射频磁控溅射制备HA(+ZrO2+Y2O3)/Ti6Al4V复合生物活性涂层

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高功率脉冲磁控溅射制备TiAlSiN复合涂层的方法[发明专利]

高功率脉冲磁控溅射制备TiAlSiN复合涂层的方法[发明专利]

专利名称:高功率脉冲磁控溅射制备TiAlSiN复合涂层的方法专利类型:发明专利
发明人:李志荣,李迎春,刘江江
申请号:CN201911392715.5
申请日:20191230
公开号:CN111155064A
公开日:
20200515
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开了一种高功率脉冲磁控溅射制备TiAlSiN复合涂层的方法:S1,准备:在HCVAC HCSH650设备上,采用Ti靶、TiAl合金靶和Si靶作为靶材,各靶的靶材纯度≥99%;Ti靶和TiAl靶接高功率脉冲磁控溅射电源,Si靶接射频电源;装挂有高速钢或硬质合金刀具的转架公转速度为3~15r/min,靶基距为60‑150mm;工作气体和反应气体分别选用高纯Ar和N2;S2,沉积涂层:包括1.清洗;2.加热;3.调节压强;4.辉光清洗;5.纯Ti轰击活化;6.沉积Ti过渡层;7.沉积TiN过渡层;8.沉积高Ti含量的TIALN;9.沉积TiAlN;10.沉积TIALSiN。

本方法具有Si含量可控、沉积速率高、形成的结构为纳米晶氮化物被Si3N4包裹的复合结构,且性能优异。

申请人:广东汇成真空科技股份有限公司
地址:523838 广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
国籍:CN
代理机构:广州知友专利商标代理有限公司
代理人:周克佑
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射频磁控溅射法制备TiO2-x薄膜及其光响应的研究

射频磁控溅射法制备TiO2-x薄膜及其光响应的研究
上 , 积 T O。 薄膜 . 英玻 璃 片经 丙 酮 :乙醇 一7: 沉 i 一 石
二氧化 钛 是阴离 子 空位 型非 化 学 计 量化 合 物 , 化
学 式 为 T O。 , 构 中存 在 着 带 正 电 的 氧 空 位 , 块 i 一 结 整
材 料 的 电中性 由准 自由 电 子来 平 衡 ; 空 位 捕 获 2个 氧
本 文用 射 频磁 控溅 射 仪 , 氩 等离 子轰击 钛靶 , 用 以
保护 等方 面. 二 氧化 钛 属 宽 禁 带半 导 体 ( 钛 型 为 3 2 e 金 锐 . V, 红石 型为 3 0 e , 子 从 价 带 激 发 到 导 带需 要 紫外 . V) 电 光源 激发 , 然而 紫外 光仅 占太 阳光 能 量 的 3 [ , 何 1如 ] 使 其 在可 见光 激发 下产 生 活性 , 直是研 究 的热点. 一 目 前多 是通 过过 渡离 子 和 阴 离 子 掺 杂使 其 吸 收 边红 移 , 而通 过优化 二 氧化 钛 自身结 构来 提 高其 可 见光 活性 的
20 0 7年 7月
J1 07 u .2 0
射 频 磁 控 溅 射 法制 备 T O2 膜 i 一薄 及 其 光 响 应 的 研 究
陈朝 凤 , 东升 , 玉花 , 黄 李 曾人 杰
( 门 大 学 化 学 化 工 学 院 材 料 科学 与 工 程 系 , 建 厦 门 3 1 0 ) 厦 福 60 5
报道 甚少 .
氧气 为反应 气 体 , 备 含 较高 氧 空 位浓 度 的 Ti 一 薄 制 Oz
膜 , 一步研 究 氧 空位 对 紫外一 见光 吸收 的影响 . 进 可
1 实验 部 分
1 1 TO 一 薄 膜 的 制 备 . i2

