宽度
区间宽度是指区间上边界值之间的差。 区间宽度的求法是，最大只和最小值的差除以「临时区间数」所得值， 而且应使之间与「测量单位」成整数倍的关系
X max — X min
n
=
15.0－12.9 10
频 度
5 13.65 14.05 14.45 12.85 13.25 14.85 (克) 15.05 13.85 14.25 14.65 13.05 13.45
【药品的重量直方图】
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画直方图常见的问题:
1、抽取的样本量过小，误差大、可信度底。
2、组数K选得过大或过小，造成分布变形、判断有无。
3、图形中的图标注不完善，一般应注n、x、s、Cp 或 CpK、 特性值的规格、单位、画图日期等
工序能力与工序能力指数的计算
工序能力与工序能力指数的计算
工序能力是指企业在完成一项生产工序时所展现的效率和能力水平。它反映了企业在工艺流程、技术设备、人员素质、管理水平等方面的综合实力。
工序能力指数是用来评估工序能力的指标。它可以通过以下公式来计算：
工序能力指数 = （实际产量 / 标准产量） × 100%
其中，实际产量指的是工序在实际生产过程中所完成的产量，标准产量则是根据工艺流程和设备性能所确定的预期产量。
通过工序能力指数的计算，企业可以了解到工序执行的效果和水平。当工序能力指数高于100%时，表明企业的工序能力较强，达到甚至超过了预期的产量。而当工序能力指数低于100%时，则表明企业的工序能力较弱，无法达到预期的产量。
工序能力和工序能力指数的计算对企业的生产管理和效率提升有着重要的意义。通过不断地监测和分析工序能力指数，企业可以及时发现生产中存在的问题，并采取相应的措施进行改善。同时，工序能力指数的计算还可以作为企业生产绩效评价的重要依据，帮助企业进行业务决策和资源配置。
总之，工序能力和工序能力指数是评估企业生产能力和管理水平的重要指标。通过不断提升工序能力和提高工序能力指数，企业可以实现生产效益的最大化，提高竞争力和市场份额，实
现可持续发展。工序能力和工序能力指数是企业生产管理的重要指标。在现代企业管理中，高效的工序能力是提高生产效率和产品质量的关键。因此，企业需要不断提升工序能力，并通过工序能力指数来评估其所处的水平。
首先，工序能力的提升是通过优化工艺流程和技术设备来实现的。工厂生产中，往往需要经历一系列的工序，例如原材料加工、组装、包装等。在每一个工序中，都需要确保设备正常运转和操作者的熟练程度。优化工序流程可以缩短加工周期，提高单位时间的产出，从而提高生产效率。与此同时，引入先进的技术设备也可以加快生产速度，提高产品质量，并降低生产成本。
第八次工序能力及工序能力指数的计算(PPT_18页)
6) 测量方法的选择。
主要随 5M一E (Method方法, Man人, Machine机器, Material材料，Measure测量、 Environment环境)的变动受影响.
