AE__DC电源说明书_汉化版

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目录
第一章. 安全与产品兼容性指导
重要安全信息……1-1
说明书中的危险，警告，和注意提示框……1-2
安全指导……1-2
安全安装与运作的规则……1-2
产品标签解释……1-3
产品兼容性……1-5
产品证书……1-5
安全和EMC 标示与标准……1-6
电磁兼容性（EMC）标示与标准……1-6
安全标示与标准……1-7
工业指导……1-7
使用的条件……1-7
第二章. 操作原理
整体说明……2-1
输出阻抗的范围……2-1
输出调节……2-1
接口……2-1
微处理器的优点……2-2
显示……2-2
抑弧特性……2-2
运作原理……2-2
输入……2-3
家务管理式供应……2-3
转向器……2-3
输出……2-3
输出范围……2-3
逻辑控制……2-4
远程接口……2-4
第三章. 产品规格
功能规格……3-1
物理规格……3-3
尺寸工程图……3-5
电气规格……3-6
环境规格……3-12
冷却规格……3-13
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第四章. 通信接口
用户接口……4-1
连接器……4-1
信号……4-3
模拟信号……4-3
数字信号……4-3
引脚说明……4-3
接触器互锁端口……4-10
接触器互锁端口连接器……4-10
接触器互锁线缆要求……4-11
接触器互锁端口引脚描述……4-12被动显示面板……4-14
显示……4-14
LEDs……4-15
主动前面板/Pinnacle 远程面板……4-16连接到远程主动面板……4-16
面板的理解……4-18
控制按键……4-18
输出显示画面……4-18
软键……4-18
修改旋钮……4-19
调节按钮……4-19
开关按钮和LED指示灯……4-19
放电LED指示灯……4-19
控制面板界面……4-19
输出功率按钮……4-20
控制按钮……4-20
调节按钮……4-21
双线输出显示画面……4-21
软键……4-22
修改旋钮……4-22
控制面板的控制……4-22
菜单选项的理解……4-23
使用服务功能……4-25
确认服务类型错误……4-26
确认服务类型统计……4-26
确认总能量输出……4-26
确认总的空闲时间……4-26
确认错误的数量……4-26
确认循环的数量……4-27
检查你的装置……4-27
观察从属装置的地址……4-27
确认你的错误主/从系统……4-28
确认你的硬件结构……4-28
确认你的软件逻辑……4-29
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确认你的ROM……4-29
确认你的软件版本……4-29
使用供应功能……4-29
设定AE总线的终止时间……4-30
设定供应参数……4-30
设定面板模式……4-30
选择远程或者本地模式…4-30
选择一个上锁编码……4-31
选择Clicks的数量……4-31
设定程序源……4-31
使用进程功能……4-32
监视你的进程……4-32
设定并观察主/从系统诊断
建立一个最小的进程电压……4-34
设定一个超出设定点的计时器……4-34修改靶材功能……4-35
设定进程极限……4-36
设定一个电压跳脱的极限…… 4-37
设定一个输出电压的最大极限……4-38设定一个输出电流的最大极限……4-38设定一个输出功率的最大极限……4-38设定放电的处理……4-39
设定放电电压的Trip水平……4-39
设定放电特征……4-39
设定放电计数极限……4-40
观察放电密度……4-40
修改放电密度窗口的长度……4-41
设定放电统计持续期间窗口……4-41设定放电的次数……4-42
预定义放电处理……4-42
启用放电处理……4-43
设定控制参数……4-44
设定处方……4-44
设定波动水平……4-45
使用靶材条件循环（TCC）……4-46
启用靶材条件循环（TCC）……4-46
设定靶材条件循环（TCC）计时器……4-46