HA(+ZrO2+Y2O3)/Ti6Al4V复合涂层的微结构与生物活性

HA(+ZrO2+Y2O3)/Ti6Al4V复合涂层的微结构与生物活性
RF ma n t n s u t rn a r n fr e e e t n o t e c y t l e s c u e a d r so e g e r p t i g c n b ta se r d p r cl i t h r sa i t t r n e tr d OH — g o p b s— o e e f y l n u r ru y p t o a n aig n e n .T e S r c r h l g f o o st o t g o re a d u e e t h e ld srb t d c n a e .T e l h u a e mo o o y o mp i c a i si c a s n n v n wi t e w l i i u e o c v s h f p c e n s h t
ma n t n s ut rn e h i u g er p t i g tc n q e.T e S ra e a d i t ra e mo p o o y p a e c mp st n a d c e c l sr cu e o o e h u c n n e c r h l g . h s o o i o n h mia tu t r f f f i
A M 等 对 溅 射 涂 层 的 相 组 成 、 观 形 貌 和 界 面 结 合 进 行 了研 究 , 以 模 拟 体 液 试 验 探 讨 了涂 层 的 生 物 活 性 。实 验 F 微 并 结 果 表 明 : 控 溅 射 的 复 合 涂 层 呈 非 晶态 , 过 退 火处 理 , 以 使 其 完 全 转 化 为 晶 态 ; 合 涂 层 的 微 观 表 面 凹 凸 不 磁 经 可 复 平 , 呈 现 网状 结 构 和较 多 的孔 隙 , 孔 隙 直 径 约 为 0 5m 一 t 涂 层 的 生 长 模 式 为 层 状 加 岛状 生 长 ; 合 涂 层 在 并 其 .t 2t t m; 复

磁控溅射HA(+YSZ)/Ti6A14V复合涂层的微观形貌和生长方式

磁控溅射HA(+YSZ)/Ti6A14V复合涂层的微观形貌和生长方式
sm i r t h a g t Th u f c s c v r t r u o t g wh r h is e wi r w. e b n te t s i — i l o t e t r e , e s ra e i o e e wih p o s c a i , e e t e ts u l g o Th o d s r n h i ,n a d o n l g c e s d wi h n r a i fs u t rn we e t i c p , r u d 8 N. eg o h p te n o h a i g i a r a e t t e ic e sn o p te i p h g g o ri a c r an s o e a o n 0 Th r wt a t r ft e c t sl — n o n me lr a c mp n t sa d wa . l c o a y wih iln y a
( c o l f tr l S i c n n ie r g Ja g uUnv ri , h n i g 2 2 1 ) S h o e i s e ea d E gn e i ,in s ies y Z e j n 1 0 3 o Ma a n c n t a
Ab ta t sr c Ra i rq e c g er ns u tr gi p l d t e o i h d o y p t e( do fe u n yma n to p te i a pi o d p st y r x a ai HA( YS ) o p s n s e t + Z )cm o —
摘 要 采 用 磁 控 溅 射 方 法 在 钛 舍 金 ( 6 4 基 体 上 制 备 了 HA( Y Z 复 合 涂 层 。利 用 X 射 线 衍 射 仪 Ti A1V) + S) ( Ⅺ ) 分析涂层 的物相 组成 , 扫描 电镜 ( E 观 察涂层的表面形貌 , s M) 原子力显微镜( M) AF 分析涂 层的生 长状 况 , 划痕

射频磁控溅射法制备羟基磷灰石/β-磷酸三钙生物涂层

射频磁控溅射法制备羟基磷灰石/β-磷酸三钙生物涂层

7 0 4 e t gC n e f r e i a E up e t o h a x P o i c, ' ,7 0 6 . 1 0 82 T s n i e t o M d c l q im n s fS a i r vn e xi r n n a 10 1
[ sat O jci H /一C ut i rew r eae o dr tlryH /一 C i— mp se O Abt c r ] bet e A IT P pt r gt gt ee rp d y w e aug. A IT Pb c oi — v 3 s en a p r bp me l  ̄ oo tC
化程 度 ,当涂 层 成分 为 5 w%H / 0 t 3 C 0 t A 5 w %1T P时其 细 胞相 容 性最 好 。 结 论 一
生物 涂层 , 过 H 通 A与 pT P的复合 来控 制材 料 的 降解速 度 , 它 的降解 速 度与 周 围骨组 织 的生长 速度 相 匹配 , —C 使 使 植入 体具 有 良好 的 生物 降解性 、 生物 活性 和 力学 性 能 。
(i IV 基 体上 制备 H /一C T6 4 ) A A 1T P生物 涂 层 。 方法 3 生物 降解 性 及相 容性 的关系 。 结果 利 用 X D 研究 了复合 涂层 的 晶化程 度 , 论 了涂层 成 分与 R 讨 在 钛合 金基 体上 制备 H /.C A BT P H /.C A pT P生物 涂层 为 非 晶态 , 7 0 3 经 0  ̄ h大气 处理 可显 著提 高涂 层 的晶 C,
XR D.Reain b t e id ga aina dbo o aiit t o t gc mp n n r sac e . sl I lt s ewe nbo e rd t n ic mp t lywi c ai o o e t er e h d Reut HA/. o o bi h n we e r s  ̄

