OLED Process Flow
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OLED OLED 製造流程製造流程
主要製造流程
Al EIL ETL color HTL HIL
面板製造流程
黃光製程
四道黃光製程
•鍍有ITO與金屬層的玻璃基板
•基板清洗
•金屬線路成型-導電線(光罩#1)•ITO線路成型–透明電極(光罩#2)•Insulator製造–畫素定義(光罩#3)•製造–陰極金屬分離層(光罩#4)
黃光微影製程光罩
去光阻清潔
絕緣層分離層
黃光製程簡介(2)
金屬層製作流程
ITO層製作流程
絕緣層製作流程
分離層分離層製作流程製作流程
畫素區
分離層絕緣層Metal ITO
蒸鍍製程
蒸鍍製程簡介
•Organic 電洞注入層(遮罩#1)•Organic 電洞傳輸層(遮罩#1)•Organic 發光層(遮罩#1/2)•Organic 電子傳輸層(遮罩#1)•Organic 電子注入層(遮罩#1)•Metal 陰極層(遮罩#3)•保護層(遮罩#4)
B-Emitting material
Metal mask
Glass Substrate
Insulator
ITO
單彩蒸鍍製程
Emitting
Mask#2
Mask#1Mask#1Mask#1Mask#1Mask#1
區彩蒸鍍製程
Area color
(Example)
Emitting
Mask#2
Mask#1
Mask#1
Mask#3 4 5
Mask#1
Mask#1
全彩蒸鍍製程
Emitting
Mask#2
Mask#1
Mask#1
Mask# 3x3
Mask#1
Mask#1
Ps. 3 pcs Mask 3, by Tool alignment shift function
封裝製程
封裝製程簡介蒸鍍完成的基版亮度、CIE檢驗基版塗框膠
封裝流程
Getter Getter
Storage UV Clean / UV Cure 封裝流程
面板測試
Burn In 測試系統
(系統簡介)
可程式電源供應器
指令與控制V.
電性檢測系統
(系統簡介)