(完整版)大宗气体特气系统介绍

气ห้องสมุดไป่ตู้输送系统
尾气处理
Safety Design & System
Designed with Anti-corrosion Material
Easy
Operation
and
Maintenance
Low Running Cost
High Efficiency
PLC Controller & Touch Panel
Panel PC
Hub
Hub
N700α
N700α
N700α
FWPUREOESMOGOEUNBRRRPAESKTTLLMMOGOGUNRRtPPAESETTWehiLntWeILkNRrWInLKNERIKNERKE FWPUREOESMOGOEUNBRRRAPSKETTLLMMOGOGUNRRtSEPPAETTWehiLntWeILkNRrWInLNKERIKNERKE FWPUREOESMOGOEUNBRRRPAESKTTLLMMOGOGUNRRtPPAESETTWehiLntWeILkNRrWInLNKERINKERKE
TRAINING FOR GAS
2011.5.18
Content
Section 1 Section 2 Section 3 Section 4 Section 5 Section 6 Section 7
气体的类型 气体供应方式 气体设备 尾气处理 控制系统 大众气体输送系统 压缩空气(CDA)
气体类型
气体输送系统
• 特殊气体系统
气体输送系统
• 特殊气体系统-流程图
气体输送系统
• 特殊气体集中输送系统(BSGS)
气瓶柜
•安全设计 (外壳) •不锈钢 316L VIM/VAR •选用材料符合特殊气体需要 •100% 内表面电子抛光 •无颗粒 •泄漏率: 1 x 10 – 10 Atm-cc/sec (He) •PLC 控制 & 触摸瓶 •操作 和 维护方便 •全自动循环工艺 •自动工艺钢瓶切换 •安全选项 & 联动装置 •显示器 : EL Mono or TFT Color
VMB P&ID
ⓐ : Process In ⓑ : Process Out ⓒ : Process Out ⓓ : Process Out ⓔ : Process Out ⓕ : Process Out ⓖ : Process Out ⓗ : Process Out ⓘ : Process Out ⓙ : Purge N2 In ⓚ : Gas In
气瓶柜 流程图
• Gas Cabinet Flow Diagram
A : PROCESS B : PURGE N2 C : GENERAL N2 D : LEAK CHECK He E : EXHAUST
气体分流箱(VMB)
•在不用停止供气的条件下增加使用点 •降通过减少气瓶柜的数量来降低费用 •系统和安全选项类似于气瓶柜 •设计简洁 •1 X 8 输送
–在常压下一般沸点低于-180℃
• 例如
–液氧
(-182.9℃)
–液氩
Ethernet Transceiver
Gas Cabinet VMB
Gas Cabinet VMB
Gas Cabinet VMB
Monitoring System
• GMS
大众气体
• 定义:在空气中可以提取的气体,如氮 气,氧气,氩气,氦气等.
• 储藏方式:低温储罐,高压钢瓶
低温气体
• 低温液体
Full Auto Cycle Process
Safety Option & Interlocks
Applicable Monitoring System
▣ Dry Scrubber
Touc h scree n
▣ Thermal Wet Scrubber ▣ Plasma Type ▣ POU Scrubber
12” TFT Color Display
Actual Pressure Gas Flow Diagram
Monitoring System
• GMS Concept Flow
Server Full Point I/O
Server Full Point I/O
Server Full Point I/O
1,按照气体的使用量分类: (1),大宗气体: (2),特殊气体:
2,按照气体的性质分类: (1),惰性性气体 (2),助燃性气体 (3),易燃性气体 (4),腐蚀性气体 (5),氧化性气体
气体类型
3,按照气体的纯度分类: (1),一般气体: (2),高纯气体:
4,按照气体常温条件下的状态分类: (1),气态气体 (2),液态气体 (3),高压气体 (4),低压气体
Flow controlle
r
(N2, Air water)
Inlet port
(4 ports standard)
Plasma chamber
Middle flange
Water chamber
Controller of Gas and Chemical Supply System
Signal Tower Manometer
气体供应方式
1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 现场制造气体
2: Bundle supply: H2,He 集装格供应气体
3: Lorry tank supply: Ar,O2 液体槽车供应气体
4: Gas cylinder supply: Special Gas 钢瓶供应气体
EMG
▪ Free Volt Main Power ▪ PLC Process ▪ Touch Panel Operation ▪ Display : EL Mono or TFT Color ▪ COM : RS-232C 422, 485, Data Highway ▪ Box Size W796 x D330 x H315
气体供应方式
Tank Lorry
液态气体储罐
N2 Plant
Outside Of Building
Inside Of Building
流量计
气化器r 调压器
过滤器 (0.1m)
过滤器 (0.05m)
过滤器 0.02m, 0.01m
气体纯化器
无尘室
Purity Gas General Gas