射频磁控溅射镀膜过程及机制(硕士论文草稿,有摘抄有实验有推断不保证正确)

射频磁控溅射镀膜过程及机制(硕士论文草稿,有摘抄有实验有推断不保证正确)

2.1 薄膜的制备方法溅射镀膜磁控溅射溅射过程迁移过程成膜过程溅射镀膜气相条件下沉积薄膜有两种主要的方式:物理气相沉积(Physical Vapor Deposition, PVD)和化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD). 气相沉积是在气相环境中,采用不同的方式(如蒸发或溅射),把源材料上的原子或分子转变为气相,再沉积到衬底上。

这个过程一般要在真空室内进行,以便于控制气相的成分,而且由于过程中,源材料要转变为气相再沉积,所以需要真空以减少大气对源材料的污染。

气相沉积的两种主要方式是蒸发和溅射,其本质区别是将源材料转变为气相的手段不同。

蒸发是采用对源材料的原子或分子提供热能,使其逸出;溅射则是采用外来的高速离子,轰击源材料,使源材料的原子或分子获得大量的动能而溅射出来。

本论文中样品采用中科院沈阳科学仪器厂JGP350型磁控溅射镀膜机制备,真空抽气系统由机械泵(前级泵)和分子泵(主泵)组成,极限真空度可达2.0×10-4Pa。

溅射系统配有三个立式靶,其中两个接射频阴极(RF),另一个接直流阴极(DC)。

RF的溅射功率可在0~200W之间调节,直流电源电压为0~2000V。

中间样品控制架上有3个样品夹具,样品控制架可通过旋转来选择所要溅射的靶。

其中一个样品位的后面有加热电阻丝,可对该位置上的衬底加热,使得衬底温度在室温与400℃之间可调。

靶和衬底间距为5cm。

由于靶材CdTe和ZnTe陶瓷靶的电导率较低,所以采用射频溅射模式。

工作气体为氩气。

磁控溅射所用靶材是纯度为99.999%的ZnTe和CdTe化合物陶瓷靶,靶材直径为100mm、厚6mm。

沉积薄膜用的衬底均为普通玻璃,衬底厚1mm,长宽为2.5×6cm。

射频溅射时,采用高频射频电源(13.56MHz),分别将靶材和真空室的其他部分耦合在电源的两极,衬底处于靶材对应的位置,与靶材间距为5cm,射频磁控溅射时放电的过程(工作气体为Ar气):1)无光放电打开射频电源及电流显示器,即会有十毫安以下以下的电流显示。

射频磁控溅射含氟羟基磷灰石涂层的研究

射频磁控溅射含氟羟基磷灰石涂层的研究

射频磁控溅射含氟羟基磷灰石涂层的研究
盛敏;赵康;井晓天
【期刊名称】《材料科学与工程学报》
【年(卷),期】2006(024)003
【摘要】本文采用射频磁控溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)基体上制备出含氟羟基磷灰石(FHA)生物涂层,探讨该涂层组织结构,不同氟含量和温度对涂层晶化程度的影响.利用扫描电镜(SEM)观察FHA生物涂层的表面形貌,采用X射线衍射仪(XRD)分析涂层相结构,利用能量分散谱仪(EDS)分析涂层的Ca/P比.结果表明,随着氟含量的增加可大大提高涂层的晶化程度,制备的FHA涂层致密、均匀.700℃晶化处理的涂层结晶度较高.
【总页数】4页(P440-442,447)
【作者】盛敏;赵康;井晓天
【作者单位】西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048;西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048;西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048
【正文语种】中文
【中图分类】TB39
【相关文献】
1.磁控溅射法在生物材料表面制备羟基磷灰石涂层的研究现状 [J], 寇生中;程艳玲;郭燕
2.含氟羟基磷灰石涂层体外细胞相容性研究 [J], 赵彬;Sam Zhang;翁文剑;王慧明;苗顺东;程逵;阮敏;杜丕一;沈鸽;韩高荣
3.含氟羟基磷灰石涂层对正畸微种植体骨结合及周围炎的影响 [J], 丁元圣;赵玥;郭睿;曾娟;赵刚
4.射频磁控溅射法制备的羟基磷灰石涂层体外细菌黏附实验 [J], 陈伟辉;LIU Yong-xing;YANG Yun-zhi;欧阳奇明;ONG Joo L
5.含氟羟基磷灰石涂层在正畸微种植中的应用 [J], 贡晶觉
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鸡蛋豆奶液体饮料

