ESD静电放电控制技术培训
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• 潜在性失效比突发性失效具有更大的危险性： （1）潜在失效难以检测； （2）影响器件使用时的寿命； （3）静电损伤具有积累性。
• 预防ESD潜在损伤的最好方法是静电防护。
28
7
业界有关ESD问题的统计
ESD模型
2013/8/29
29
人体模型（Human Body Model, HBM）
30
机器模型(Machine Model, MM)
• 须提供接地的连接保证ESDS操作的工作面连接接 地系统。如是临时性工作台，至少要保证工作台 与手腕带、地垫接在一起；
• 工作台面如使用按扣式接地连接，须保证其牢固； • 为避免CDM风险，工作台面使用耗散材料，避免
过强的放电电流。如使用不锈钢工作台，必须铺 防静电桌面垫； • 对绝缘材料和静电源进行控制或消除； • 操作人员配备必要的防静电用品。
• 安全第一：ESD防护措施不能降低安全水准，如 安全与之有冲突，安全第一。（详见第十二章）
57
等电位
基本原理： • 等电位状态下不发生放电。
做法： • 所有可能接触器件的物体使用并联连接
（共同连接点）； • 接地系统间进行跨接避免电势差。
59
2013/8/29
2.2 基本技术手段
1. 等电位 2. 接地 3. 离子化中和 4. 阻值控制 5. 静电放电屏蔽（ESD shielding） 6. 湿度控制 7. 材料选择和工艺控制避免产生静电 8. 标识和标注 9. 保护电路和结构设计提高抗静电能力
31
32
8
帶电器件模型(charged Device Model, CDM)
33
器件的HBM敏感度测试
感应带电情况下的CDM
2013/8/29
34
器件MM敏感度测试
35
36
9
器件CDM敏感度测试
CDM、MM、HBM的比较
2013/8/29
37
敏感器件等级
38
敏感器件等级
39
40
10
部分元器件的静电敏感度
静电放电ESD控制技术培训
讲师: 周奋勇
1
第一章 ESD意识
1.1静电及ESD损伤 概念 • 静电(Electrostatic，static electricity) 就是
静止不动的电荷 – 它一般存在于物体的表面 – 正负电荷在局部范围内失去平衡的结果 • ESD（Electrostatic Discharge）指的是静 电放电，引申后也有静电敏感和防静电的意思， 如说一个器件是不是ESD的，一种材料是不是 ESD的。
敏感度趋势
2013/8/29
41
防静电材料和防静电用品的识别
42
防静电材料性能的划分
43
44
11
标识和标注
45
高分子材料的防静电处理
47
2013/8/29
防静电材料的种类
• 防静电材料按防静电 • 暂时性防静电材料一般
有效性时间长短分为： 使用表面喷涂防静电剂
或材料混入防静电剂制
暂时性防静电材料；
93
典型的ESD工作台
2013/8/29
厂区中的ESD防护区（EPA）
94
典型的ESD工作台
95
96
24
典型的ESD工作台
97
讨论
• 不同工作区ESD工作台如何搭建？防静电装 备如何考虑和要求?
