TFT-LCD 概说( 玻璃问题解析 )
TFTLCD玻璃生产简介
学习总结目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.5 mm到0.7 mm，且即将迈入更薄（如0.4 mm）厚度之制程。
一片TFT- LCD面板需使用两片玻璃基板，分别供作底层玻璃基板（TFT）及彩色滤光片(Col or Filter )底板。
所谓TFT-LCD几代生产线,实际是指液晶面板的经济切割尺寸,即TFT-LCD生产线的代数越高,基板经济切割尺寸越大。
业界公认的液晶面板经济切割数值为6片。
5代线和5代线以下主要是以生产笔记本和台式电脑用的显示器为主,液晶材料某些参数要求相对要低些;而6代线、7代线或更高代次则以生产液晶电视为主,液晶材料参数要求相对要高点。
玻璃基板的生产工艺比较复杂，目前该技术主要集中在美国康宁( Corning )公司、日本的旭硝子（AGC）、电气硝子（NEG）、板硝子（NHT）、德国肖特公司等手中，肖特的产销量非常小，并于2008年退出了玻璃基板行业。
超薄平板玻璃基材之特性主要取决于玻璃的组成，而玻璃的组成则影响玻璃的热膨胀、黏度(应变、退火、转化、软化和工作点)、耐化学性、光学穿透吸收及在各种频率与温度下的电气特性，产品质量除深受材料组成影响外，也取决于生产制程整个玻璃基板的制程中，主要技术包括进料、薄板成型及后段加工三部分，其中进料技术主要控制于配方的好坏，首先是在高温的熔炉中将玻璃原料熔融成低黏度且均匀的玻璃熔体，不但要考虑玻璃各项物理与化学特性，并需在不改变化学组成的条件下，选取原料最佳配方，以便有效降低玻璃熔融温度，使玻璃澄清，同时达到玻璃特定性能，符合实际应用之需求。
而薄板成型技术则攸关尺寸精度、表面性质和是否需进一步加工研磨，以达成特殊的物理、化学特性要求，后段加工则包含玻璃之切割、研磨、清洗等制程。
到目前为止，生产平面显示器用玻璃基板有三种主要之制程技术，分别为浮式法(Float Process)、槽口下拉法(SDDP)及溢流法(Fusion overflow)。
TFT-LCD显示技术
详细描述
TFT-LCD显示屏的响应速度取决于液晶分子 的运动速度。为了提高响应速度，可以采用 新型液晶材料、优化驱动电路等方式。此外， 采用动态背光调节技术也可以在一定程度上 改善响应速度问题。
色彩表现力不足
总结词
相对于OLED等其他显示技术，TFT-LCD显 示技术在色彩表现力方面存在不足。
详细描述
视角限制
总结词
TFT-LCD显示技术的视角限制是其固有 缺点之一。
VS
详细描述
由于TFT-LCD显示屏的视角限制，从不同 角度观看时，色彩和亮度可能会发生变化 ，影响观看效果。为了解决这个问题，可 以采用广视角膜或者广视角技术，如IPS 、VA等，以扩大可视角度。
响应速度慢Байду номын сангаас
总结词
TFT-LCD显示技术的响应速度慢可能会影响 动态图像的显示效果。
厚度薄、体积小
厚度薄、体积小
轻便易携带
TFT-LCD显示器采用了薄型化和集成化的设 计，使得显示器在厚度和体积上都相对较小。 这种设计使得TFT-LCD显示器在空间受限的 环境中具有优势，如移动设备、便携式电脑 等。
由于TFT-LCD显示器体积小、重量轻，用户 可以轻松地将它携带到不同的地方。这种便 携性使得TFT-LCD显示器在移动办公、远程 会议等场景中具有广泛的应用价值。
功耗低
功耗低
TFT-LCD显示器采用了高效的背光调节技术 ，能够在不同亮度下保持较低的功耗。此外 ，TFT-LCD显示器还具有智能电源管理系统 ，可以根据实际需要自动调节背光亮度，进 一步降低功耗。
节能环保
低功耗的特性使得TFT-LCD显示器在节能环 保方面具有优势。用户在使用这种显示器时 可以节省能源，减少对环境的负担。这种环 保特性使得TFT-LCD显示器受到了许多用户
TFT-LCD知识培训
04
TFT-LCD产业现状与趋 势
全球TFT-LCD产业现状
产业规模
全球TFT-LCD产业规模持续增长， 市场规模不断扩大。
技术发展
随着技术的不断进步，TFT-LCD产 品的分辨率、色彩表现、对比度等 性能指标不断提升。
总结词
技术突破，广泛应用
详细描述
第二代TFT-LCD技术在第一代的基础上取得了重大突破，提高了响应速度，改善了色彩表现和视角。 这一代技术开始广泛应用于手机、笔记本电脑等电子产品中，成为主流显示技术之一。
第三代TFT-LCD技术
总结词
高清晰度，高分辨率
详细描述
第三代TFT-LCD技术主要解决了高清晰度和高分辨率的问题 ，实现了更细腻的画面表现。这一代技术广泛应用于高清电 视、显示器等领域，满足了人们对高品质视觉体验的需求。
详细描述
目前，4K、8K等高分辨率TFT-LCD显示屏 已经逐渐普及，能够提供更加细腻、真实的 画面效果。同时，大尺寸化也是未来的发展 趋势，将有助于拓宽应用场景，如家庭影院、 高端电视等。
柔性显示
总结词
随着可穿戴设备和移动设备的兴起， 柔性显示技术成为TFT-LCD的重要发 展方向，将显示屏做成可弯曲、可折 叠的形态，为用户带来更多样化的使 用体验。
绿色环保成为行业发展趋势随着 Nhomakorabea保意识的提高，绿色环保成为TFT-LCD行业发展的趋势，推 动产业向更加环保和可持续的方向发展。
06
TFT-LCD的未来发展方 向
高分辨率、大尺寸化
总结词
随着消费者对视觉体验要求的提高，TFTLCD技术正朝着高分辨率、大尺寸化的方向 发展，以满足市场对更高清晰度、更大屏幕 的需求。
TFTLCD玻璃基板项目的分析报告
TFTLCD玻璃基板项目的分析报告一、项目简介1.TFT-LCDTFT-LCD：薄膜电晶体液晶显示器，它是由液晶像素点组成，每个像素点后面都有四个相互独立的薄膜晶体管驱动像素点发出彩色光，可显示24位色深的真彩色，能够做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息。
TFT－LCD是目前最好的彩色显示设备，是现在笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。
CF—彩色滤光片(Color Filter)是TFT-LCD面板材料成本中比重最高的关键材料，其作用是实现TFT-LCD面板的彩色化。
从原理上来看，液晶面板通过驱动IC的电压改变，使液晶分子排排站立或呈扭转状，形成闸门来选择背光源光线穿透与否，产生颜色只有黑、白两色的画面；但若要形成彩色的话，则需要靠红绿蓝三种光源组合，因此含有红绿蓝三滤光层的彩色滤光片便成为TFT-LCD面板的重要关键零组件。
偏光板的要紧作用是能够将不具偏极性的自然光转化为偏极光，使与电场呈垂直方向的光线通过，让LCD面板能正常显示影像。
玻璃基板—是TFT-LCD面板的一个组成部分，在TFT-LCD面板成本中所占比例不高，但对产品性能的阻碍却十分庞大，比如辨论率、透光度、重量、视角等关键技术指标都与玻璃基板的性能紧密相关。
因此，业内公认的一点确实是，玻璃基板对TFT-LCD产业不亚于硅晶圆对半导体产业的重要性。
TFT- LCD面板确实是由以上零部件加上驱动IC装配而成。
TFT- LCD面板又是液晶电视、等离子电视、手机等各种显示器的最要紧零部件，TFT- LCD面板占最终产品-各种显示器的成本60%~70%。
从以上示意图能够看出，这是一个庞大的产业链，相关连产品种类达几十种，相互依存，密不可分，对地点经济形成庞大的拉动作用。
韩国三星、台湾奇美正是因为引进了这一产业链的关键TFT- LCD面板，因此吸引美国康宁、日本旭硝子不惜血本，投巨资建立玻璃基板工厂，同时吸引外围另部件厂商接踵而来可。