设定焦耳模式……4-47
设定焦耳设定点……4-47
设定焦耳起始点……4-47
设定上升坡度……4-48
标准系列（闪存）端口……4-49
标准系列端口描述……4-49
传送参数……4-50
AE总线（主）端口……4-50
AE总线（主）连接器和引脚描述……4-51 AE总线传送参数……4-51
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设定装置的网络地址……4-52
按钮的类型和设置……4-52
外部DIPs……4-54
内部DIPs……4-55
最小开关……4-56
可能的网络地址的按键设定……4-57
设定Baud速率和通信模式……4-58
AE总线（主）通信……4-59
AE总线协议……4-59
AE总线头字节……4-59
AE总线命令数字字节……4-60
AE总线选项长度字节……4-60
AE总线数据字节……4-60
AE总线检查加总字节……4-61
创建一个理想的通信交易…4-62
T0:主传送信息包……4-62
T1:单元核实主传送包……4-62
T2:单元传送到主机的响应……4-63
T3:主机获得响应单元……4-63
AE总线通信交易实例……4-64
AE总线命令……4-64
AE总线命令状态响应（CSR）代码……4-64 AE总线命令设定……4-66
命令序列事例……4-108
单元解说……4-111
第五章. 安装，建立，和运作
装置的安装前准备……5-1
安装空间需求……5-1
冷却需求……5-1
陈列柜涉及……5-2
安装需求……5-6
打开装置的包装……5-6
装置的安装……5-6
接地……5-7
连接接触器Intlk端口……5-8
连接一个远程被动面板……5-9
连接一个Pinnacle远程主动面板……5-9
连接到标准系列端口……5-9
连接系列（主）端口控制……5-9
连接用户端口控制……5-10
连接输入电源……5-10
输入电源线缆需求……5-1
4 Ring-Lug输入连接器……5-10
5 终端输入连接器……5-12
连接输出电源……5-13
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三终端，多接触可插入式连接器（标准）……5-13连接放电连接性能…….5-23
连接主/从运作……5-24
主从运作的理解…….5-24
主/从主卡接口……5-24
构建一个主/从系统……5-25
主/从结构事例……5-27
后部面板图纸……5-2
装置的运作……5-29
普通运作……5-29
放电处理的理解……5-31
电压放电（V-Arc）的跳脱水平……5-32
TCC算法启用……5-32
靶材类型：金属……5-33
靶材类型：非金属……5-33
靶材类型：Custom…….5-33
放电检测延迟时间……5-34
放电关闭时间……5-36
放电极限响应……5-38
放电链接运作……5-39
Pinnacle总线错误的理解……5-39
总线错误的类型……5-39
如果10毫秒总线错误连续地发生……5-39主/从系统运作……5-40
主/从输入开/关结合……5-41
监视主/从系统……5-43
清除主/从系统中的错误……5-43
第六章. 故障处理和全球服务
在打电话给AE全球服务之前……6-1
首先确认……6-1
确认电源关……6-1
确认电源开……6-1
确认如果输出不开启……6-3
帮助代码问题解决表……6-4
被动显示面板代码……6-6
LED故障处理表……6-7
清除错误代码……6-8
错误代码故障处理表……6-8
主/从错误向量
从状态高字节……6-22
从状态低字节……6-22
个人卡状态……6-23
联系AE全球服务……6-24
先进能量世界总部，24*7技术支持……6-24
及其返修……6-24
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图片清单
……
PAGE 15
表格清单
……
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总体描述
AE系列直流电源提供了直流电源方面最大的优势。

它们……。

轻巧。

高效（内部低发热）。

提供了优秀的控制和稳定性。

具有高度可靠的结实设计。

在输出过滤器中存储很少的能量。

快速识别放电并从中恢复。

通过一个4:1的阻抗范围（无接头）全额传递功率
输出控制
Pinnacle供应电源可以作为一个功率，电流或者电压源，取决于所选择的输出控制方式。

因为设定水平是存储在不可更改的存储器里，你可以通过它来从输入电源中断的情况下恢复并确保运行中的可持续性。

微处理器的优点
内部的微处理器会监视所有的运行参数并检查电路运行正确性。

当装置初始开启电源后系统诊断便会运行。

最近的电源设定和条件（如输出产量）会保留在不可更改的内存中。

显示
在被动面板和控制面板上会显示功率，电流或者电压水平。

也会显示输出，设定点，互锁，总线错误，超温，放电和错误代码的信息。

抑弧特征
Pinnacle 电源的放电处理特征确保可以在工业应用中以最短的时间内恢复。

在抑弧特征下，Pinnacle 电源的固态放电侦测时间低于1微妙，并且传递放电能量对于10kw 的转换器低于10毫焦。

（取决于你的装置的输出结构，能量可以显著低于10毫焦）
另外，抑弧特征使你可以在你的正常制程循环和你的靶材条件循环期间有补充预定的放电处理程序的功能。

在这个模式下，放电检测时间和放电关闭时间是通过靶材类型（金属或非金属）而定的。

但是你也可以通过选择用户模式来自定义你的放电关闭和放电检测延迟时间。

其它参数，包括放电计数极限和电压跳脱水平，都可通过Pinnacle 远程主动面板或者一个系列通信（主）端口来选择。

运行原理
Pinnacle 供应电源是一个高端和智能的直流电源，专门为真空环境下使用而设计的。

转换器转换器部分通过转换晶体管来改变电流从而将直流转换成高频电压。

输出 在输出部分，一个隔离的变压器从转换部分接上高频电压并发送到一个全波长的桥式整流
功能模块图
交流进
输入部分 转换部分 输出部分 输出检测
直流出 家务管理部分 控制面板显示 逻辑控制 远程接口
器。

被整流过的直流电源接着通过一个检测部分传送到输出连接器。

输出检测
输出检测部分检测电流，电压和功率。

这些信号代表性的被分成0到10VDC并发送到逻辑控制和界面。

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逻辑控制
在逻辑控制部分里的微处理器使用运行器提供的参数和设定点来控制输出。

这个部分也响应输入部分的控制并通过所有接口给运行器提供状态信息。

远程接口
Pinnacle电源支持4类接口：一个用户端口（模/数），一个系列（主）端口（RS-232/422/485）,一个主动前端面板，和一个Pinnacle远程面板。

所有的4个接口将运行期提供的输入传送到逻辑控制部分并给运行期提供状态信息。

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产品规格
功能规格
PAGE 37电气规格
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冷却规格
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接触器互锁线缆要求
为了最低程度地减少信号的损失，线缆长度要尽量的短。

为了将来自附近电器的干扰降到最低，线缆里的EMI屏蔽必须终端接到线缆连接器的金属外壳。

另外，你必须通过一个足够大尺寸的接地铜片连接装置的底盘到本地的接地。

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面板的理解
控制键
要从面板控制你的电源，通过按面板上的控制键直到本地模式LED指示灯亮来选择本地模式。

将装置设为本地模式使你有完全的权限进入前端面板菜单。

要从系列接口或者网络设备端口控制你的电源，按控制键直到 HOST LED灯亮。

要从用户端口来控制你的电源，按控制键直到用户LED灯亮。

当电源装置处于HOST或者USER控制模式，你可以查看所有的菜单项，但你不能修改参数或者锁定显示屏。

输出显示屏
查看输出信息
输出显示屏显示电压，电流和功率的实际输出值。

它也可以显示设定值。

选择设定值
用面板的控制键来选择本地控制模式（本地LED灯会亮）来从主控制面板调整设定值。

然
后旋转调整旋钮直到显示你所需的设定值。

软键
在显示屏对应的下方有五个无标识的软键使你可以选择菜单选项。

菜单选项出现在屏幕的第二行。

由于不同的选项（不同菜单）是在不同时间显示的，这可手动用软键选择屏幕上对应位置显示的内容。

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调整旋钮
用调整旋钮来改变数值和从菜单中移动。

当显示屏显示了一个闪动的值，你可以通过旋转调整旋钮来改变它。

另外，你可以用调整旋钮来在菜单中快速移动。

按调整旋钮一次使你返回菜单上一级。

快速按它两次可以跳出菜单到输出显示画面。

控制按钮
在设定点菜单，通过按控制键直到相应的LED灯亮来选择输出控制的三种方式之一（功率，电流，或者电压）。

如果当电源正在输出时，你从一种方式切换到另一种时，新控制方式的设定值将会变成你调整时对应的输出值。

例如，如果电源的控制方式为功率，设定值为5000W,(电压值是500V,电流值是10A),然后你选择电压控制模式，新的设定值将会是500V.
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控制面板接口
控制按钮
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双行输出显示屏
在显示屏底部出现的信息（从左到右）：
. 装置配置区
~ M/S/L: M=主，S=从，或者L=Limited duty cycle
~ J:焦耳模式启用
~ L:靶材寿命启用
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~ S: 设定值计数器启用
~V: 制程电压监视启用
~H: 固态放电计数启用
~Q/T/R: 处方队列，TCC模式，或者爬升启用
~C/P
.警告区域
~ 当靶材寿命结束时会闪现“EOTL”，或者当达到放电极限时会显示“ARCLIM”注意：只有当固态放电计数特征启用时ARCLIM才会激活
. 时钟标识：电源正在做什么
~RMP=输出已启动且正在爬升
~RUN=输出已启动且时钟显示已运行的时间
~TCC=输出已关闭且TCC模式计数器已激活
~OFF=输出已关闭且时钟显示上次运行的时间
软键
注意：如果你再菜单最顶级，按菜单软键来使菜单出现
修改旋钮
用修改旋钮和软键来改变双行显示屏上出现的选项和数值
PAGE 65
控制面板的控制
注意：如果存在一个错误或者面板被锁定，那么软键会被锁定直到你清除错误。

