静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
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静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
王凯;赵新;何维玮;卢桂章
【期刊名称】《中国机械工程》
【年(卷),期】2005(016)0z1
【摘要】在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
【总页数】3页(P272-274)
【作者】王凯;赵新;何维玮;卢桂章
【作者单位】南开大学,天津,300071;南开大学,天津,300071;南开大学,天
津,300071;南开大学,天津,300071
【正文语种】中文
【中图分类】TN402
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