从中能够看出，TFT- LCD面板是整个产业链的关键，也是投资庞大、风险最大的行业，北京京东方投巨资建立TFT- LCD面板工厂，由于摊子铺得太大，连年亏损，股票连续下跌。
TFTLCD玻璃薄板成型技术探讨
高性能显示器，尤其是高清晰度彩色显示器，是集现代电子技术、通信技术和信息处 理技术的成果于一体的产物，被看作是继半导体集成电路和计算机大发展之后，电子工业 的又一次机会。因此显示器， 特别是平板显示器成了近年来日 本、韩国和中国台湾地区的 电子商们纷纷投巨资竞相发展并取得重大突破的高科技产品。 Ｆ－Ｌ Ｄ薄膜晶体管液晶 ＴＴ Ｃ （ 显示器） 前最流行的一种显示器，是 Ｃ Ｔ显示器和彩色电 是目 Ｒ 视机的一个最大竞争对手， 它的每个液晶像素点都是由 集成在像素后面的薄膜晶体管来驱动，从而可以做到高速度、 高亮度、高对比度显示屏幕信息，且色彩丰富、分辨率高，具有体积小 （ 可做到非常薄） 、 重量轻、能耗低、工作电压低、图像精确、无辐射、 抗电磁干扰等优点， Ｆ－Ｌ Ｄ玻璃 ＴＴ Ｃ 薄板用于Ｔ Ｔ Ｃ ， －Ｌ Ｄ玻璃薄板作为生产 Ｔ Ｔ Ｃ Ｆ －Ｌ Ｄ Ｔ Ｔ Ｃ Ｆ Ｆ －Ｌ Ｄ的主要电子玻璃材料， 有
・ ８・ ４
面平整度非常好；在该生产工艺中，玻璃液的拉引量只与熔窑澄清系统和溢流喷嘴有关， 在后续退火与切割系统造成生产线停顿时，不会影响熔窑系统、 澄清系统、 溢流喷嘴成型 系统， 恢复生产非常容易， 这一点对Ｔ Ｔ Ｌ Ｄ玻璃薄板的高效率生产意义重大：由于熔 Ｆ－ Ｃ 窑系统、 澄清系统和溢流喷嘴成型系统之间合格玻璃液的提供， 只需要一个很小的输送通 道，因此我们可设计出效率较高的玻璃液澄清、搅拌系统，使成型玻璃液的化学均匀性、 温度均匀性得到进一部的提高。 为实现溢流法成型生产 Ｔ Ｔ Ｃ Ｆ－Ｌ Ｄ玻璃薄板， 必须很好地
参考文献 Ｉ陈正树等，浮法玻璃，武汉；武汉Ｔ业大学出版社
２ Ｅ Ｔ Ｄ Ｅ ＳＧ Ａ Ｓ ＩＮ Ｅ Ｗ Ｏ Ｋ； Ｈ ＷＩＥ Ｒ ＯＢ Ｒ Ｈ ＯＲ ＭＵ ．Ｌ Ｓ Ｓ Ｅ Ｃ ＮＥ Ｙ Ｒ Ｊ Ｎ Ｌ Ｙ＆Ｓ Ｎ ． ｃ． ． Ｃ Ｏ Ｏ ＳＩ ｓ ｎ
液晶玻璃生产玻璃缺陷总结
4.Cut Chip
Alignment Roller 或设备接触部位
①
③
②
Cutting Chip发生时先判断是玻璃的A面或B面.
① Scribing 的问题 (Cutting Wheel + Holder 压力检查) ② Breaking Set-up的问题, Scribing时的Lateral Crack管理 ③ 是不是自身问题,在搬运过程中接触了 Alignment或设备产生Chip.
*.清洗机的 Brush可以去除一部分的ADG,但是ADG颗粒粘在Brush内部,随着 Brush一起旋转的话会引起Scratch.
3.ADG(Adhered Glass)
￭ ADG
6.确认发生位置
1) 与Scratch同样的方法.
现象
180度旋转投入
① 前工程原因
② 后工程原因
7.一般的防范对策
Micro Chip
Bevel Chip Cutting Chip
Micro Chip은 육안으로 면취 품질을 상태를 확인하는 기준임. ->연마Wheel의 사양을 잘못 선정한 경우 Micro chip이 발생하며, 연마Wheel의 Diamond
입자크기, 집중도, Bond의 강도, Groove 각도등을 재 설계해야 한다.
2.Scratch
￭ Scratch 种类
1.按出现周期分类
1)短期发生 – 没有具体的对策, 全方位的强化生产管理. 2)连续的发生 – 找出发生Scratch的原因,为了查明发生源,有必要的话停机找出原因后措施.