• – 人员装备、工作台、座椅、工具、地板等
99
2013/8/29
4.2 ESD工作台和工作区的技术要求
式与该接地点连接 • 静电接地点和电源安全接地可以连接起来
84
21
3.1 ESD接地结构
2013/8/29
3.2 防静电设施如何接入ESD接地
85
使用辅助接地的情况
86
使用等电位连接的情况
87
88
22
工作台的静电接地连接
2013/8/29
3.3 设备和工具接地的连接和要求
89
讨论
• 你所在单位的工作区中哪些ESD物品采用的是一 级接地？哪些是二级接地？
人体对ESD的敏感
在5000伏时，你能 听见
在10000伏时，你能 看见
18
影响静电起电的因素
20
5
湿度、温度的影响思考和观察
不同湿度下静电电压(伏)
2013/8/29
21
带电体的电容效应
22
带电体的电容效应
23
24
6
ESD损伤类型
ESD 造成的破坏
2013/8/29
25
ESD失效模式
• 突发性失效:是指元器件受到静电放电损伤后，突 然完全丧失其规定的功能，主要表现为开路、短 路或参数严重漂移。
50
防静电材料和用品
52
13
防静电材料和用品
复合型防静电包装袋
2013/8/29
53
第二章 ESD防护的基本原理 和原则
55
54
2.1 四项基本原则
• 发生ESD损伤的三种情况 • 带有静电的导体（人体、设备等）对处于
接地的器件发生放电造成损伤； • 器件带有静电与导体发生放电造成损伤； • 在静电场中，器件接触接地的导体发生放
58
接地
基本原理： • 将静电通过接地线或接地装置传导泄放到
大地。
做法： • 建立静电接地系统 • 静电导电材料的使用 • 两种方式：硬接地和软接地
60
15
中和（离子化）
基本原理： • 电离空气产生正负离子，中和静电电荷。 做法： • 离子风机、离子风枪、离子吧 • 自感式的离子静电消除器
61
静电放电屏蔽（ESD Shielding）
电造成损伤
56
14
ESD防护四项基本原则
• 等电位连接：与敏感器件接触的导体实现等电位 连接，避免因导体带静电发生放电；
• 静电源控制：绝缘材料的静电通过接地和等电位 连接无法消除，因此必须对敏感器件周边进行静 电源控制；
• 防静电包装：出ESD防护区的器件必须使用防静 电包装，以防外界静电源的影响；
17
静电的特点
• 高电位：可达数万至数十万伏，操作时常 达数百至数千伏（人通常对3KV以下静电不 易感觉到）。
• 低电量：静电流多为微安级（尖端瞬间放 电例外）。
• 作用时间短：微秒级。 • 受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则
静电积累减少，静电压下降。
19
2013/8/29
静电的特点
在3000伏时，你能 通过皮肤感知
可消除，绝缘材料则否
11
断裂带电
2013/8/29
• 原有的能量平衡被打破,导致两面带相反电 荷
10
感应带电
12
3
其他带电
• 热电现象：某些物质温度的变化，产生静 电。
• 压电：压电现象。石英、水晶、陶瓷等 • 电解：固体与电解质溶液
13
气体的静电
15
液体的静电
2013/Leabharlann /2914静电防护关注的几个静电特性
• 电容 • 电容往往是描述带电体承载电荷的能力，它与电压一起决
定了带电体的能量，因此在关注静电的时候千万不要忽略 了电容的大小。
16
4
静电序列
• 摩擦静电序列
• ＋（正极）: 空气→人手→ 石棉→兔毛→玻璃→云母 →人发→尼龙→羊毛→铅 →丝绸→铝→纸→棉花→ 钢铁→木→琥珀→蜡→硬 橡胶→镍、铜→黄铜、银 →金、铂→硫黄→人造丝 →聚酯→赛璐珞→奥轮→ 聚氨酯→聚乙稀→聚丙稀 →聚氯乙稀(PVC)→二氧化 硅→聚四氟乙稀 : －（负 极）
静电势/静电电压/静电场
• 静电电压实际上是指带电体对大地的电势。对导体来说， 由于其电荷可以自由流动，所以常用静电电压来描述其电 势情况；绝缘材料电荷不能自由流动，且电荷分布不均匀， 因而用电场强度来表示其电势的大小。
• 在导体材料上，电荷分布在表面，且表面曲率大电荷密度 大，因而尖锐的条件下更易于发生放电和电离。
• 以下情况往往产生较强的静 电：
分离带电 物质分离后平衡被打 破，电荷不平衡产生 静电。
□ 负压动作
□ 反复动作
• 导电材料在没有接地的情况
下，同样可以产生静电
6
• 观察实验：芯片安全吗？
8
2
剥离带电
9
传导带电
• 基本前提：两个材料都是导电材料 重要结论 • 导体材料的静电通过接地或等电位连接即
