热水解法制备Fe_2O_3纳米粒子及其在Si表面的分散

热水解法制备Fe_2O_3纳米粒子及其在Si表面的分散
周宏梁;中自勇;侯士敏;赵兴钰;薛增泉
【期刊名称】《真空科学与技术》
【年(卷),期】2003(23)5
【摘要】用快速热水解的方法,制备直径小于10 nm的单分散Fe(OH)3胶体粒子。

X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)衍射分析表明:Fe(OH)3胶体粒子脱水后转变为Fe2O3纳米粒子。

用离心分散的方法,胶体粒子在干燥过程中避免了团聚现象,实现其在Si表面的单层均匀分散覆盖。

研究了胶体溶液浓度对胶体粒子尺寸及表面覆
盖度的影响:改变胶体溶液的浓度,可以调节胶体粒子在Si表面的覆盖度,但对胶体
粒子尺寸的影响不明显。

【总页数】4页(P315-318)
【关键词】水解;纳米粒子;离心分散
【作者】周宏梁;中自勇;侯士敏;赵兴钰;薛增泉
【作者单位】北京大学电子学系
【正文语种】中文
【中图分类】O647.3;O648.16
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