2.形状分类
a)旋转型
3.间距,起点
b)直线型
c)集中型
TFT_LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介
玻璃本身含有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）
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Slimming后划伤
Human eye invisible Slimming前发生轻微Scratch
Slimming
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减薄清洗单元（后）
DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡
a. DI水 b. 常温 C. 5min
a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min
a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min
a. DI水 b. 常温 C. 5min
清洗
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研磨
Reject
外观检查
Item
Picture
适应产品 可修复不良
CAPA
Polishing
自动研磨
清洗
外观检查
手动研磨
无破损产品 不良率高发，严重不良 Q-panel抛光，效率高
所有产品 不良率较低的轻微不良 针对单点不良修复，效率低
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减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
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减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
Slimming后Scratch程度加重
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Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
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Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
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Slimming后划伤
3.轮印
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造成B-ITO不良
1.水渍酸印 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
TFT液晶模组工作原理及常见故障分析报告
TFT液晶显示模组原理及常见故障分析—仙宇电子有限公司研发部一、TFT LCD1 、什么叫TFTTFT-----Thin Film Transistor (薄膜晶体管) 。
TFT LCD------薄膜晶体管液晶显示器2、TFT LCD 工作原理在TFT-LCD中，TFT的功能就是一个开关管。
常用的TFT是三端器件。
利用施加于栅极的电压来控制源、漏电极间的电流。
对于显示屏来说，每个像素从结构上可以看作为像素电极和共同电极之间夹一层液晶。
更重要的是从电的角度可以把它看作电容。
其等效电路为图2所示。
要对j行i列的像素P（i,j）充电，就要把开关T（i,j）导通，对信号线D（i）施加目标电压。
当像素电极被充分充电后，即使开关断开，电容中的电荷也得到保存，电极间的液晶分子继续有电场作用。
数据（列）驱动器的作用是对信号线施加目标电压，而栅极（行）驱动器的作用是起开关的导通和断开。
图1：PANEL 结构示意图图2 ：1个TFT的结构示意图图3：整块PANEL 等效电路显示图像的关键还在于液晶在电场作用下的分子取向。
一般通过对基板内側的取向处理，使液晶分子的排列产生希望的形变来实现不同的显示模式。
在电场作用下，液晶分子产生取向变化，并通过与偏光片的配合，使入射光在通过液晶层后强度发生变化。
从而实现图像显示。
图4：图像显示的实现TFT-LCD彩色化则一般是通过加一层彩色滤光片（CF），在显示器的前面板上实现。
它要求在每个像素上制作红、绿、蓝三色和遮光用黑矩阵。
3、TFT LCD制造工艺TFT-LCD的制造工艺有以下几部分：在TFT基板上形成TFT阵列；在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及ITO导电层；用两块基板形成液晶盒；安装外围电路、组装背光源等的模块组装。
4.TFT LCD DRIVER 的作用产生液晶显示所需各种电压，处理外部CPU送过来的指令。
5. LCD, IC, FPC, POL 的结构关系：图5：液晶模组结构6、LCD+IC+FPC+POL 常见不良现象分析1）白屏：A. 原理错误，LAYOUT错误。
TFT-LCD用玻璃基板简介
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TFT-LCD
玻璃規格