做法： • 控制湿度在40～70%（满足多数标准的要求）
64
16
材料选择和工艺控制避免产生静电
基本原理： • 通过使用不产生或产生静电小的材料，减
少静电材料表面光洁，减少静电 • 静电序列的应用
做法： • 使用抗静电材料 • 使用抗静电剂
65
标识和标注
2013/8/29
标识和标注
• 对敏感器件进行标识，避免当作非敏感器件存放、 运输和操作；
67
68
17
标识和标注
69
2.3 技术理论和技术指标
• 人体接地阻值与人体静电压水平实验
71
标识和标注
2013/8/29
70
静电感应的实验
72
18
孤立导体带电模型及消散计算
73
ESD标准中控制静电的主要指标
2013/8/29
ESD标准中防护等级设置的基本考虑
• HBM的考虑：人体接地的实现以降低人体 静电压，一般以100V/35MΩ为基本要求；
基本原理： • 屏蔽静电场 • 阻隔静电放电电流通过敏感器件 做法： • 静电屏蔽材料和屏蔽容器的使用 • 绝缘材料和阻隔结构
63
2013/8/29
电阻控制
基本原理： • 通过电阻控制，控制过强的静电泄放或放
电，同时保证人体安全
做法： • 静电耗散材料的使用 • 连接安全限流电阻
62
湿度控制
基本原理： • 增加湿度减少静电的产生，降低摩擦电压
• 对ESD防护用品和材料进行标识，以表明其功能， 防止超出有效期使用；
• 对EPA（ESD保护工作区，工作站）进行标识； • 对EPA中可能存在的风险进行警示（IEC）； • 对接地点进行标识； • 涉及到敏感器件的文件、设计图纸进行标注
（IEC）； • 对EPA中的设备进行标识（IEC）。
66
标识和标注
19
现场的技术控制指标
• ANSI/ESD S20.20-2007技术指标要求
77
复习题
2013/8/29
IEC 61340-5-1-2007技术指标要求
78
复习题
79
80
20
复习题
复习题
2013/8/29
81
第三章 等电位和接地的要求
83
82
3.1 ESD接地结构
• 每个EPA有一个接地点 • 整个EPA中的所有接地系统采用星形连接方
• 有内混式和表涂式两 种方式处理材料。
• 须经常检测效果
• 不同种类的抗静电剂 有可能相互抵消作用
• 使用酒精、丙酮等有 机溶剂应先测试会不 会有影响
• 高温后应当计时检测 效果是否有变化
• 不要忽视摩擦电压的 检验
48
12
防静电用品常用材料
49
防静电材料和用品
51
防静电材料和用品
2013/8/29
• 潜在性失效:是指静电放电能量较低，仅在元器 件内部造成轻微损伤，放电后器件电参数仍然合 格或略有变化，但器件的抗电过应力能力已经明 显削弱，或者使用寿命已明显缩短，再受到工作 应力或经过一段时间工作后将进一步退化，直至 造成彻底失效。
27
26
失效模式
• 在使用环境中出现的静电放电失效大多数为潜在 失效。据统计，在由静电放电造成的使用失效中， 潜在性失效约占90％，而突发性失效仅占10％。
、测试方法和技术要求 第十二章 ESD防护中的安全考虑 第十三章 ANSI/ESD S20.20-2007标
准理解 第十四章 ESD内审
2
静电现象
4
1
静电与电（直流、交流）的区别
5
摩擦带电
• 可以看作反复的接触分离过程
7
接触分离带电
2013/8/29
• 不同物质有不同的化学势能 （逸出功不同），接触产生 静电。
成。有效性从几个月到 二年不等。
永久性防静电材料；
• 永久性防静电材料一般 使用填充添加炭粉、碳 纤维、金属及金属氧化 物等工艺制成。
46
抗静电剂及注意事项
• 多为表面活性剂，依 靠吸收水分在表面形 成一层薄薄的导电层， 达到防静电的效果。
• 按照分子活性官能团 的特点可分为阳离子、 阴离子和非离子三种。
3
2013/8/29
课程纲要
第一章 ESD意识 第二章 ESD防护的基本原理和原则 第三章 等电位和接地的要求 第四章 ESD工作台的搭建 第五章 人员要求和人体防静电装
备 第六章 敏感器件的周转和包装 第七章 地板 第八章 静电源的控制 第九章 离子风机的使用
第十章 ESD相关测量和检测 第十一 章 常用防静电用品的标准
• 案例：某生产线在检查ESD接地时发现ESD接地与 设备接地阻值不通，这种情况你会怎么做？
• 在接地当中，何时须连接安全电阻（限流电阻）， 何时不能连接安全电阻？
• 你所在单位的工作区域的设备和工具接地要求是 什么？
91
90
第四章 ESD工作台的搭建
92
23
4.1 哪些地方需要建立ESD工作台
