CVD实验流程

实验流程
1．冷却水常开，打开电源。

2．开尾气阀使内外气压平衡（在抽真空的时候关闭）。

3．卸炉端。

4．放入样品衬底，源料。

5．关炉端。

6．开复合真空计开关，关闭电离规自动开关，开机械泵，开预阀开始抽真空（期间开关进气阀），当低于1~10pa后，开扩散泵加热开关，加热半小时至40分钟（期间开氩气罐，慢慢调0.35mpa，开氧气罐，慢慢调0.35mpa）之后关掉预阀，打开高阀，前级阀，打开电离规开关，抽高真空至0.001pa。

（期间调节炉端的密封螺丝）
7．真空度达到要求后，关闭炉端的真空阀，关闭前级阀，打开预阀，关闭加热电源，关闭真空计。

8．通入载气（氩气）到略高于0mpa的时候开尾气阀。

9．开始加热。

10．达到目标时通反应气体，反应结束后关闭，
11．后续：扩散泵冷却后，关闭机械泵。

炉体温度低于300度时，载气流量计调为零，关闭气体罐，关闭电源，水泵。

12．自然冷却后取样品。

注意事项：炉端在高温时严禁接触冷物！
真空状态下禁止对炉膛加热！。