坩埚喷涂作业指导书

喷涂
2.1喷涂前的准备
2.1.1 喷涂前首先要准备好相应的氮化硅500克（用200目筛网过筛）和纯净
水2000毫升，配置成均匀的溶液。

2.1.2 将准备进行喷涂的坩埚进行预热，预热到60°C左右。

2.1.3 穿戴好连体服、眼罩、口罩等安全防护物品。

2.2喷涂具体操作
2.2.1 喷涂前首先要试枪，试枪的目的是检验氮化硅溶液是否达到均匀喷涂的
要求。

具体操作为将喷涂枪对准试枪板喷涂，看喷涂出来的氮化硅溶液
是否能够均匀喷涂在试枪板上，如果能够均匀喷涂则可进行坩埚喷涂，
如果不能则要找出原因。

2.2.2喷涂时枪头应当始终保持与坩埚壁垂直并且枪头与被喷图面保持垂直距
离在25—40cm，氮化硅通过喷枪喷射宽度为5—8cm。

2.2.3喷涂时首先应当喷涂坩埚底面，其操作为喷枪与底面垂直距离保持在
25—40cm对坩埚进行垂直平行的喷涂，以到达到喷涂均匀的目的。

当底面喷涂完毕后再以同样的喷涂方式对坩埚最底下的侧面以同样的方式进行喷涂。

在以同样的喷涂方法对坩埚的其它三个侧面进行喷涂。

2.2.3喷涂涂层需分次涂覆，喷涂完1 遍后需用压缩空气将坩埚内飘落的氮化
硅颗粒清除，特别是集中在底角处的富集氮化硅颗粒；喷涂完后要注意坩埚的温度是否达标，建议喷涂第一遍完后，在坩埚加热期间检查坩埚内部是否有异常缺陷，每喷涂2—4遍后用用探照灯检查有无裂痕、气泡、检查坩埚内壁是否有氮化硅颗粒粘着。

2.3喷涂完毕后的清理工作
2.3.1喷涂完毕后盖上盖子恒温30分钟然后关闭电源。

2.3.2检查有无裂痕、气泡，检查坩埚内壁是否有氮化硅颗粒粘着。

2.3.3用水纯水清洗搅拌器、喷枪及其它相关仪器。