光栅式大应变传感器结构设计与特性研究

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的测位移原理，采用砷化镓近红外固体发光二极管作为光源，以光电二极管阵列为传感器的光电探测器。在此基础上，将光电探测器接收到的莫尔信号通过信号处理系统转换为数字脉冲的输出。实验测试结果表明，所制备的光栅式大应变传感器具有良好的线性特性、重复性及较高的灵敏度，其中应变灵敏度为６２０ｅ～，该传感器能探测到的最小应变为０．００４ｅ。
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ＤｕａｎＣｈｅｎｇｌｉＪｉａｎｇＹａｄｏｎｇＷｅｉＨｏｎｇｙａｎＨｅＹｉｎｇｆｅｉＬｉＱｉｄｏｎｇ。
（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＣｈｉｎａ，Ｃｈｅｎｇｄｕ６１００５４，
第２７卷第６期
・
电子测量与仪器学报
ＪｏＵＲＮＡＬＯＦＥＬＥＣＴＲｏＮＩＣＭＥＡｓＵＲＥＭＥＮＴＡＮＤｌＮｓＴＲＵＭＥＮＴ
ｆ．２７Ｎｏ．６
５０４・
２０１３年６月
Ｃｈｉｎａ；２．ＣｈｉｎａＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇＧｒｏｕｐＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，ｔｈｅ４９ｔｈＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００６，Ｃｈｉｎａ）
这一研究有助于开发高灵敏、低成本的新型大应变传感器。
关键词：大应变传感器；光栅；莫尔条纹
中图分类号：ＴＰ２１２文献标识码：Ａ国家标准学科分类代码：４６０．４０２０
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ＤＯＩ：１０．３７２４／ＳＰ．Ｊ．１１８７．２０１３．００５０４
光栅式大应变传感器结构设计与特性研究
段成丽蒋亚东Biblioteka 魏鸿雁何应飞李起栋
（１．电子科技大学光电信息学院摘成都６１００５４；２．中国电子科技集团第４９研究所哈尔滨１５０００６）要：为实现Ｏ一０．２ｓ的大应变测量，设计并制备了一种光栅式大应变传感器。该传感器的结构设计基于光栅莫尔条纹