错误信息见Troubleshooting 这章。

菜单选项的理解
按任何软键将会打开树形主菜单。

当处于最顶级时，将有三个菜单选项：
. 服务
. 供应
. 工艺
从服务菜单，你可以获得诊断的信息。

从供应菜单，你可以修改供应规格参数，然后从工艺菜单，你可以进入影响或监视你的工艺的选项。

按菜单选项下的软键来选择菜单选项。

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使用服务功能 用这个选项来查看你电源的诊断和软件版本。

选项如下：。

错误：用户服务信息。

状态：电源统计
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错误 统计
排除错误 存储 供应 供应菜单图
工艺 监视 极限 放电。

排除错误：排除屏幕错误。

存储：ROM CRC 检查加总。

软件版本：软件版本号
注意：菜单选项可能因装置软件的配置而不一样。

检查服务类型的错误
服务—>错误
户服务将会使用这个选项
检查服务类型的统计
服务统计
使用这个选项来检查服务类型的统计。

检查总的能量输出
服务统计能量
检查总的空闲时间
服务统计时间
检查错误的数量
服务统计事件
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1. 按服务统计事件
错误和循环选项出现
2. 按错误软键
3. 更多，互锁，IRQS,监视器，和DSP选项出现。

4. 如果你按更多，你可以确认以下错误的数量：PROFIBUS，功率，超温，总线，转换器。

5. 如果你按互锁，接触器，用户和线缆的错误数量会显示。

6. 如果你按 IRQ,已定义及未定义的IRQs的数量会显示。

7. 如果你按监视器，你可以检查设定值计数器的错误和制程电压错误的数量。

8. 如果你按DSP,DSP控制和DSP看门狗错误的数量会显示。

检查循环数量
服务统计事件循环
按输出软键，可以获得事件里输出的数量报告。

按装置，可以获得事件里功率的数量报告。

排除你装置的错误
服务排除错误
用这个选项来检查硬件配置，已安装的卡，和逻辑软键选项。

查看你的从属装置的地址
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检查你的主/从系统的错误
检查你的硬件配置
检查你的通信卡
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检查你的软件逻辑
检查你的只读存储器
服务存储器
检查你的软键版本
使用供应功能
这个选项使你课题修改你的供应电源的具体元件和参数
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设定AE总线的停止时间
供应AE 总线
这个是供应电源在信息字节之间等待的总时间。

这个时间太短会导致通信错误并中断。

注意：我们建议你保持这个值尽可能的小，来加速覆盖因噪音产生的错误。

设定供应参数
供应预设
将你的所有供应参数设为预设值并将它存在存储器里。

设定面板模式
供应面板
用这个选项来选择远程和本地控制面板，锁定面板，设定锁定码，或者设定旋钮点击的编码器速率。

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选择一个锁定码
供应面板锁定
输入一个锁定码来锁定主动控制面板
要进一步进入菜单就需要输入密码。

注意:循环启动电源可将锁定状态复位到未锁定。

选择点击的数量
供应面板点击
点击的特性可具体化旋钮每次点击的高速计数数量。

你输入的值是当你快速旋转旋钮时每一次点击的乘法器。

当你慢速转动旋钮时，乘法器不会生效。

你可以输入从1到40的任意数字。

如果你想一个显示的数值在你转动旋钮时改变得慢一些，设定每次点击的计数值为 1.如果你要快一些就设为40.
设定程序源
供应程序源
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程序源可具体化每个控制模式的调节模式和设定值信息。

