Fe3O4磁种絮凝处理集成电路研磨废水实验研究
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王 晓云 付 爱 民
（． １福建 工程学 院环境 与设备工 程系
摘 要
福州 ３０ ０ ； ２ 福建 宁德 核电有限公 司 ５０ ８ ．
福建 宁德 ３５０ ） ５２０
利用磁种 絮凝 作用处理研磨废水 ， 使废水 中的悬浮颗粒与合成的 Ｆ３４ ｅ 磁性 颗粒碰撞凝聚 ， ０ 针对操作条件探讨
其对处理效率的影响 。由实 验结果发现 ， 操作条件控 制在 ｐ Ｈ＝６左右 ， 其浊度去 除效率 可 以达到 ９ ％。同时 由于 Ｆ ４ ５ ｂｏ 为 磁性颗粒 ， Ｆ３ 一ｓｏ 相互 碰撞附着的颗粒凝 絮沉 降时加入 磁场 ， 当 ｅ ｌ２ 凝絮 产物除 了受 到重力作 用而 沉降外 ， 也受到磁 力的
ｉｈ ｇａｉ ｗｔ ｒｖｔ ，ａｓ ｔ ａ ｍｐ ｏｅｔｅｒｍｏ ａ ａｅｏ ｅｆｌｉｇｏ １ｄ ｅ，８ ｔ ａ ｌｒｅｙｒｄ ｃ ｙ ｌｏｉｃ ｎｉ ｒｖ ｈ ｅ ｖ ｒｔ ｆｕｂｔ ｉ ｈ ｈ ｌ ｙ ｇ ｅｉ ｒｅａｄｇｅ ｄｕ ｈ ａｌ ｆｓ ｇ ｃｆ ｎ ｕ ０ｉｃｎ ａｇ ｌ ｅｕ ｅ
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１２ 絮凝实验 ．
表 １ 研磨废水水质指标
将 自行制备 的 Ｆ ４ ０ 磁性 颗粒【 悬 浮液调整为 ２０ｍ ， 】 ０ Ｌ 并 以 １ ｏ Ｌ的 Ｎ Ｏ ｌ ｍ ／ ａ Ｈ或 １ｍ ｌＬ的 Ｈ １ 液调 整其 ｐ ｏ ／ Ｃ溶 Ｈ值 。 然后加入 １ Ｌ的废 水与 Ｆ １４ 匀 混 合 ， 需要 加入 不 同浓 ｅ０ 均 依
ＷＡＮＧ ａ ｙ ｎ Ｘｉｏ ｕ 。 Ｆ ｉ ． Ｕ Ａ ｍｉ ２
（ ． ｅｔ ｆＥ ｖ ｏｍｅｔ ｎ ｑｉ ｅｔ Ｆｊ ｎＵ ｉｒｉ ｅｍ ｌ ｙ Ｆｚｏ ５０８ １ Ｄｐ ．ｏ ｎｉ ｎ ｎ ｄＥｕｐ ｎ ， ｕｉ ｎｖ ｓｙｏ ｃ ｏｏ ｕｈｕ３０ ０ ） ｒ ａ ｍ ａ ｅ ｔ ｆＴ ｌ ｇ
作用 ， 提高浊度的去除率 ， 了污泥沉降速度 ， 加快 可大大减轻后 续处 理的负荷。
关键词 研磨废水 絮凝 Ｆ３ ４ 磁 场 ｅ０
Ｓ ｕ ｙ ｏ Ｃ ｎ ｕ ｔｉｌｌ ａ ｔ ｄ ｎ Ｉ Ｉ ｄ ｓｒａ ＇ ￣ ｏ
ｇ Ｗ ａ ｔ ｗａｅ ｅ ｔ ｎ ｙ Ｆ ３ ｇ ｅｉ ａ ｌ ｏ ｃ ｌｔｏ ｓｅ ｔ ｒＴｒ ａ ｍｅ ｔｂ ｅ ０４Ｍａ ｎ ｔ Ｐ ｒｉ Ｆｌｃ ｕ ａ ｉｎ ｃ ｄｅ
效率的影响。希望 能够针 对该 方法得 到一个 最佳 的处理 条
件及效率 。 １ 实 验 部 分
１ １ 实 验材料与设备 ．
撞凝 聚 ， 探讨在不 同的处理 条件下 ， ｐ 如 Ｈ值 、 分离磁 场强度 、
磁粉 回收再利用 等 ， 以浊 度的去除表 示对 水 中悬 浮微粒去 除
研磨废水 ３ ， 自某 集成 电路企业 ， ＯＬ 取 水质指标见表 １ 。