1. 基本要点
(1) 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可 靠性水平高的产品。
的重要参数和特性值必须经过工艺评定或工艺验证，有形成文件的工 艺评定书或工艺验证书；
如何提高工序能力
(5)原材料、半成品、产品的贮存、包装、搬运、标识必须符合程序文件 的规定，不得有磕碰、损坏、变质的现象；
(6)审查生产设备、检验及试验设备、工装器具、计量器具的完好率、专 管率、周期检验率等是否满足过程控制的质量要求；
— —工序能力及工序能力指数的计算— —
1. 基本要点 2. 什么是工序能力 3. 工序能力的定量表征
什么是工序能力
• 所谓工序能力是指处于稳定状态下的实 际加工能力，工序能够稳定地生产出质 量合格产品的能力，也就是说在操作者 、机器设备、原材料、操作方法、测量 方法和环境等标准条件下，工序呈稳定 状态时所具有的加工精度。常用标准偏 差δ的6倍来表示工序能力的大小。
9 -4/30
连续型Data的现水平测定-工序能力指数的种类
• 工序能力分析的 Baseline（底线）: •Spec（产品规格）
工序(过程)能力分析PPT课件
例:某零件质量要求加工后不
得大于71g，测试部分数据后
得 x＝70.2g，S＝0.24g，试
计算过程能力指数CpU及不合 格品率pU。
f（x）
解： CpU73107.20.241.11
不合格品率：p U Φ ( 3 1 .1) 1 Φ ( 3 .3)3
4 .34 12 4 0 0 .0% 4
Tm μ B
x
S
S
Φ Φ p 2 {( 3 C p ( 1 K ) )( 3 C p ( 1 K ))}
当k≥１，即e≥T/2时，规定Cpk=0 (图中，曲线2)
②采用“用Cp和k值估计不合格品率”
●讨论
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●讨论
u • 当 恰好位于公差中心时， Mx 0
从而K=0，则 CpkCp，这是“无偏”的情况，即理想
1 ( 2 . 0 ) 9 ( 2 . 8 3 ) 0 0 . 0 2 4 . 1 2 % 1
或由CpK=0.816，k=0.145查下表得不良品率估计约为2.1%～2.3%27
2 计量值——单侧规格界限
(1)仅给出规格上限TU
●计算公式：
CpUTU 3TU 3S x
当TU≤ x时，p≥50%，则规定CpU＝0
质量差异是生产制造过程的固有本质，质量的 波动具有客观必然性。
工序质量控制的任务，是要把质量特性值控制在 规定的波动范围内，使工序处于受控状态，能 稳定地生产合格品。
工序能力及工序能力指数的计算
工序能力及工序能力指数的计算
工序能力是指企业在完成特定工序时所具有的能力，包括所掌握的技术、设备和人员等方面的因素。而工序能力指数是反映工序能力水平的一
种综合指标，其计算可以基于多个因素，如生产效率、质量控制能力等。
在企业的生产过程中，每个工序都需要特定的技能和资源来完成。工
序能力指的是企业所具备的完成特定工序所需的技术水平、设备能力和人
员素质等要素。一般来说，工序能力较强的企业能够更好地应对生产过程
中的挑战，提高生产效率和产品质量。
计算工序能力及工序能力指数的方法可以有多种，以下是一种常用的
计算方法：
1.确定衡量工序能力的指标：选择适当的指标来评估工序能力，如生
产效率、产品质量、设备利用率等指标。需要根据实际情况确定具体指标。
2.收集数据：收集与指标相关的数据，如生产数量、产品合格率、设
备稼动率等数据。数据的收集可以通过观察、实地调研、问卷调查等方式
进行。
3.计算工序能力指数：根据所选指标和收集的数据，计算工序能力指数。具体计算方法可以根据不同指标的特点来确定。以下是一些常见指标
的计算方法：
-生产效率：生产数量/单位时间。可以计算每小时、每天、每周、每
