2.2认识晶体硅太阳能电池制造的设备ppt

2015-6-14
二、认识管式PECVD镀减反膜设备
加热装置
1－CMS模块 2－温差电耦 3－电源连接板 4－温度测量模组
2015-6-14
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二、认识管式PECVD镀减反膜设备 特气柜
Stack 4
N2 MFC NH3 MFC SiH4 MFC
Stack 3
Stack 2
Stack 1
N2 阀 2015-6-14
指示灯
桨 炉 门 操作平台 机械手 小 推 车
2015-6-14
二、认识管式PECVD镀减反膜设备
传送机构
LIFT
桨
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二、认识管式PECVD镀减反膜设备
石墨舟：用于管式PECVD，主要由石墨片及陶瓷棒构成，陶瓷棒起到 绝缘作用，石墨片用于导电形成相应的反应磁场；舟内有卡点，每片为三 个点，用于固定硅片。
2.2认识晶体硅太阳能电池制造的设备2
一、认识湿法刻蚀设备
1、实物及结构 a、实物 湿法刻蚀设备一般采用的 是德国RENA Inoxside 后清洗设 备。
一、认识湿法刻蚀设备
1、实物及结构 b、结构 RENA Inoxside 后清洗设备主 体分为7个槽体， 槽体根据功能 不同分为入料段、湿法刻蚀段、 水洗段、碱洗段、水洗段、酸 洗段、溢流水洗段、吹干槽。 所有槽体的功能控制在操作电 脑中完成。其他还有滚轮、排 风系统、自动给水补液系统、 循环系统、温度控制系统。
NH3 阀
SiH4 阀
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二、认识管式PECVD镀减反膜设备
真空泵
purge控制面板
真空管路
真空泵Biblioteka 2015-6-1412
二、认识管式PECVD镀减反膜设备
2、设备维护及保养 a、保持工艺管内真空状态、不能残留工艺气体、定期进行清洗 b、经常更换机械泵油 c、定期全面检查 d、环境温度保持20度一下 e、保持排风管道畅通
2015-6-14
谢谢观赏
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2015-6-14
一、认识湿法刻蚀设备
1、实物及结构 c、产品特点 有效减少化学药品使用量 高扩展性模块化制程线 拥有完善的过程监控系统和可 视化操作界面 优化流程，降低人员劳动强度 通过高可靠进程降低碎片率 自动补充耗料实现稳定过程控 制
2015-6-14
一、认识湿法刻蚀设备
2、设备维护及保养 主要为各槽体及滚轮碎片的清理和屏幕清洁。
2015-6-14
二、认识管式PECVD镀减反膜设备
1、实物及结构 管式PECVD镀减反膜设备主 要由工艺管及电阻加热炉、推 舟净化系统、气炉系统、电气 控制系统、计算机控制系统、 真空控制系统6大部分组成。
2015-6-14
二、认识管式PECVD镀减反膜设备