• ESD工作站（ESD protective station )：使用必 要的防静电材料和设施，能够防止敏感器件在其 中操作受到ESD损伤的工作台或区域。
• MM的考虑：一般以器件接触导体实现接地， 并控制接地阻值小于1.0×10E9Ω为基本要 求；
• CDM的考虑：确保器件本身或应感应带电 的电压小于50V，一般以2000V静电源12inch 以上距离为基本要求；
74
现场的技术控制指标
• ANSI/ESD S20.20-2007技术指标要求
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76
• 预防ESD潜在损伤的最好方法是静电防护。
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7
业界有关ESD问题的统计
ESD模型
2013/8/29
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人体模型（Human Body Model, HBM）
30
机器模型(Machine Model, MM)
• 须提供接地的连接保证ESDS操作的工作面连接接 地系统。如是临时性工作台，至少要保证工作台 与手腕带、地垫接在一起；
• 工作台面如使用按扣式接地连接，须保证其牢固； • 为避免CDM风险，工作台面使用耗散材料，避免
过强的放电电流。如使用不锈钢工作台，必须铺 防静电桌面垫； • 对绝缘材料和静电源进行控制或消除； • 操作人员配备必要的防静电用品。
• 安全第一：ESD防护措施不能降低安全水准，如 安全与之有冲突，安全第一。（详见第十二章）
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等电位
基本原理： • 等电位状态下不发生放电。
做法： • 所有可能接触器件的物体使用并联连接
（共同连接点）； • 接地系统间进行跨接避免电势差。
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2013/8/29
2.2 基本技术手段
1. 等电位 2. 接地 3. 离子化中和 4. 阻值控制 5. 静电放电屏蔽（ESD shielding） 6. 湿度控制 7. 材料选择和工艺控制避免产生静电 8. 标识和标注 9. 保护电路和结构设计提高抗静电能力
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8
帶电器件模型(charged Device Model, CDM)
33
器件的HBM敏感度测试
感应带电情况下的CDM
2013/8/29
34
器件MM敏感度测试
35
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9
器件CDM敏感度测试
CDM、MM、HBM的比较
2013/8/29
37
敏感器件等级
38
敏感器件等级
39
40
10
部分元器件的静电敏感度
静电放电ESD控制技术培训
讲师: 周奋勇
1
第一章 ESD意识
1.1静电及ESD损伤 概念 • 静电(Electrostatic，static electricity) 就是
静止不动的电荷 – 它一般存在于物体的表面 – 正负电荷在局部范围内失去平衡的结果 • ESD（Electrostatic Discharge）指的是静 电放电，引申后也有静电敏感和防静电的意思， 如说一个器件是不是ESD的，一种材料是不是 ESD的。
敏感度趋势
2013/8/29
41
防静电材料和防静电用品的识别
42
防静电材料性能的划分
43
44
11
标识和标注
45
高分子材料的防静电处理
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2013/8/29
防静电材料的种类
• 防静电材料按防静电 • 暂时性防静电材料一般
有效性时间长短分为： 使用表面喷涂防静电剂
或材料混入防静电剂制
暂时性防静电材料；
93
典型的ESD工作台
2013/8/29
厂区中的ESD防护区（EPA）
94
典型的ESD工作台
95
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典型的ESD工作台
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讨论
• 不同工作区ESD工作台如何搭建？防静电装 备如何考虑和要求?
• – 人员装备、工作台、座椅、工具、地板等
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2013/8/29
4.2 ESD工作台和工作区的技术要求
式与该接地点连接 • 静电接地点和电源安全接地可以连接起来
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21
3.1 ESD接地结构
2013/8/29
3.2 防静电设施如何接入ESD接地
85
使用辅助接地的情况
86
使用等电位连接的情况
87
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工作台的静电接地连接
2013/8/29
3.3 设备和工具接地的连接和要求
89
讨论
• 你所在单位的工作区中哪些ESD物品采用的是一 级接地？哪些是二级接地？
人体对ESD的敏感
在5000伏时，你能 听见
在10000伏时，你能 看见
18
影响静电起电的因素
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5
湿度、温度的影响思考和观察
不同湿度下静电电压(伏)
2013/8/29
21
带电体的电容效应
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带电体的电容效应
23
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6
ESD损伤类型
ESD 造成的破坏
2013/8/29
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ESD失效模式
• 突发性失效:是指元器件受到静电放电损伤后，突 然完全丧失其规定的功能，主要表现为开路、短 路或参数严重漂移。
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防静电材料和用品
52
13
防静电材料和用品
复合型防静电包装袋
2013/8/29
53
第二章 ESD防护的基本原理 和原则
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54
2.1 四项基本原则
• 发生ESD损伤的三种情况 • 带有静电的导体（人体、设备等）对处于
接地的器件发生放电造成损伤； • 器件带有静电与导体发生放电造成损伤； • 在静电场中，器件接触接地的导体发生放
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接地
基本原理： • 将静电通过接地线或接地装置传导泄放到
大地。
做法： • 建立静电接地系统 • 静电导电材料的使用 • 两种方式：硬接地和软接地
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中和（离子化）
基本原理： • 电离空气产生正负离子，中和静电电荷。 做法： • 离子风机、离子风枪、离子吧 • 自感式的离子静电消除器
61
静电放电屏蔽（ESD Shielding）
电造成损伤
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ESD防护四项基本原则
• 等电位连接：与敏感器件接触的导体实现等电位 连接，避免因导体带静电发生放电；
• 静电源控制：绝缘材料的静电通过接地和等电位 连接无法消除，因此必须对敏感器件周边进行静 电源控制；
• 防静电包装：出ESD防护区的器件必须使用防静 电包装，以防外界静电源的影响；
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静电的特点
• 高电位：可达数万至数十万伏，操作时常 达数百至数千伏（人通常对3KV以下静电不 易感觉到）。
• 低电量：静电流多为微安级（尖端瞬间放 电例外）。
• 作用时间短：微秒级。 • 受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则
静电积累减少，静电压下降。
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静电的特点
在3000伏时，你能 通过皮肤感知
可消除，绝缘材料则否
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断裂带电
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• 原有的能量平衡被打破,导致两面带相反电 荷
10
感应带电
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3
其他带电
• 热电现象：某些物质温度的变化，产生静 电。
• 压电：压电现象。石英、水晶、陶瓷等 • 电解：固体与电解质溶液
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气体的静电
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液体的静电
2013/Leabharlann /2914静电防护关注的几个静电特性
• 电容 • 电容往往是描述带电体承载电荷的能力，它与电压一起决
定了带电体的能量，因此在关注静电的时候千万不要忽略 了电容的大小。
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4
静电序列
• 摩擦静电序列
• ＋（正极）: 空气→人手→ 石棉→兔毛→玻璃→云母 →人发→尼龙→羊毛→铅 →丝绸→铝→纸→棉花→ 钢铁→木→琥珀→蜡→硬 橡胶→镍、铜→黄铜、银 →金、铂→硫黄→人造丝 →聚酯→赛璐珞→奥轮→ 聚氨酯→聚乙稀→聚丙稀 →聚氯乙稀(PVC)→二氧化 硅→聚四氟乙稀 : －（负 极）
静电势/静电电压/静电场
• 静电电压实际上是指带电体对大地的电势。对导体来说， 由于其电荷可以自由流动，所以常用静电电压来描述其电 势情况；绝缘材料电荷不能自由流动，且电荷分布不均匀， 因而用电场强度来表示其电势的大小。
• 在导体材料上，电荷分布在表面，且表面曲率大电荷密度 大，因而尖锐的条件下更易于发生放电和电离。
• 以下情况往往产生较强的静 电：
分离带电 物质分离后平衡被打 破，电荷不平衡产生 静电。
□ 负压动作
□ 反复动作
• 导电材料在没有接地的情况
下，同样可以产生静电
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• 观察实验：芯片安全吗？
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剥离带电
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传导带电
• 基本前提：两个材料都是导电材料 重要结论 • 导体材料的静电通过接地或等电位连接即
做法： • 控制湿度在40～70%（满足多数标准的要求）
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材料选择和工艺控制避免产生静电
基本原理： • 通过使用不产生或产生静电小的材料，减
少静电材料表面光洁，减少静电 • 静电序列的应用
做法： • 使用抗静电材料 • 使用抗静电剂
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标识和标注
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标识和标注
• 对敏感器件进行标识，避免当作非敏感器件存放、 运输和操作；
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标识和标注
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2.3 技术理论和技术指标
• 人体接地阻值与人体静电压水平实验
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标识和标注
2013/8/29
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静电感应的实验
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孤立导体带电模型及消散计算
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ESD标准中控制静电的主要指标
2013/8/29
ESD标准中防护等级设置的基本考虑
• HBM的考虑：人体接地的实现以降低人体 静电压，一般以100V/35MΩ为基本要求；
基本原理： • 屏蔽静电场 • 阻隔静电放电电流通过敏感器件 做法： • 静电屏蔽材料和屏蔽容器的使用 • 绝缘材料和阻隔结构
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2013/8/29
电阻控制
基本原理： • 通过电阻控制，控制过强的静电泄放或放
电，同时保证人体安全
做法： • 静电耗散材料的使用 • 连接安全限流电阻
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湿度控制
基本原理： • 增加湿度减少静电的产生，降低摩擦电压
• 对ESD防护用品和材料进行标识，以表明其功能， 防止超出有效期使用；
• 对EPA（ESD保护工作区，工作站）进行标识； • 对EPA中可能存在的风险进行警示（IEC）； • 对接地点进行标识； • 涉及到敏感器件的文件、设计图纸进行标注
（IEC）； • 对EPA中的设备进行标识（IEC）。
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标识和标注
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现场的技术控制指标
• ANSI/ESD S20.20-2007技术指标要求
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复习题
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IEC 61340-5-1-2007技术指标要求
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复习题
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复习题
复习题
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第三章 等电位和接地的要求
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3.1 ESD接地结构
• 每个EPA有一个接地点 • 整个EPA中的所有接地系统采用星形连接方
• 有内混式和表涂式两 种方式处理材料。
• 须经常检测效果
• 不同种类的抗静电剂 有可能相互抵消作用
• 使用酒精、丙酮等有 机溶剂应先测试会不 会有影响
• 高温后应当计时检测 效果是否有变化
• 不要忽视摩擦电压的 检验
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防静电用品常用材料
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防静电材料和用品
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防静电材料和用品
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• 潜在性失效:是指静电放电能量较低，仅在元器 件内部造成轻微损伤，放电后器件电参数仍然合 格或略有变化，但器件的抗电过应力能力已经明 显削弱，或者使用寿命已明显缩短，再受到工作 应力或经过一段时间工作后将进一步退化，直至 造成彻底失效。
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失效模式
• 在使用环境中出现的静电放电失效大多数为潜在 失效。据统计，在由静电放电造成的使用失效中， 潜在性失效约占90％，而突发性失效仅占10％。
、测试方法和技术要求 第十二章 ESD防护中的安全考虑 第十三章 ANSI/ESD S20.20-2007标
准理解 第十四章 ESD内审
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静电现象
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静电与电（直流、交流）的区别
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摩擦带电
• 可以看作反复的接触分离过程
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接触分离带电
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• 不同物质有不同的化学势能 （逸出功不同），接触产生 静电。
成。有效性从几个月到 二年不等。
永久性防静电材料；
• 永久性防静电材料一般 使用填充添加炭粉、碳 纤维、金属及金属氧化 物等工艺制成。
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抗静电剂及注意事项
• 多为表面活性剂，依 靠吸收水分在表面形 成一层薄薄的导电层， 达到防静电的效果。
• 按照分子活性官能团 的特点可分为阳离子、 阴离子和非离子三种。
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课程纲要
第一章 ESD意识 第二章 ESD防护的基本原理和原则 第三章 等电位和接地的要求 第四章 ESD工作台的搭建 第五章 人员要求和人体防静电装
备 第六章 敏感器件的周转和包装 第七章 地板 第八章 静电源的控制 第九章 离子风机的使用
第十章 ESD相关测量和检测 第十一 章 常用防静电用品的标准
• 案例：某生产线在检查ESD接地时发现ESD接地与 设备接地阻值不通，这种情况你会怎么做？
• 在接地当中，何时须连接安全电阻（限流电阻）， 何时不能连接安全电阻？
• 你所在单位的工作区域的设备和工具接地要求是 什么？
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第四章 ESD工作台的搭建
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4.1 哪些地方需要建立ESD工作台
• ESD工作站（ESD protective station )：使用必 要的防静电材料和设施，能够防止敏感器件在其 中操作受到ESD损伤的工作台或区域。
• MM的考虑：一般以器件接触导体实现接地， 并控制接地阻值小于1.0×10E9Ω为基本要 求；
• CDM的考虑：确保器件本身或应感应带电 的电压小于50V，一般以2000V静电源12inch 以上距离为基本要求；
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现场的技术控制指标
• ANSI/ESD S20.20-2007技术指标要求
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