月等不同的时间单位。
-产品质量：产品合格数/总生产数量。可以计算合格率或不合格率。
-设备利用率：设备运行时间/总时间。可以计算每天、每周、每月等
不同的时间单位。
4.综合评估：将各项指标的计算结果加权平均或综合考虑，综合评估
工序能力。加权平均可以根据各项指标的重要性来确定权重。
根据实际情况，可以对工序能力及工序能力指数进行不断的优化和改进。例如，可以提高员工的技术培训和素质提升，更新设备以提高生产效率，加强质量管理以提高产品质量等。不断改进工序能力可以提高企业的
工序能力调查课件
案例四：某食品加工企业工艺流程优化调查
总结词
分析工艺流程、找出瓶颈环节、优化工艺流程、提高 生产效率
详细描述
该食品加工企业为了提高生产效率和质量，需要进行 工艺流程优化调查。首先，需要对工艺流程进行详细 的分析，找出瓶颈环节。通过分析，发现了一些问题 ，如加工过程过于繁琐、原材料处理不当等。针对这 些问题，提出了相应的改进措施，如简化加工过程、 优化原材料处理方法等。
详细描述
流程图法是一种系统性强的全局性评估方法，通过构建流程图来分析整个生产 过程中的各工序环节，评估其潜在问题和瓶颈，以便进行改进和优化。
统计分析法
总结词
数据驱动、量化评估
详细描述
统计分析法利用数据采集和分析工具，对生产过程中的各种数据进行深入挖掘和 统计分析，以发现潜在问题和工序能力的薄弱环节，为改进提供依据。
04
工序能力调查结果应用
改善生产流程
识别瓶颈环节
通过对生产流程的工序能力调查 ，可以识别出流程中的瓶颈环节 ，这些环节可能限制了生产效率
的提高。
优化流程设计
针对这些瓶颈环节，可以重新设计 或优化流程，以提高生产效率。例 如，改进工艺流程、增加设备、改 进物流等。
调整生产计划
根据工序能力调查的结果，可以更 加精确地预测生产需求，并制定合 理的生产计划，以避免库存积压或 缺货现象。
工序能力及工序能力指exPPT优选课件
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实际工艺能力指数CPK计算公式：
偏离为1.5情况下Cpk与Cp的关系：若工艺参数分布的中心值与 规范中心值偏移的程度为1.5σ，即：（μ-(TU+TL)/2）=1.5σ， 由上式可得：
Cpk=Cp-0.5
即工艺参数分布的中心值μ与规范中心值偏移为1.5σ的情况下， Cpk要比Cp小0.5。如果Cp＝2，Cpk只有1.5。因此，有时将Cp 称为潜在工序能力指数，将Cpk称为实际工序能力指数，简称为 工序能力指数。
结论：工序能力指数越高，成品率也越高。
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2. 工序能力的定量表征
(3) 实际工序能力指数： CPK
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2. 工序能力的定量表征
(3) 实际工序能力指数： CPK
在元器件生产中，采用闭环工艺控制的情况并不多，大多为“ 间 接”工艺控制，很难使两者重合。例如，IC中的扩散工艺，并不 能在扩散过程中随时监测方块电阻Rs的变化情况，因此不能做到 在Rs达到规范中心值时结束扩散。实际上都是先做试片，根据试 片测试结果调整工艺条件。实践表明, 对于这种“ 间接 ”控制的 工艺，工艺参数分 布中心值μ与规范 中心值偏移的程度一般为 1.5。
CP=(TU-TL)/ 6σ=T/ 6σ 通过积分可得工艺成品率为：
生产管理教学课件：第十二章工序过程能力分析
§12.1 基本概念 §12.2 工序能力指数的计算 §12.3 工序能力的评价与处置 §12.4 工序能力调查
§12.1 基本概念