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TFT-LCD
玻璃的規格要求項目
• 外觀 • 寸法
• 組成
• 熱收縮度
• 特性值
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TFT-LCD
New AN Design Objectives
• Higher Strain Point • Lower Thermal Expansion • Lower Density • Higher Young’s Mldulus • Asahi Float Process capable
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TFT-LCD
TFT-LCD用玻璃基板特性要求 •化學的耐久性 (耐藥性) 經濕製程必須耐酸, 鹼, 氫氟酸
•表面精度 • 彎曲度: 與玻璃的承載, 吸著, 曝光精度有關 • 起伏度: um 級之表面形狀變化,影響cell gap 造成表示mura • 表面粗度: um 級以下之表面形狀變化, 會造成pattern 之斷線 • 表面與內部欠陷 傷, 泡, 異物, 脈理(影響玻璃之強度, 視覺效果)
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TFT-LCD
Si O Na
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TFT-LCD
玻璃的性質11Fra bibliotekTFT-LCD
玻璃的性質 玻璃的物理與化學的性質, 是由其組成決定
玻璃轉變
Tf2
Volume 急冷玻璃 緩冷玻璃 Solid 晶體
Tf1
Liquid
Tf: Fictive Temp. Tm: Melting Temp. Tm
Temperature
TFT-LCD
TFT-LCD用玻璃基板簡介
壹. 貳. 參. 肆. 伍. 陸. 柒. 概述TFT-LCD製程 玻璃的簡介 玻璃的性質 TFT-LCD用玻璃基板特性要求 今後TFT-LCD用玻璃基板的動向 平板玻璃製程 玻璃規格
TFT型LCD工作原理简述
T F T型L C D工作原理简述(总3页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--TFT型LCD工作原理简述TFT型LCD的工作原理较为复杂，可以从以下5个方面加以理解：1．结构特点TFT型LCD主要由LCD控制模块和LCD面板两部分组成。
由于采用TFT（薄膜晶体管），因此又称为薄膜晶体管显示器。
TFT的作用是用来主动控制每一个像素的器件，这样就相当于在每一个像素点上设计了一个场效应开关管。
多个TFT构成一个TFT液晶板，如下图所示。
因此，TFT型LCD容易实现真彩色和高分辨率。
TFT型LCD是由两层玻璃基板夹住液晶组成的，形成一个平行板电容器，通过嵌入在下玻璃板上的TFT对这个电容器和内置的存储电容充电，来维持每幅图像所需要的电压直到下一幅图像更新。
由于LCD面板本身并不发光，因此还必须增设背光灯作为光源，并加上一个背光板来分布光线，从而提高屏幕亮度。
2．电路原理在TFT型LCD中使用的TFT是一个三端器件，其功能就是一个开关管。
在TFT型LCD的玻璃基板上制作半导体层，在两端有与之相连接的源极和漏极，并通过栅极绝缘膜与半导体相对应，利用施加于栅极的电压来控制源、漏电极间的电流。
显示屏上的每个像素从结构上可以看作为像素电极和公用电极之间夹有一层液晶，从电学的角度可以把它看作电容。
其等效电路如下图所示。
其工作原理是：要对 j行i列的像素点户(i、j)充电，就要把开关K(i，j)导通，对信号线D(i)施加目标电压，使数据线G(j)的数据信号加到像素P点。
当像素电极被充分充电后，即使开关断开，电容中的电荷也得到保存，电极间的液晶分子继续有电场作用。
数据线的作用是对信号线施加目标电压，而行驱动器的作用是起开关的导通和断开作用。
由于加在液晶上的电压可以存储，因此液晶层能稳定的工作。
3．彩色形成原理TFT型LCD中的红、绿、蓝三原色是由彩色滤光片产生的。
tft-lcd基板玻璃磨边缺陷分析与对策
表 1 缺陷产生原因及对策
缺陷 名称
产生原因
对策措施
固定砂轮电机螺丝松动，磨边时磨轮晃动较大 定期紧固电机螺丝，杜绝因螺丝松动造成边部掉片
未按照磨轮规定方向安装
加强规范员工安装砂轮作业，避免因安装失误造成边部掉片产生
单个磨轮磨削量太大，没按规定的磨削量磨削 调整各边研磨量要严格执行工艺要求，杜绝因研磨量过大造成掉片产生
0 引 言 TFT-LCD 基板玻璃成品具有尺寸精度高、边部
无缺陷等要求，对 TFT-LCD 基板玻璃切割、研磨、 清洗、缺陷检查等各个工艺环节的严格控制是生产 制造出优质基板玻璃的关键，也是减少基板玻璃边 部缺陷的关键。尽管通过设备改造、工艺优化等， 产品品质逐步提高，边部缺陷逐步减少，但基板玻 璃边部缺陷从未杜绝。随着液晶基板玻璃市场竞争 日渐激烈及下游客户对液晶基板玻璃整体品质要求 更加苛刻，为减少 TFT-LCD 基板玻璃研磨过程中边 部缺陷产生，这里主要基于长期对 TFT-LCD 基板玻 璃加工工艺经验积累，针对 TFT-LCD 基板玻璃加工 过程中磨边缺陷产生的原因、分类及特征进行了相 关分析与讨论，最后对消除 TFT-LCD 基板玻璃制造 过程中磨边缺陷提出了对策措施，以便给国内同行 提供相应经验借鉴。 1 磨边工艺概述