使用工艺功能
用这个选项来进入你制程的控制，极限，监视的参数。

注意：菜单的选项可能因你装置的软件配置不同而不一样。

监视你的制程
工艺监视
这个菜单使你可以监视你的工艺元素，比如你的主/从系统的配置和运行，你的靶材寿命，超出设定值运行的时间，或者制程电压是否降到了它的起始点。

设定和查看主/从系统诊断
工艺监视主从系统
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这个选项使你可以设定你的主/从系统诊断和运行一个系统检查。

执行一个主/从系统检查
启用系统诊断
设定系统电源诊断
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设定系统装置诊断
建立一个最小的制程电压
工艺监视工艺电压
这个菜单使你可以建立一个做小的工艺电压。

使用这个功能，你必须首先启用它然后建立一个要求的起始极限值。

工艺极限电压启用后，装置会等待输出电压首先超过极限值。

一旦超过极限值，将会保持电压输出直到你将输出关闭或者直到电压降到建立的极限值以下时。

如果电压降到极限值以下，输出将会关闭且显示屏上出现错误信息E010.
设定一个超出设定值计时器
工艺监视设定值
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使用这个选项来启用和设定一个超出设定值计时器。

这个功能使你可以指示电源在关闭输出
之前容许多久超出设定值条件。

当输出值超出了你所选择的设定值范围时，一个超出设定值条件便发生了。

这个超出设定值功能可以在所有的三种控制模式下运行。

注意：在没有主/从卡的装置中，超出设定值功能会在放电(包括电源输出短路)期间无效。

然而，当安装了一个主/从卡，放电（和短路）会足够长的时间来影响过滤读数（100毫秒或更长），这将会产生一个超出输出值指示。

对于一个独立的装置，超出设定值的极限是最大输出值的%或者设定值的2%。

在一个主/从系统，超出设定值极限是最大输出值的%，且这是加在整个主/从系统的输出。

注意：一个主/从系统中的主系统也受独立超出设定值极限的现实。

这个极限（最大输出值的%或者设定值的2%）只加在主系统中的输出。

当一个超出设定值条件发生时，装置会关闭输出并显示错误代码E001：OUT OF SETPOINT TIMER EXPIRED.(更多的错误代码信息见异常处理章里的错误代码部分)。

要启用超出设定值计时器，按以下步骤选择一个值（以为递增）；要关闭计时器，按以下步骤选择一个0值.
注意：因为与设定值比较的读取反馈时在软件里过滤的，我建议你对于工艺运行低于1S的不要使用这个特征。

改变靶材的功能
工艺监视靶材
靶材功能使你可以启用或关闭靶材寿命计数器（enable），更换活动靶材(select)，并以为递增设定靶材寿命（LIFE）
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更换活动靶材计数器：
注意：用户端口有优先权选择靶材。

因此，如果你的装置安装了一个用户卡，如果你想要从系列端口，活动前面板，或者Pinnacle远程主面板（那就是，当装置是在主或者本地控制模式）选择靶材，你必须设定靶材在用户端口为1。

让靶材字节打开或者让用户端口的引脚断开会导致用户端口的靶材选择恢复到1.
以为递增来设定靶材寿命：
靶材寿命可以选择从0到(预设的是0)。

这个功能也会通过计数器递减来显示靶材寿命还剩下多少。

当到达靶材寿命的终点时，输出显示屏上会闪烁“EOTL ”,且Pinnacle 装置会继续运行直到接收到一个正常的停止命令。

注意：Pinnacle 装置不能再次打开直到靶材寿命复位了或者靶材状态关闭或者选择了一个新的活动靶材。

设定制程极限 工艺极限
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这个菜单是你可以控制装置的可用户选择的运行极限：最大输出（电压，电流，功率）。

注意：在输入一个最大输出极限前，要考虑你系统的输出阻抗和考虑你选择的功率极限会如何相互影响。

当输出到达装置到达第一次合适的极限将会限制输出。

注意：你不能设定一个设定值超过那个模式相应的极限值。

设定一个跳脱的电压极限
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设定一个输出电压的最大极限 工艺极限电压
设定一个输出电流的最大极限 工艺极限电流
设定一个输出功率的最大极限 工艺极限功率
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设定放电处理 工艺放电 低 中 高 不提供
使用放电菜单可以在你的正常工艺循环期间或者你的工艺循环和靶材条件循环（TCC）期间的放电处理。