在产品制造过程中，工序是保证产品质量的最基本环 节。 所谓工序能力分析，就是考虑 工序的设备、工艺、 人的操作、材料、测量工具与方法以及环境对工序质量 指标要求的适合 程度。工序能力分析是质量管理的一项 重要的技术基础工作。它有助于掌握各道工序的质量保 证 能力，为产品设计、工艺、工装设计、设备的维修、 调整、更新、改造提供必要的资料和依据。 一 工序能力 二 工序能力指数
5 Cp≤0.67 四级加工
●当 时，T≤4S，不合格品率p≥4.55%。（见图） ●工序能力严重不足，产品质量水平很低，不合格品率高。 ●措施: (1)必须立即分析原因，采取措施 ，提高工序能力； (2)为了保证产品的出厂质量，应通过全数检查； (3)若更改设计、放宽规格要求 不致影响产品质量或从 经济性考虑更为合理时，也可以用更改设计的方法 予以解决，但要慎重处理。
双侧规格界限是指既具有规格上限(TU)要求，又有规格下限(TL)要求的情况 (1)无偏——规格中心Tm与分布中心 重合 计算公式： 工序不合格品率p 的估计： ①直接根据规格上、下限TU、TL 以及工序分布的数字特征，估 计 和S 进行计算 ②根据工序能力指数Cp计算。 由式: 因此有 例1
工序能力调查课件
对计算出的工序能力指数进行分析，评估工序能 力的现状和潜在问题。
分析并改 进
问题诊断与改进
1
2
根据工序能力指数分析结果，诊断存在的问题和 潜在风险。
3
制定针对性的改进措施，包括工艺优化、设备更 新、人员培训等，以提高工序能力。
04
工序能力调查的案例分析
电子制造企业工序能力调查
详细描述
该电子制造企业在进行工序能力调查时，重点关注产品性能参数、可靠性、稳定 性等方面的指标。通过调查发现，该企业在某些关键工艺环节上存在较大波动， 需要加强工艺控制和品质管理，以提高工序能力。
案例三：某服装加工企业的工序能力调查
总结词
服装加工企业工序能力调查
详细描述
该服装加工企业在进行工序能力调查时，主要关注裁剪、缝制、熨烫等工艺环节的效率和质量。通过调查发现， 该企业在裁剪和熨烫环节存在一定程度的波动，需要优化工艺流程和加强员工培训，以提高工序能力。
操作人员的技能、经验等 方面的能力，包括操作人 员的技能水平、工作效率 等。
工序能力调查的目的
了解生产过程的加工 能力，为生产计划、 工艺制定提供依据。
评估生产过程的稳定 性，预防产品质量问 题的发生。
发现生产过程中的瓶 颈环节，优化生产流 程，提高生产效率。
02
工序能力指数计算公式
工序能力指数计算公式
当分布中心与公差中心重合时，工序能力指数记为Cp。当分布中心与公差中心有偏离时，工序能力指数记为CPK。运用工序能力指数，可以帮助我们掌握生产过程的质量水平。
(1)单向公差值情况的工序能力指数CPL和CPU ：当给定单向公差的上限公差时，无下限要求，则工序能力指数应按下式计算：CPU＝(TU－μ)/3σ
注:若μ＞TU ，则取CPU为零，说明该工序完全没有工序能力。
当给定单向公差的下限公差时，无上限要求，工序能力指数应按下式计算：CPL＝(μ－TL)/3σ注:若μ＜TL ，则取CPL为零，说明该工序完全没有工序能力。
(2)双向公差值情况的工序能力指数CP：当给定双向公差，质量数据分布中心（X ）与公差中心（M）相一致时，工序能力指数应按下式计算：Cp=T/6S=（Tu-Tl）/6S
当给定双向公差，质量数据分布中心（X）与公差中心（M）不一致时，即存在中心偏移量（ε），则按下式计算：CPK=(T-2ε)/6S ε=|M-X|
对于任何生产过程，产品质量总是分散地存在着。工序能力越高，则产品质量特性值的分散就会越小工序能力越低，则产品质量特性值的分散就会越大。所以，只要我们计算出工序能力指数值，就能知道产品的品质情况，对于CPK的计算，除了人工计算外，也可以直接利用太友的免费CPK计算工具直接计算，无需人工计算，效率高，且可生成各种控制图辅助分析品质特性.
工序能力与工序能力指数的计算
工序能力与工序能力指数的计算
工序能力是指一个企业或组织在完成特定工序时所具备的能力和水平。通常来说，工序能力与生产能力紧密相关，是企业生产效率和质量的重要体现。工序能力指数是评价工序能力的一种量化指标，用于衡量一个企业在执行特定工序时的综合能力。
计算工序能力指数需要考虑多个因素，包括资源配置、技术能力、人员素质和管理水平等。以下是计算工序能力指数的一般步骤：
第一步，确定评价指标。评价指标应该具有代表性和全面性，可以包括生产效率、生产质量、工序安全和环境保护等方面。
第二步，确定权重。对于不同的评价指标，需要给予不同的权重，以反映其在工序能力中的重要性。权重的确定可以根据实际情况和专家意见来进行。
第三步，数据收集和处理。收集和整理与评价指标相关的数据，可以通过观察和测量、问卷调查、文献研究等方式获取。数据处理可以采用加权平均法、主成分分析法等统计方法，计算各评价指标的得分。
第四步，指标加总。根据各评价指标的得分和相应的权重，计算工序能力指数。指标加总可以采用加权求和法，将各评价指标得分乘以对应的权重，然后加总得到最终的工序能力指数。
第五步，结果分析。根据工序能力指数的大小，对企业或组织
的工序能力进行评估和比较。较高的工序能力指数代表着较高的工序能力水平，可以作为企业提升生产效率和质量的参考。
需要注意的是，工序能力指数的计算结果只是对企业或组织工序能力水平的一个综合评价，具体的改进和提升还需要结合实际情况，通过合理的管理和技术手段进行。因此，工序能力指数的计算应该作为一个参考，而不是单一决策依据。工序能力是企业或组织在特定工序上的执行能力和水平，反映了生产效率和质量水平。工序能力指数是衡量一个企业在执行特定工序时的综合能力的量化指标。下面将进一步探讨工序能力指数计算的相关内容。
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1. 基本要点
预备知识-关于测试数据的" 分布" 预备知识-关于测试数据的" 分布"
关于正态分布
— —工序能力及工序能力指数的计算 — 工序能力及工序能力指数的计算—
1. 基本要点 2. 工序能力的定量表征
2. 工序能力的定量表征
(1) 工序能力 (2) 潜在工序能力指数: Cp 潜在工序能力指数: (3) 实际工序能力指数: Cpk 实际工序能力指数: (4) 单侧规范值情况的工序能力指数 PL和CPU 单侧规范值情况的工序能力指数C (5) Cp和Cpk的常规计算方法
实际工艺能力指数C 计算公式: 实际工艺能力指数 PK计算公式:
偏离为1.5σ情况下Cpk与Cp的关系:若工艺参数分布的中心值与 的关系: 偏离为 σ情况下 与 的关系 规范中心值偏移的程度为1.5σ,即:( 规范中心值偏移的程度为 , :(-(TU+TL)/2)=1.5σ, ) , 由上式可得: 由上式可得:
2. 工序能力的定量表征
(4)单侧规范值情况的工序能力指数 (4)单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU: 单侧规范值情况的工序能力指数 :
如果要求参数大于某一下限值T 无上限要求, 如果要求参数大于某一下限值 L ,无上限要求, 工序能力指数应按下式计算: 工序能力指数应按下式计算: CPL=(-TL)/3σ - 若μ<TL ,则取CPL为零,说明该工序完全没有 则取 为零, 工序能力. 工序能力. 如果参数规范只规定了上限值T 无下限要求, 如果参数规范只规定了上限值 U ,无下限要求, 则工序能力指数应按下式计算: 则工序能力指数应按下式计算: CPU=(TU-)/3σ 则取C 为零, 若μ>TU ,则取 PU为零,说明该工序完全没有 工序能力. 工序能力
2. 工序能力的定量表征
(2)潜在工序能力指数 P 潜在工序能力指数C 潜在工序能力指数
为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生 产中广泛采用下式定义的工序能力指数 工序能力指数: 产中广泛采用下式定义的工序能力指数 CP=(TU-TL)/ 6σ=T/ 6σ 通过积分可得工艺成品率为 工艺成品率为: 通过积分可得工艺成品率为: 可得工序能力指数与成品率之间的关系: 可得工序能力指数与成品率之间的关系: 规范范围 CP 工艺成品率 不合格品率 ±3σ ±6σ 1 2 99.73% 99.9999998% 2700PPM 0.002PPM
— —工序能力及工序能力指数的计算 — 工序能力及工序能力指数的计算—
1. 基本要点 2. 工序能力的定量表征
1. 基本要点
(1) 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好,可 只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好, 靠性水平高的产品. 靠性水平高的产品. (2) 工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方 其实质作用是反映工艺成品率的高低. 工艺成品率的高低 法,其实质作用是反映工艺成品率的高低. (3) " 6σ设计"是在工序能力指数分析基础上对生 6σ设计 设计" 产工艺水平的新要求,其实质作用也是反映工艺成品率 产工艺水平的新要求,其实质作用也是反映工艺成品率 的高低. 的高低.
