三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法

三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法将含有液态氯硅烷和微量液体杂质和微量固体杂质的混合物通入蒸发器，除去固体杂质，气体冷凝为液相依次通入第一精馏塔，第二精馏塔，从第二精馏塔顶分离出物质通入第三精馏塔，塔底釜液通入第五精馏塔；第三精馏塔的塔底釜液通入第四精馏塔；从第四精馏塔顶得到高纯度三氯氢硅产品；从第五精馏塔顶得到的三氯氢硅返回第二精馏塔，塔底釜液送至第六精馏塔；从第六精馏塔顶得到合格的高纯四氯化硅产品，从第六精馏塔的塔底釜液排放少量的高沸点杂质。

生产高纯度的三氯氢硅和四氯化硅需要六个精馏塔，投入大，成本高。

综上所述，传统三氯氢硅粗品精馏工艺所精馏产品已经越来越不能满足市场的需要。