放电菜单里的选项是你可以建立正常工艺运行的放电处理参数。

另外，这各工艺菜单可以让你查看放电密度统计。

启用TCC算法可以将设定值和放电处理处于微处理器控制下，是你可以达到快速，自动的靶材条件。

在启用TCC算法前，确保你已经输入了一个设定值和工艺菜单参数值。

设定电压放电跳脱水平
工艺放电水平
这个功能是你可以设定电压放电跳脱水平，也就是，对于工艺模式和TCC算法，当装置确定了一个放电正在发生时的输出电压水平。

如果电压水平保持在你设定的总时间（时间/用户/检测功能里）内低于具体的跳脱水平，Pinnacle电源就不会关闭。

设定放电特征
工艺放电功能
这个功能允许你选择持续或标准放电模式，和快速或慢速的放电响应范围。

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设定放电计数极限
这个功能提供了一个在直流输出开启时固态放电和微放电的计数。

这个功能设定允许在装置指示超过了用户定义的固态放电之前的放电条件（如定义的放电跳脱水平和放电检测时间）的数量.固态放电的计数存在不可更改的存储器里且装置功率增大减小时也不会重置。

查看放电密度
工艺放电统计密度
固态放电计数器计一次放电，当这次放电发生时满足设定的硬件放电关闭。

微放电计数器每次放电发生就计一次放电。

当输出循环停止后再次开启时两种计数器都返回到0。

注意：如果你不启用放电处理，你就不启用放电关闭。

然而，当放电发生时微放电计数器会继续统计。

PAGE 83
1.工艺放电统计密度
出现窗口，秒和运行选项
2.要查看放电的平均窗口长度，按窗口
3. 要查看每秒的放电数，按秒
4. 要查看每次运行的放电数，按运行
5. 这个现实不会归零只到你重新打开输出。

注意：你也可以通过菜单命令工艺放电统计密度运行，按复位软键来将计数器复位。

改变放电密度窗口的长度
工艺放电统计密度窗口
这个特性可以改变窗口的装置平均放电密度的时间。

你可以选择一个1到10S之间的数值。

在1s 的窗口下，屏幕将会现实前1s发生的实际放电数量。

如果窗口设定的值大于1s，那么每秒的放电数量将会现实通过窗口建立的时间里的平均每秒放电数量。

当放电平均窗口值改变了，新的值会在后来的功率增大时保持生效。

设定放电计数持续期间窗口
PAGE 84
设定放电次数
预设定放电处理
这个功能使你可以通过认证你工艺中靶材的类型来指示你工艺需要的放电处理类型：金属或者非金属。

这个在一个工艺的放电特征不清楚的情况下很有用，因为这种情况下你很难设定自定义放电次数。

选择一个金属或者非金属靶材将开始预定程式的正常工艺循环（PC）和靶材条件循环（TCC如果启用的话）的放电检测时间和放电关闭时间,。

以下表格显示了他们的值：
PAGE 85
选择一个预设定的放电处理模式
1. 按工艺时间预设定
2. 旋转调整旋钮来选择金属或者非金属。

3. 按确认键来写入并退出。

启用放电处理
工艺放电启用
这个功能可启用或者关闭Pinnacle 电源的放电处理功能。

警告：
在大多数配置中，默认的放电处理启用。

如果你选择关闭放电处理，你的Pinnacle装置将会对放电无反应，这可能会损坏你的工艺工具。

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注意：尽管放电处理被关闭了，微放电计数器继续对发生的放电计数。

设定控制参数
设定配方
注意：当在用户端口控制模式时，你不能设定爬升配方
使用配方菜单来使一个爬升配方生效。

这个功能使你可以设定Pinnacle装置以逐步（1到8步都可以）增加的方式来爬升。

对于每一步，你必须设定一个爬升时间，一个设定值，和一个运行计时器。

爬升时间是Pinnacle装置爬升到对应步的设定值所花的总时间（以秒）。

运行计时器是Pinnacle装置在对应步的设定值运行总时间（以秒）。

要启用这个功能，设定步数至1,2,3，4,5,6,7或8. 要关闭这个功能，设定步数为0.
注意：设定值源必须设定到内部来运行一个配方。

设定波动水平
工艺控制波动
这个功能使你可以设定输出波动至一个低幅度的波动（低于2% RMS）或者一个高幅度的波动（4%~5% RMS）.
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使用靶材条件循环（TCC）。