基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器(英文)

基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器(英文)
郝一龙;徐佳嘉;张国炳;武国英;闫桂珍
【期刊名称】《半导体学报：英文版》
【年(卷),期】2006(27)4
【摘要】研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器.该传感器在敏感环境中,可同时获得敏感膜电导率和质量变化,测量被测气体分子的荷质比,具有高灵敏度和高选择性.根据这一原理,针对气体传感器的需求,设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构,进行了仿真优化,并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件,激光频率仪测量验证了该微型谐振梁的谐振频率.
【总页数】4页(P658-661)
【关键词】MEMS;气体传感器;硅悬臂梁谐振器;荷质比;牺牲层工艺
【作者】郝一龙;徐佳嘉;张国炳;武国英;闫桂珍
【作者单位】北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室
【正文语种】中文
【中图分类】TN389
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