一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法[发明专利]

专利名称：一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法专利类型：发明专利
发明人：贡顶,沈忱,崔绍春,陈雪莲,鄢丽萍
申请号：CN201710820278.7
申请日：20170913
公开号：CN107621757A
公开日：
20180123
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种基于指示函数的交叉传递函数快速分解方法，其包括：1)获取成像系统的光源函数J(f,g)；2)将描述光源的区域Ω进行划分得到一组正交子区域Ω，并用正交子区域上的指示函数I(f,g)描述所述光源函数J(f,g)；3)计算所述指示函数I(f,g)的傅里叶逆变换，获得空间上域的基函数L(x,y)，并将空间域上的光源互强度函数投影到一组基函数上，获得对光源互强度函数的分解；4)建立空间域上的交叉传递函数的核函数c；5)计算核函数与掩膜板图形的卷积，获得像平面上的曝光图案本发明利用正交区域上的指示函数I(f,g)表述光源函数，利用指示函数的正交关系，及光源的投影系数直接获得光源互强度函数的分解，容易获得交叉传递函数的核函数使得光强分布计算快速而高效。

申请人：苏州珂晶达电子有限公司
地址：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道1355号国际科技园内B501单元
国籍：CN
代理机构：北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：汤东凤
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