洁净室的测试及验收标准

洁净室的测试及验收标准
洁净室的测试和验收标准旨在控制洁净室空气参数，以检查其是否符合给定的洁净度级别。

这项工作不仅在洁净室投产调试之后需要进行，而且在洁净室使用阶段也需要定期进行。

各种标准和建议（16）都详细规定了洁净室空气参数的测试和控制方法，这些方法已经成为广大科技界的共同财富。

洁净室内的空气参数需要根据其用途的不同进行控制，包括测试状态的确定、空气中粒子的浓度、气流的风速和单向性（对单向气流而言）、风量和换气次数、最终过滤器的整体性、空气温度和湿度、洁净室的密闭性以及洁净室表面的洁净度。

在确定实际洁净室的洁净度级别时，应对粒径≥阀值的粒
子进行统计，根据下表中的规定确定空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法。

粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度决
定了洁净室的洁净级别。

粒径（微米）ISO级别序数N 最常见值D 粒子
最大允许浓度Cn颗/m3
10 ISO 1级
100 ISO 2级
1000 ISO 3级
ISO 4级352 3520 29
ISO 5级237 2370
xxxxxxx ISO 6级
ISO 7级xxxxxxx
ISO 8级xxxxxxx
ISO 9级
需要注意的是，在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的，因此求不出精度很高的浓度。

洁净度级别的表示实例包括ISO 4级；静态；给定粒径为352微米（粒子浓度为352颗
/m3）和ISO 5级；静态；给定粒径为3520微米（粒子浓度为3520颗/m3）和29微米（粒子浓度为29颗/m3）。

当测试具体洁净室的洁净度级别时，只需要检测该级别给定粒子粒径的浓度，而不需要检测表中列出的所有粒径。

测定洁净室洁净度级别的方法包括：确认洁净室状态与给定的相符、确定给定粒径、洁净室取样点的数量和位置、每个
取样点的取样数量、对每种给定粒径的粒子进行统计、将取样数据填入粒子统计记录表、整理数据、对结果进行分析并确定级别符合要求。

在检测洁净室气流时，需要测量气流风速和均匀性，以及目视检查气流。

空气单向气流的风速是在距离风源150-
500mm处测得的，测试点数量应大于被测表面面积的平方根，但不得小于3.在评价气流的均匀性时，应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速，平面上各点处的风速相差不得超过20%-30%。

过滤器是洁净室的重要部分，应进行泄漏检查以控制其整体性。

制造商应在厂内对过滤器进行最大穿透粒径试验，并附上过滤器检测报告，现场不做检漏。

在洁净室内，温度的控制分为一般控制和特殊控制两种方法。

一般控制包括在通风空调系统投产-调试时、洁净室检测
的各个阶段和使用阶段进行控制。

规定工作席工作区高度处的温度，并必要时控制其他工作点的温度。