鸡蛋豆奶液体饮料

鸡蛋豆奶液体饮料本发明涉及一种食品领域中的鸡蛋豆奶液体饮料,它使用常规的饮料制备方法制备而成,其特征在于豆奶与脱除胆固醇的鸡蛋复合,并添加了碳酸钙、、维生素C、蔗糖、柠檬酸、乳酸、单甘酯、双维生素A、维生素D、维生素B12歧杆菌等成分。

由于本发明中鸡蛋无胆固醇,又添加了双歧杆菌,习惯于大众化日常需要,具有营养价值全面,保健功能强的优点。

界面结合强度的远紫外激光划痕测量方法及装置本发明涉及激光检测与材料性能检测技术领域,其以连续加载的脉冲远紫外激光束通过入射激光束光路系统直接加载于试件的薄膜表面,通过光离解、光致变价、形成晶格缺陷、等离子化等作用实现对材料的剥蚀加工,对有些材料,光子甚至可直接打破分子或者晶体之间的结合键,使薄膜材料产生剥落。

同时,进给系统使试件作进给运动,激光束在薄膜表面形成深度逐步增加的划痕,直至膜-基体界面破坏,用膜基界面破坏时的激光束能量经一定数学模型处理后来表征膜基体界面的结合强度。

适用于各类硬质工具膜、装饰膜系、装饰功能膜、DLC 薄膜、有机高分子材料、复合材料与其它类型的界面结合强度的测定。

直喷式柴油机预混合燃烧方法与装置一种直喷式柴油机预混合燃烧方法与装置能够实现操纵着火定时与燃烧速有害排放,同时提高柴油机率的预混合燃烧过程,降低燃烧产物中的碳烟与NOx燃烧效率。

本发明方法为利用高压喷油器的喷射油束与燃烧室表面的合理碰撞,形成燃油与空气的多种混合方式,显著提高油气混合速率,实现直喷式柴油机的预混合燃烧。

其在燃烧室中设有环形柱体,环形柱体外侧为外部环形燃烧室,内侧为中心燃烧室。

喷油器的喷油嘴开有多个喷油孔,喷油嘴的中心线与燃烧室中心线重合,喷油孔轴线延长线与喷油嘴中心线的夹角为60°- 75°。

环形柱体的横截面为圆弧形截面,环形柱体的高度为整个燃烧室高度的2/3 - 3/4。

一类多自由度并联机构组合弹性减振装置本发明涉及减振装置,特指一种具有多维减振的装置,可用于多维减振、防振、隔振系统中,其由多自由度并联机构加组合弹簧构成,并联机构有平面型与空间型,组合弹簧的结构由弹簧及阻尼系统构成,其数量由并联机构的自由度确定,主负荷方向(即上下方向)配以永久磁钢,用于承受上、下方向的要紧负载,且进一步减轻上下方向的振动,能有效地实现多个自由度的减振,无需多层结构,使整体结构简单,工作可靠。

钛合金Ti6Al4V表面钛酸锶生物薄膜的水热合成

钛合金Ti6Al4V表面钛酸锶生物薄膜的水热合成

钛合金Ti6Al4V表面钛酸锶生物薄膜的水热合成孙嘉懋;付涛;张耀仁【摘要】采用氢氧化钠和硝酸锶混合溶液对Ti6Al4V合金进行水热处理,温度180℃,时间1、3和6 h。

X射线衍射、扫描电镜、电子能谱和X射线光电子能谱分析表明,水热处理后钛合金表面形成了钛酸锶的纳米颗粒薄膜,颗粒尺寸80~230 nm,薄膜中含有极少量铝和钒元素。

在无钙Hank’s平衡盐液中的动电位极化和电化学阻抗实验表明,与抛光试样相比,水热处理3h试样的耐蚀性大幅提高。

显微硬度压入实验表明,钛酸锶薄膜具有良好的附着性和内聚力。

水热处理制备钛酸锶薄膜的方法可用于钛合金Ti6Al4V骨科植入体的表面改性。

%Ti6Al4V alloy was hydrothermally treated in the mixture solution of NaOH and Sr(NO3)2 at 180 ℃for 1,3 and 6 h.X-ray diffraction,scanning electron microscopy,energy dispersive of x-ray and x-ray photoelectron spectroscopy analyses showed that films consisting of SrTiO3 nanoparticles (size 80~230 nm)were formed on Ti6Al4V alloy after the hydrothermal treatments,and a small amount of Al and V existed in the films.Potentiodynamic polarization and electrochemical impedance spectroscopy tests in a Ca-free Hank’s balanced salt solution demonstrated that the hydrothermally treated sample (3 h)had much better corrosion resistance than the polished one.Micro-hardness indentation test showed that the SrTiO3 film had good adhesion and cohesion strength.The hy-drothermal method to synthesize SrTiO3 films has the potential application in surface modification of Ti6Al4V orthopedic implants.【期刊名称】《生物医学工程研究》【年(卷),期】2016(035)004【总页数】5页(P245-249)【关键词】钛合金;水热;钛酸锶;薄膜;骨质疏松;腐蚀;附着性【作者】孙嘉懋;付涛;张耀仁【作者单位】西安交通大学生命科学与技术学院,陕西西安 710049;西安交通大学生命科学与技术学院,陕西西安 710049;西安交通大学生命科学与技术学院,陕西西安 710049【正文语种】中文【中图分类】R318.081 引言骨质疏松症是一种高发病率的老年性疾病。

射频磁控溅射法制备ZnOAl2O3薄膜及其界面特性研究(精)

射频磁控溅射法制备ZnOAl2O3薄膜及其界面特性研究(精)

射频磁控溅射法制备ZnO/Al2O3薄膜及其界面特性研究摘要:近些年来,由于ZnO薄膜优异的性能,吸引着越来越多的人对其进行研究。

人们尝试利用不同的方法制备ZnO薄膜,并研究了不同的实验参数对ZnO薄膜的生长和特性的影响。

本文主要介绍了射频磁控溅射法制备出的ZnO/Al2O3薄膜的一些重要特性及外界条件对薄膜的影响,重点介绍了在Al2O3(0001)表面ZnO薄膜的成核及生长机制,并与Si (100)、(111)衬底上ZnO薄膜的生长机制作比照。

讨论了不同条件下界面的特性对ZnO 薄膜生长的影响。

关键词:ZnO 界面特性磁控溅射沉积时间引言ZnO是一种新型的II-VI族宽禁带化合物半导体材料,室温下的带隙宽度为3.37eV【1】,原料易得廉价,而且具有更高的熔点和激子束缚能以及良好的机电耦合性和较低的电子诱生缺陷。

此外,ZnO薄膜的外延生长温度较低,有利于降低设备成本,抑制固相外扩散,提高薄膜质量,也易于实现掺杂。

ZnO薄膜所具有的这些优异特性,使其在表面声波器件、太阳能电池等诸多领域得到了广泛应用。

随着ZnO泵浦紫外受激辐射的获得和p型掺杂的实现,ZnO薄膜作为一种新型的光电材料,在紫外探测器、LED等领域也有着巨大的发展潜力。

此外,ZnO薄膜在太阳能电池、表面声波器件、气敏元件、压敏器件等领域的应用也很广泛。

然而,ZnO薄膜虽然在多个领域应用广泛,但是其界面特性依然是影响其制作的半导体元件的性能的重要因素。

目前对于界面的研究和优化的措施还相对较少。

对于产生不同界面特性的影响因素,不同的人也有着不同的看法,赵朝阳,李锐鹏【2】等人认为由于ZnO 外延膜和衬底之间有较大的晶格失配和热失配,会导致ZnO薄膜的晶格畸变,从而影响它的光学和电学性能。

所以,了解ZnO 外延膜与衬底界面处的结构,是十分必要的。

本文主要介绍了射频磁控溅射法制备出的ZnO/Al2O3薄膜的一些重要特性,讨论了不同条件下界面的特性对ZnO薄膜生长的影响。

磁控溅射时长对复合羟基磷灰石涂层性能的影响

磁控溅射时长对复合羟基磷灰石涂层性能的影响

磁控溅射时长对复合羟基磷灰石涂层性能的影响
张明权;吴兵;唐正强;李屹
【期刊名称】《热加工工艺》
【年(卷),期】2024(53)4
【摘要】采用射频磁控溅射技术在Ti-6Al-4V基体沉积复合羟基磷灰石(HA,Ca_(10)(PO_(4))_(6)(OH)_(2))涂层,研究掺杂Ti和TiN在不同HA溅射时长下对HA复合涂层微观结构、摩擦学性能、钙磷比(Ca/P)及电化学的影响。

结果表明:复合HA涂层随着HA溅射时长增加,涂层表面的半球形颗粒状结晶体更明显,对细胞附着生长及生物相容性有重要影响;复合涂层主要由HA相、Ti相和TiN相组成,溅射时间越长的复合HA涂层物相更接近标准值,且涂层Ca/P随着溅射时间的增加逐渐接近标准值;摩擦系数随溅射时长的增加逐渐趋于稳定,涂层的摩擦磨损情况随溅射时间增加而逐渐减小;溅射时长最长的涂层获得了最低的腐蚀电流密度和最大的腐蚀电位。

【总页数】5页(P22-26)
【作者】张明权;吴兵;唐正强;李屹
【作者单位】贵州大学机械工程学院
【正文语种】中文
【中图分类】TG174.4
【相关文献】
1.钛合金表面磁控溅射制备羟基磷灰石/氧化钇稳定氧化锆复合涂层
2.磁控溅射法制备的羟基磷灰石—氧化锆涂层的力学性能(英文)
3.掺锌羟基磷灰石-沸石/聚己内酯复合材料作为镁基体涂层提高其体外腐蚀和抗菌性能
4.氧化铝基体上羟基磷灰石/氟羟基磷灰石双层涂层的制备及性能
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备H A生物薄膜材料的研 究报道 [j 8 磁控溅射制备的 H 】 A涂具有以下优点:膜层的基体结
合 强 度 高 、基 体 温 升 较 低 、可 以 在 大 面 积 表 面 制 备 得 到 均 匀 的 膜 层 、膜 层 成分 易 于 控 制 、
可 以制 备 不 同成 分 和 配 比的 复 合 多 层 膜 、易 于 制 备 高 熔 点 物 质 的 薄 膜 、工 业 规 模 化 生 产 程
S M 、 F R 和 AF 等 对 溅 射 涂 层 的 相 组 成 、微 观 形 貌 和 界 面 结 合 进 行 了 研 究 ,并 以 模 拟 E TI M
体液试 验探 讨了涂 层的 生物 活性 .实验结 果表 明 :磁 控溅 射 的复 合涂 层 呈非 晶态 ,经 过退 火处 理 ,可 以使其转 化为 晶态 ; 复合 涂层 的微观 表面 凹凸不平 ,并呈 现 网状结构和 较多 的孔 隙,其孔 隙直 径约 为 05 .# 孔 隙 面积 占涂层表 面 积的 3 %一4 %; . 0 m, —2 0 0 HA( r + 03/ 6 4 复 +z 02 Y2 )TiAlV 合涂 层 的界面 结合 强度 随 ( r +Y2 ) Z O2 03 复合 颗粒 含量 的增大 和 溅射 功率 的提 高而增 强 ,最 高 可达 5 .MP .复合涂 层在模拟 体液 中浸 泡一段 时间后 ,表 面覆 盖一层 新生 物质 一 含有 cO 一 96 a 的类骨 磷灰 石,其 晶粒非 常小 ,它与 自然 骨 中无 机相 的结 构成分 相 似 ,表 明复 合涂 层具有 良好
骨 外科 医生 和材 料 工 作 者 非常 关 注 的 问题 L. 6 当前 解 决 这 一 问题 的途 径 有 二个 ;一 是 在 HA 1
涂 层 中 添 加 氧化 物 (r , i , 1 Z O2 T O2 A 2 Oa等) 备 复合 涂 层 ;其 二 是 开 发 新 的 制 备 技 术 . 由于 制
维普资讯
第 2 1卷 第 5期
20 0 6年 9月
无 机 材 料 学 报
Jo nalofI ur nor ani a e i l g c M t ras
V o .21.N O. 5 1
S p. 2 0 e ,06
文章编号: 0 03 4 2 0 )513 —7 1 0 —2 X(0 60—2 70
合 涂 层 ,并 应用 x射 线 衍 射仪 ( R 研 究 复合 涂 层 的 相组成 ,用 扫 描 电子 显微 镜 (E 和 X D) S M) 原子 力 显微 镜 ( M) AF 观察 表 面微 观 形 貌 ,采 用 AS TM .3 C 6 3方 法 测 定涂 层 的结 合 强度 ,并 开 展模拟 体 液 (B ) 验 研 究涂 层 的 生 物 活性 . SF试
Z O2 瓷 的机 械 强 度较 高 ,并 且 具 有 良好 的 生物 相 容 性 ,可 与 HA 复合 制 备 HA ZO2 合 r 陶 /r 复 涂 层 ,是 改 善 涂 层 与 基 体 结 合 的 一 种 较 好 方 法 [. 年 来 国 内 外 有 较 多 关于 磁 控 溅 射 法 制 7 近 】
法 、激光 熔 覆 法 、电泳 . 积 法 、溶胶 一 胶 法 和 烧 结法 _5 但 是 这 些方 法 制 备 的 HA涂 层 沉 凝 3】 1. 与 T .A .V基 体 间 的结 合 强度 低 ,导 致 在 植入 人 体 内一 段 时 间后 发 生涂 层 剥 落 ,这 已成 为 i 1 6 4
射 频磁 控 溅 射制 备 HA( r +Y2 3/ 6 4 +Z O2 0 )TiA1V 复 合 生 物 活 性 涂 层
赵 玉 涛 ,程 晓 农 ,戴 起 勋 ,林 东 洋 ,李 素 敏
( 苏 大 学材 料 科 学 与 工 程 学 院 ,镇 江 2 2 1 ) 江 10 3
摘 要:采用射频磁控溅 射法制备 了 HA( r + 03/ 6 lV生物复合 涂层. +Z O2 Y2 )TiA 4 借助 于 XRD、
的 生 物 活性 .
关 键 词: H +Z O2 A( r +Y2 ) 03 复合涂 层 ;射 频磁 控溅 射 ;结 合强 度;生物 活性
中图分 类号 : TQ1 4 7 文 献标 识码 : A
1 引言
在 医用 钛 合 金 ( i A .V) 体 上 沉 积 羟 基 磷 灰石 ( T- 1 6 4 基 HA) 层 ,可 综 合 该 合 金 良好 的 力 涂 学性 能 与 羟 基磷 灰 石 ( )良好 的 生物 活 性 ,从 而 成 为 目前人 工 骨 种 植体 的研 究热 点 之 一 , HA 并 作 为 负 重 骨 替 代 材 料 得 以 临 床 应 用 [2 1] I.目前制 备 H 涂 层 的 方 法 主 要 有 :等 离 子 喷 涂 A
度 高等 [. 9 】
收 稿 日期 : 2 0 1— 1 收 到 修 改 稿 日期 :2 0 — 1 2 05 03, 0 60— 6
基金项 且: 江苏 省 自然科学 基金 ( K2 0 0 1; B 0 3 5 ) 江苏 省复合 材料工程 技术研 究 中心研发 项 目 ( M2 0 0 4 B 0 3 1)
作 者简介 : 赵玉涛 (9 4 , 1 6 一) 男,博 士,教 授. E mal h o t j. uc - i :z a y  ̄u s d .n e
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无 机 材 料 学 报
本文 结 合 磁 控溅 射 技 术 和 涂 层 复合 技术 制 备 了 HA +z 02 2 3/ iA 4 复合 材 料 复 ( r +Y 0 )T 6 lV
2 实 验
HA 粉 体 是 以 ( H 0)P C 3 3 O4和 C ( 32 H2 为 原 料 采 用 溶 胶 .凝 胶 法 自制 的 亚 微 米 aNO )・ 0 4
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