Cpk=Cp-0.5
即工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移为 的情况下, 即工艺参数分布的中心值 与规范中心值偏移为1.5σ的情况下, 与规范中心值偏移为 的情况下 Cpk要比 小0.5.如果 =2,Cpk只有 .因此,有时将 要比Cp小 .如果Cp= , 只有1.5.因此,有时将Cp 要比 只有 称为潜在工序能力指数 潜在工序能力指数, 称为实际工序能力指数 称为潜在工序能力指数,将Cpk称为实际工序能力指数,简称为 称为实际工序能力指数, 工序能力指数. 工序能力指数.
2. 工序能力的定量表征
(1) 工序能力 通常工艺参数服从正态分布 N(,σ2)
正态分布标准偏差σ的大小反映了参数的分散程度. 正态分布标准偏差σ的大小反映了参数的分散程度.绝大 部分数值集中在μ 3σ范围内 其比例为99.73 范围内, 99.73% 部分数值集中在μ±3σ范围内,其比例为99.73
2. 工序能力的定量表征
(5) Cp和Cpk的常规来自百度文库算方法 和 的常规计算方法 计算Cp和 计算 和Cpk的关键是计算母体正态分布的均值和 的关键是计算母体正态分布的均值和 标准偏差.常规计算方法为: 标准偏差.常规计算方法为:
通常用下述计算方法计算得S, 通常用下述计算方法计算得 ,作为母体分布标准偏 的近似值. 差σ的近似值.
2. 工序能力的定量表征
(1) 工序能力 通常工艺参数服从正态分布 N(,σ2)
正态分布标准偏差σ的大小反映了参数的分散程度. 正态分布标准偏差σ的大小反映了参数的分散程度.绝大 部分数值集中在μ±3σ范围内,其比例为99.73 部分数值集中在μ 3σ范围内,其比例为99.73% 范围内 99.73 通常将6σ称为工序能力.6σ范围越小 6σ称为工序能力 范围越小, 通常将6σ称为工序能力.6σ范围越小,表示该工序加工 的工艺参数越集中,则生产出成品率高, 的工艺参数越集中,则生产出成品率高,可靠性好的产品的能 力越强,即固有能力越强. 力越强,即固有能力越强.
2. 工序能力的定量表征
(5) Cp和Cpk的常规计算方法 和 的常规计算方法
�
结论:工序能力指数越高,成品率也越高. 结论:工序能力指数越高,成品率也越高.
2. 工序能力的定量表征
实际工序能力指数: (3) 实际工序能力指数: CPK
2. 工序能力的定量表征
实际工序能力指数: (3) 实际工序能力指数: CPK
在元器件生产中,采用闭环工艺控制的情况并不多,大多为" 在元器件生产中,采用闭环工艺控制的情况并不多,大多为" 间 工艺控制,很难使两者重合.例如, 中的扩散工艺 中的扩散工艺, 接"工艺控制,很难使两者重合.例如,IC中的扩散工艺,并不 能在扩散过程中随时监测方块电阻R 的变化情况, 能在扩散过程中随时监测方块电阻 s的变化情况,因此不能做到 达到规范中心值时结束扩散.实际上都是先做试片, 在Rs达到规范中心值时结束扩散.实际上都是先做试片,根据试 片测试结果调整工艺条件.实践表明, 对于这种" 片测试结果调整工艺条件.实践表明 对于这种" 间接 "控制的 工艺, 布中心值与规范 工艺,工艺参数分 布中心值 与规范 中心值偏移的程度一般为 1.5σ. σ