ｔ ｎ ． ｈ ｓ ｌ ｈ ｗ ｔ ｔ ｅ ｈ ｐ ｒ ｎ ｏ ｄｔ ｎ ｆ Ｈ ａ ａ ｏ ｔ ，ｔ ｃｍ ｖ ｅｏ ｔ ｂｄｔ ａ ｅｃ ５ ． ｉ ｓ Ｔ ｅｒ ｕｔ ｓｏ ｈ ｗ ｎｔ ｏ ａ ｇｃ ｎ ｉｏ ｓ ｐ ｔ ｂ ｕ ｈ ｏ ｅ ｓ ａｈ ｅｅ ｔ ｉ ｉ ｏ ６ ｅｒ ｏ ａ ｒ ｆ ｕ ｉｉ ｃ ｎｒａｈ ９ ％ ｌ ａ ｔ ｒ ｙ ｎ ￣ｅ ｃｐ ｒｄ ． ｈ ｎＦ ３ 一Ｓ ２ ｏｉｅ ｒ ｔ ａｔ ｅ ｗ ｅ ｅ０ ａ ｉ ｉ ４ ｉ ｌｄ ０ ｃｌ ｓ
本研究利用 磁种 絮凝 ， 且 完全 不 添加 化学 混凝 剂 的 并 方式 ， 提高研磨废水 中纳米 颗粒 的凝 絮效率 ， 以解 决废 水 中 稳定悬 浮的纳米 颗粒及后 续 污泥 处理 的问题 …。利用 磁种 絮凝作用使废水 中的悬 浮颗 粒 与合 成 的 Ｆ ４ ｂｏ 磁性 颗 粒碰
４ ｂ ｌ ｇ ｔ ０ ｅ ｎ ｓ ｏ ｏ
ｏ ｅ ｗ ｔ ｔ ｈ ｎｉ ｆ ｅ ａ ｃ ，ｈ ａｎｔ ｉ ｌ ｓ ｄ ｅ ； ｈ ｆ ｃｕａ ￣ ｐ ｄ ｃ ｆ ｌ ｔ ｒ ｉ ｈ ａ ｅｓ ｅ ｏ￣ ｔ ｈ ｈ ｅｄ ｖｌ ｉ ｔ ｅ ｅｍ ｇｅ ｃｆ ｄｉ ａ ｄ ｔｅ ｏｃｌｔ 】 ｓ ａ ｉ ｅ ｄ ｌ ｉ Ｉ ｌ
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Ｋｅ ｙＷ ｏ ｄ ｐ ｌ ｈ ｎ ｒｓ ｏｉ ｉｇｗａ ｔｗａｅ ｆｏ ｃ ｌ ｉ ｎ ｍａ ｎ ｔ ｍ ｍａ ｅｉ ｉ ｌ ｓ ｓｅ ｔ ｒ ｌ ｃ ｕ ａ ｏ ｔ ｇ ｅｉ ｓ ￣ ｔ ｅｄ ｃｆ
２１ 年第 ３ 卷第 ６ ００ ６ 期
Ｊ Ｈ ０ ０ ｕ ｅ２ １
Ｉｄｓ ｉ ａｅ ｎ ｎｉｎ ｅｔ ｒｔ ｔ ｎ ｎ ｕｔａ Ｓｆｔ ａｄＥｖｒ ｍ ｎａ Ｐｏ ｃｉ ｒｌ ｙ ｏ ｌ ｅ ｏ
工业安全 与环保
・ ５３ ・
Ｆ ３ 磁 种 絮 凝 处 理 集 成 电 路 研 磨 废 水 实 验 研 究 ｅｏ４
（． １福建 工程学 院环境 与设备工 程系
摘 要
福州 ３０ ０ ； ２ 福建 宁德 核电有限公 司 ５０ ８ ．
福建 宁德 ３５０ ） ５２０
利用磁种 絮凝 作用处理研磨废水 ， 使废水 中的悬浮颗粒与合成的 Ｆ３４ ｅ 磁性 颗粒碰撞凝聚 ， ０ 针对操作条件探讨
其对处理效率的影响 。由实 验结果发现 ， 操作条件控 制在 ｐ Ｈ＝６左右 ， 其浊度去 除效率 可 以达到 ９ ％。同时 由于 Ｆ ４ ５ ｂｏ 为 磁性颗粒 ， Ｆ３ 一ｓｏ 相互 碰撞附着的颗粒凝 絮沉 降时加入 磁场 ， 当 ｅ ｌ２ 凝絮 产物除 了受 到重力作 用而 沉降外 ， 也受到磁 力的
ｉｈ ｇａｉ ｗｔ ｒｖｔ ，ａｓ ｔ ａ ｍｐ ｏｅｔｅｒｍｏ ａ ａｅｏ ｅｆｌｉｇｏ １ｄ ｅ，８ ｔ ａ ｌｒｅｙｒｄ ｃ ｙ ｌｏｉｃ ｎｉ ｒｖ ｈ ｅ ｖ ｒｔ ｆｕｂｔ ｉ ｈ ｈ ｌ ｙ ｇ ｅｉ ｒｅａｄｇｅ ｄｕ ｈ ａｌ ｆｓ ｇ ｃｆ ｎ ｕ ０ｉｃｎ ａｇ ｌ ｅｕ ｅ
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１２ 絮凝实验 ．
表 １ 研磨废水水质指标
将 自行制备 的 Ｆ ４ ０ 磁性 颗粒【 悬 浮液调整为 ２０ｍ ， 】 ０ Ｌ 并 以 １ ｏ Ｌ的 Ｎ Ｏ ｌ ