一种基于带间级联结构的长波超晶格红外探测器[发明专利]

专利名称：一种基于带间级联结构的长波超晶格红外探测器专利类型：发明专利
发明人：陈建新,周易,田源,柴旭良,徐志成
申请号：CN201810349427.0
申请日：20180418
公开号：CN108417661A
公开日：
20180817
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种基于带间级联结构的长波超晶格红外探测器。

与传统的PIN器件结构相比，带间级联结构通过电子隧穿区和多量子阱弛豫区实现光生载流子的单方向输运，抑制了器件的产生复合电流、隧穿电流和侧壁漏电，从而大大提高该红外探测器的信噪比。

特别是在结构中采用了多组同周期的量子阱来实现窄禁带宽度下电子弛豫区的设计，实现了长波带间级联的载流子输运，可获得30％左右的量子效率。

因此本发明公开的结构利用InAs/GaSb/AlSb三种二元化合物形成不同周期厚度的超晶格和多量子阱材料，构成一种基于带间级联结构的长波超晶格红外探测器，降低器件的暗电流，获得高灵敏度和高探测率的长波器件。

申请人：中国科学院上海技术物理研究所
地址：200083 上海市虹口区玉田路500号
国籍：CN
代理机构：上海沪慧律师事务所
代理人：李秀兰
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