高效气体净化过滤器

高效气体净化过滤器
邱明三
【期刊名称】《低温与特气》
【年(卷),期】1986(000)001
【摘要】用过滤器除掉气体中的尘埃微粒，国内、外巳得到普遍推广应用。

近十多年来，集成电路技术发展相当迅速，集成度愈来愈高，功能愈来愈多，构造愈来愈复杂，线条宽度愈来愈细，加工制造愈来愈难。

气体中的尘埃微粒对集成电路的质量及成品率有极大的影响，严重者会导致整个电路报废。

【总页数】3页(P13-15)
【作者】邱明三
【作者单位】核工业部第八研究所
【正文语种】中文
【中图分类】TQ051.85
【相关文献】
1.TX1型高效吸油剂在气体净化中的工业应用 [J], 张新凤;张岭;宋宪稳;吕洪浩;李长阁
2.高效完成过滤器完整性测试：缩短除菌过滤器完整性测试时间而不失准确性与可靠性 [J],
3.满足更高要求的高效过滤器高效过滤器超低浓度PAO检漏方法 [J], 陈路刚
4.我国新型高效气体净化溶剂NHD的开发应用现状 [J], 庞利峰;张敬忠
5.我校“高温气体净化陶瓷过滤器的研制”成果达到国际先进水平 [J], 窦红梅
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。