基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器

基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器
王琪;冯建国;马渊明;陈兴;许高斌
【期刊名称】《传感器与微系统》
【年(卷),期】2024(43)2
【摘要】针对传统流量传感器的量程限制,提出了一种基于双螺旋结构加热器的柔性基底微机电系统(MEMS)热式流量传感器。

在基底上打出均匀通孔阵列以降低热传导损耗,两对测温电阻对称分布在加热器两侧,以获得较宽量程,在微小流量与大流量下均表现出较高灵敏度。

采用基于惠斯通电桥的检测电路实现输出电压的测量,
同时保持加热器与环境温度恒定温差200 K,对电阻自热进行补偿。

传感器工作温
度-100~400℃,量程为0~60 m/s;低流速下灵敏度约为12.75 V/(m·s^(-1)),分辨
率可达0.001 mm/s,高流速下灵敏度约为1.4 mV/(m·s^(-1)),功耗低至1.3 mW。

【总页数】4页(P41-44)
【作者】王琪;冯建国;马渊明;陈兴;许高斌
【作者单位】合肥工业大学安徽省微电子机械系统工程技术研究中心微电子学院【正文语种】中文
【中图分类】TP212
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