关于低辐射镀膜玻璃掉渣问题(针孔缺陷)预防措施的研究

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产产品的时间有了显著地延长，低辐射镀膜玻璃的良品率有了显著的提高。
关键词：低辐射镀膜玻璃，磁控溅射，针孔缺陷
Ａｂｓｔｒａｃｔ
Ｔｈｉｓｐａｐｅｒｄｉｒｅｃｔｓｏｎｖａｃｕｕｍｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｄｒｅｇｓｉｎｅｖｉｔａｂｌｅｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ（ｐｉｎｈｏｌｅｄｅｆｅｃｔｓ），ｂａｓｅｄｏｎｐｒｏｂａｂｉｌｉｔｙ
了一种预防掉渣频发提高产品质量的方案。
１缺陷原因
掉渣缺陷也是针孑Ｌ及斑点缺陷的一种，从镀膜玻璃透射方
向看，相对膜层整体可视透明部分或全部没有附着膜层的点状缺陷称为针孔；从镀膜玻璃的透射方向看，相对膜层整体色泽较
２降低掉渣率的理论依据
经统计分析发现，本单位生产的产品主要有３３００ｍｍ
２１３４ｍｍ，３３００ｍｍ２４４０ｍｍ，３６６０ｍｍ￥２１３４ｍｍ，３６６０ｍｍ￥
２４４０ｍｍ四个尺寸。由于冯・阿登纳设备的辊台尺寸为３３００ｍｍ６０００ｍｍ，最大能够生产３３００ｍｍ６０００ｍｍ的产品，所以对于３３００２１３４以及３３００２４４０这两种尺寸或者宽度为３３００ｍｍ的所有产品可以双片横向铺满辊台进入镀膜舱室，这
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｌｏｗｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙｃｏａｔｅｄｇｌａｓｓ，ｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ，ｐｉｎｈｏｌｅｄｅｆｅｃｔｓ
低辐射镀膜玻璃又称为Ｌｏｗ— Ｅ玻璃（Ｌｏｗｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙｇｌａｓｓ），在实际的生产过程中，由于工艺控制，生产周期，以及设备不稳定等原因将会导致最终产品出现各种各样的质量缺陷，例如针孔和斑点。其中掉渣问题是针孑Ｌ和斑点缺陷的一种，本文系统分析了掉渣缺陷造成的原因，并针对掉渣原因的形成提出
张晓艳王建张永兵张羽（河南省安彩高科股份有限公司浮法事业部，河南安阳４５５０００）
摘要
针对离线真空磁控溅射法中不可避免的掉渣现象（即针孔缺陷问题），依据概率统计法，提出调整玻璃校正位置改变玻璃基片在镀膜舱室的不同溅射位置的方法，延缓掉渣频发的时间，降低掉渣缺陷发生的概率，最终达到提高产品的质量和良品率的目的。将此种方法通过生产实践试验与未采用此方法前数据做比较，结果表明掉渣的频率有了明显降低，正常生
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关于低辐射镀膜玻璃掉渣问题（针孔缺陷）预防措施的研究
关于低辐射镀膜玻璃掉渣问题（针孔缺陷）预防措施的研究
ＳｐｕｔｔｅｒｉｎｇＷａｓｔｅ（ＰｉｎｈｏｌｅＤｅｆｅｃｔｓ）ＰｒｏｂｌｅｍｏｆＬｏｗＥｍｉｓｓｉｖｉｔｙＣｏａｔｅｄＧｌａｓｓ
ｓｔａｔｉｓｔｉｃｓ，ａｎｄｐｒｏｐｏｓｅｓａｄｊｕｓｔｉｎｇｔｈｅｇｌａｓｓｃｏｒｒｅｐｕｔｔｅｒｃａｂｉｎｆｏｒｄｅｌａｙｉｎｇｔｈｅｔｉｍｅｏｆｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｗａｓｔｅｓ
ａｎｄｒｅｄｕｃｉｎｇｔｈｅｐｒｏｂａｂｉｌｉｔｙｏｆｔｈｅｐｉｎｈｏｌｅｄｅｆｅｃｔｓ．Ｆｉｎａｌｌｙ，ｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｉｍｐｒｏｖｅｓｔｈｅｐｒｏｄｕｃｔｑｕａｌｉｔｙａｎｄｐｒｏｄｕｃｔｙｉｅｌｄｐｅｒ — ｃｅｎｔａｇｅ．Ｃｏｍｐａｒｅｄｔｈｅｄａｔａｕｓｉｎｇｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｗｉｔｈｔｈｅｐｒｅｖｉｏｕｓｄａｔａｗｉｔｈｏｕｔｕｓｉｎｇｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄ．