掩膜版清洁装置及方法[发明专利]

专利名称：掩膜版清洁装置及方法
专利类型：发明专利
发明人：刘苏伟,王善鹤,杨硕,袁亚鸿,张琪,张孟湜,张杰,古春笑
申请号：CN201910361336.3
申请日：20190430
公开号：CN110000142A
公开日：
20190712
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明实施例涉及显示技术领域，公开了一种掩膜版清洁装置及方法，所述掩膜版清洁装置包括：用于容纳掩膜版的腔室以及喷洒结构，所述喷洒结构用于向所述掩膜版喷洒雾状清洁液。

本发明提供的掩膜版清洁装置及方法能够在将掩膜版清洗干净的同时，不损伤掩膜版。

申请人：云谷(固安)科技有限公司
地址：065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
国籍：CN
代理机构：上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：成丽杰
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