磨轮电机晃动，固定磨轮电机螺丝松动。在磨 边机设计过程中磨边头重心安装位置偏离滑轨中心 线，尤其在磨边过程中，磨边头实现对基板玻璃磨 削需要向进给方向移动，导致重心偏移量增大，设 备长时间运转后导致移动精度下降，在生产过程中 出现掉片现象。
建筑玻璃与工业玻璃 2019，№ 10
2.2 磨边轮安装精度、制作精度不够 新换磨边轮组装精度达不到或未按规定安装，
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TFT-LCD的结构与显示原理
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TFT-LCD的结构与显示原理
排列，图形有多个像素组合形成，
并通过多路驱动方式显示。
4
TFT-LCD的结构与显示原理
二、LCD的分类
矩阵方式
① 无源矩阵显示器：只能用于扫描线 行数较少的简单的显示器。 ② 有源矩阵显示器：用于高分辨的液 晶显示器。每个像素配置一个开关，
能够有效地切断次路径，避免发生
串扰现象。
5
TFT-LCD的结构与显示原理
广角显示技术
共面开关（In-Plain Switching, IPS）模式 场边缘开关（Fringe-Field Switching, FFS） 模式
垂直取向（Vertical Alignment, ＶＡ）模式
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TFT-LCD的结构与显示原理
四、模式结构与显示原理
TN模式结构特点
上下玻璃基板上有透明电极ＩＴＯ膜 和表面经过处理的数百埃厚的配向膜。
TFT-LCD的结构与显示原理
一、概述 二、LCD的分类 三、TFT-LCD显示模组 四、模式结构与显示原理 五、TFT-LCD面板 六、LCD的应用 液晶显示屏 实物图片
编写：刘静
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TFT-LCD的结构与显示原理
一、概述
LCD 液晶显示器是 Liquid Crystal Display 的简称，LCD
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TFT-LCD的结构与显示原理
四、模式结构与显示原理
IPS模式结构特点
下基板为像素电极 ITO 薄膜， 上基板为金属电极。液晶分子 均匀平行的排列在两基板间， 且与下基板电极成成一定角 度。两偏振片正交设置，下偏
振片的偏振化方向与下基板表
面处液晶分子指向矢平行。
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TFT-LCD 制程玻璃基板洗净原理介绍++
TFT-LCD 製程玻璃基板洗淨原理介紹Nixon Shen 作成(06.04.18)捷胤總合研究所前 言 依實際的TFT-LCD 製造工程流程，從化學氣相沉積(CVD)、微影(Photo)、蝕刻(Etch)、至濺鍍(Sputter)等製程多次重複循環，每一到製程步驟都是潛在性的污染源，可導致(Defect)的生成，造成元件特性失效。
日常見到的污染物如粒子(Particles)、無機物金屬離子(Metal Ions)、有機物雜質(Organic Impurity)、原生氧化薄膜(Native Oxide)和水痕(Water Mark)等因素，對元件的特性都會造成重大影響。
玻璃基板洗淨是TFT 製程中重複使用頻率最高的步驟，在每一道製程步驟之前都必須將玻璃基板表面清洗乾淨，以去除上述之污染物並控制基板表之化學性避免原生氧化物薄膜之生成。
隨著玻璃基板的尺寸愈來愈大，對基板表面的潔淨度要求也不斷提高。
玻璃基板洗淨的目的在於清除基板表面的髒污(Contamination)如圖二所示，如微粒、有機物及無機物金屬離子等雜質，因此必須確保基板在洗淨完成後其電性參數及特性，確保元件的品質與可靠度。
(圖二)要做到基板的洗淨，須先瞭解污染的來源，以及各種污染物在元件可靠度上的不同影響。
表三所列主要是以閘極氧化成完整性來分析考量，因閘極氧化層品質是決定電路之良率、可靠度與性能之關鍵製程步驟。
除了一開始玻璃基板原材料所產生的污染物之外，大部分的污染物是來自機器設備與製程環境。
雖然有不斷的洗淨設備被開發出來，但是最重要的還是避免在製造流程中污染玻璃基板原甚於在製程中將基板洗淨；因此製程設備、環境及材料均需隨時保持潔淨，並隨時監控機台有無微粒產生，長期觀察改善，以符合統計製程控制(Statistic Process Control ，SPC)之管制規格及停機標準。
表面反應化學平衡與作用力在基板洗淨的過程中，反應室周遭空氣、化學藥劑及DI water ，三態之間形成物理化學作用，如氣液態間、液固態間及液態溶液間各有其作用力之產生形成各種物理化學現象，造成基板表面反應平衡(Substance Surface Reaction Chemical Equilibrium)之J E I N.C O .L T D洗淨機制。
TFT—LCD生产过程中Glass碎片机理分析
TFT—LCD生产过程中Glass碎片机理分析随着液晶显示技术的快速发展，TFT LCD产品在显示领域已经占据了统治地位。
Glass作为重要的原材料，被广泛应用于LCD产品的生产中，然而在生产过程中，会常有Glass碎片发生。
文章通过对Glass碎片机理的分析，对生产制造提供有力帮助。
标签：TFT-LCT；Glass碎片；机理分析Abstract：With the rapid development of liquid crystal display （LCD）technology，TFT LCD products have occupied a dominant position in the field of display. Glass，as an important raw material，is widely used in the production of LCD products. However，glass fragments often occur in the production process. Through the analysis of the mechanism of Glass fragments，this paper provides a powerful help for the production and manufacture of Glass fragments.Keywords：TFT-LCT；Glass fragment；mechanism analysis引言随着TFT-LCD在电视、手机、笔记本电脑、显示器以及手持终端设备等领域的广泛应用，近年来发展迅猛，已受到人们的广泛关注[1]。
Glass作为生产工艺中的重要原材料之一，需满足高化学稳定性、高热稳定性、高弹性、高抗静电性、高硬度等多个关键因素。
然而生产过程中的Glass碎片一直是影响制造业产能、稼动的关键因素之一，同时碎片产生的污染对产品品质也会带来一定影响。
TFT-LCD 玻璃基板边部破片分析及对策
技术讲座401 前言在TFT-LCD 液晶面板生产过程中，玻璃基板做为基础原材料，从第一道玻璃投入工序至模组完成包装出货要经历清洗、镀膜、光刻、成盒等制程工艺，在此过程中玻璃基板在各个工段不停传送运输，这对玻璃基板强度与边部质量要求较高。
在液晶玻璃生产中，品质不良主要为玻璃内部欠陷、表面欠陷和边部不良，而80%以上的破片都是源于边部不良。
破片易对玻璃基板生产和面板生产的产线设备与环境造成污染，影响生产效率并使后续产品不良率提升，造成严重经济损失。
2 玻璃基板破片原因玻璃基板破片的根本原因是本体受力，而受力分为基板内部应力与机械外力。
破片形式有两种状况：一是玻璃基板在厂内生产和客户使用制程过程中不断搬运传送、经历高温高压、真空等环境，内部应力发生变化的同时受到外力引起发生碎片，玻璃基板边部因受力面积小，不良缺陷多等特点，使得绝大部分的破片都先由边部开始破裂；二是机械外力碰撞玻璃表面或边部形成缺陷导致碎片发生。
以上两种状况中，机械外力为外部因素与基板本身质量无相应关联，内部应力与玻璃边部缺陷共同构成玻璃碎片主要控制质量指标。
3 内部应力对破片的影响3.1 玻璃基板应力产生原因玻璃基板内部应力又叫做热应力，按照其特点可分为永久应力和暂时应力，暂时应力为当玻璃低于应变点时处于弹性变形温度范围内即脆性状态时经受不均匀的温度变化时产生的热应力，普遍存在于整个退火工段。
在生产过程中主要控制的是永久应力，而影响永久应力的主要因素为：玻璃基板由塑性状态转为脆性状态时退火炉内温度的变化，导致玻璃基板退火效果不佳，应力变大；厚薄不同的玻璃散热不一致造成退火横向温度不同，形成相邻较大的张应力与压应力。
此外由于玻璃中局部区域化学组成不均匀导致内部缺陷（如条纹、结石、铂金等）会形成因不同材质的膨胀系数不同产生的结构应力。
TFT-LCD 玻璃基板边部破片分析及对策周阳强 张晓东 李阳蚌埠中光电科技有限公司 安徽 蚌埠 233030摘 要：本文基于液晶玻璃生产和使用中应力与边部质量导致的破片分析，就边部破片产生原因展开讨论，为液晶玻璃生产边部破片提供思路。
TFT LCD用玻璃基板简介解析
玻璃的粘度
粘度
? 液體內互相接觸兩部份, 做相對運動時, 但這些部份卻有 相互阻止對方運動的作用; 此種阻止作用, 稱為內部摩擦 而表現內部摩擦的流體 , 稱為黏性流體 ? 物體在應力作用下, 因受力而產生應變之應變率 ? 單位為 poise (kg/sec.m) ? 為工業生產操作之重要指標
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TFT-LCD
? 無Alkaline之玻璃 (所以主成份為Si, B, Ba, Al) ? alkaline 含量必須0.1%以下 ? TFT device 製作時之熱製程使alkaline diffuse造成元件之damage
? 熱的安定性 (耐熱性) ? 熱製程造成熱收縮, 造成pattern 偏移 ? 熱收縮要求數ppm以下 ? 玻璃之製作時之cooling rate與annealing之有無會影響熱收縮性 ? 使用高歪點的glass(但製程上較困難) ? 耐熱衝擊性與傷, 熱膨脹係數, 熱傳導率, Poisson's ratio, ? Young's Modulus 有關, 其中以熱膨脹係數之依存性較大
1.1
0.9
1.2
40
550 x 670 x 0.7 mm 研磨 550 x 670 x 0.7 mm 無研磨
3200日元/枚 2200日元/枚
34
TFT-LCD
TFT用玻璃基板的種類與物性
玻璃Code Cornig 7059 Cornig 1737 Asahi AN635 Asahi AN100 NEG OA-2 NEG OA-10 HOYA NA-45
660 650
650
Dielectric Constant
5.8
6.5
5.9
Chemical Durability
液晶面板主要材料之基板玻璃篇
液晶面板主要材料之基板玻璃篇基板玻璃是构成液晶面板重要的原材料之一。
液晶面板的关键结构类似于三明治，两层“面包”（TFT基板和彩色滤光片）夹“果酱”（液晶），故制作一片TFT-LCD面板需要用到两片玻璃，分别作为底层玻璃基板和彩色滤光片底板使用。
基板玻璃在TFT-LCD原材料成本中占比约20%，对面板产品性能的影响十分巨大，面板成品的分辨率、透光度、厚度、重量、可视角度等指标都与所采用的基板玻璃质量密切相关，作为重要的基底材料，基板玻璃之于TFT-LCD产业的意义相当于硅晶圆之于半导体产业。
TFT-LCD液晶面板结构基板玻璃分为含碱和无碱两种。
有碱玻璃主要用于TN/STN型液晶面板中，但对于TFT-LCD，由于玻璃中碱金属离子会影响薄膜晶体管栅压的稳定性，故基板的制造必须使用无碱配方，不可以含有氧化钠和氧化钾等成分；但氧化钠和氧化钾可以降低玻璃的融化温度，故无碱玻璃的制造需要更高的炉温，这也是无碱玻璃生产技术难度高于有碱玻璃的原因之一。
TFT-LCD液晶产业链基板玻璃作为液晶面板基础原材料之一，占据液晶产业链顶端。
上游原材料是一些最基础的化工原料如石英粉、氧化铝等，下游主要是面板厂和彩色滤光片供应商，分别供给他们制作TFT阵列和彩色滤光片，再在成盒段进行灌液晶、组装，制成Open Cell面板。
基板玻璃供应链基板玻璃作为薄膜显示产业的基石，不仅广泛应用在TN/STN、TFT等液晶面板结构中，也是OLED必不可少的基底材料，基板玻璃重要性受显示机理变化的影响有限，具有不可替代性，未来产业地位稳固。
基板玻璃特性介绍化学特性主要理化参数（1）应变点在制造TFT工艺过程中，基板需要反复地热处理，温度最高要加热到625℃，要求基板在这一温度下保持刚性，不能有任何黏滞流动现象，否则不仅玻璃变形和降温时带来热应力，还会造成尺寸的变化。
因此要求基板玻璃的应变点高于625℃，再加上25℃的保险量，玻璃的应变点至少要在650℃以上。
TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介解析
优点： 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点： 1.蚀刻表面易产生 凹点。
优点： 1.表面最光滑，甚 至可以不用抛光
8
减薄流程
清洗 Text in here
蚀刻
Slimming
清洗
9
减薄设备
Loader 单元 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
Human eye invisible
Slimming
Slimming前发生轻微Scratch
Slimming后Scratch程度加重
18
Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
19
Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
20
Slimming后划伤
3.轮印
21
造成B-ITO不良
谢谢！
25
用酸碱对Glass进 行刻蚀，从而达到 减薄的目的。
获得光亮、平整的 表面。
4
封胶
UV胶
封胶工艺
防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏TFT结 构
5
封胶
GLS
LOGO
TFT-LCD面板玻璃减薄工 艺流程及不良简介
Contents
1 2 3
减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良
2
减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
TFT-LCD基板玻璃配方及工艺性能探讨
TFT-LCD基板玻璃配方及工艺性能探讨摘要：新时期，无论是工艺还是科技，都离不开玻璃制品，而随着对科技产品的要求越来越高，对玻璃质量的要求也随之提高。
本文主要对TFT-LCD基板玻璃采用流孔下引法、熔融溢流法及浮法等成形技术的特点与应用状况进行对比，全面且综合地阐述了这种玻璃的高温粘度、液相线温度、高温电导率等技术性能的研究方法及相关进展。
关键词：无碱硼铝硅酸盐玻璃；粘度；技术性能引言TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器）是一种采用新技术，利用新型材料和新工艺，并且规模比较大的半导体全集成电路制造技术。
而TFT-LCD液晶玻璃基板又是平板显示器的关键材料。
但是，TFT-LCD液晶玻璃基板生产具有投资量大，技术门槛高等特点，在实际生产环节的难度比较大，它对原材料品位、生产环境（如压力、温度、湿度、洁净度等）、工艺控制精度的要求十分苛刻。
当然，在如此苛刻的条件下所生产出来的产品，其质量关可以保证，这便是现代化、规模化生产的顶尖技术。
一、对基板玻璃的性能要求为了能达到最高的标准和液晶显示屏的要求，这种超薄玻璃必须无碱、无砷。
而且，还要达到高化学稳定性、高热稳定性、微缺陷、低密度、高弹性等高性能的要求。
在制造过程中，基板玻璃需要在真空中进行蒸镀与刻蚀，所以，在材料选择时必须选择耐高温、耐强酸强碱的。
在进行高温处理时，一定要严格地防止电路的损伤，基板玻璃的热稳定性要确保在合格范围内。
应变点温度、热膨胀系数等因素都要进行严格的检测，以确保生产出来的产品都是优等品。
有时我们可能会忽略重量以及厚度，在制作的过程中，玻璃基板必须确保非常薄，此时的玻璃基板的厚度会不断减薄，这会导致机械强度降低，这样会导致在包装和运输时，容易造成很大的难题。
所以，不单单是要将玻璃的密度降到最低点，而且还要将弹性模量相对应的提升。
二、TFT-LCD玻璃的生产技术在早期的玻璃制作过程中，玻璃的成形技术有垂直引上法、平拉法、浮法、压延法等等。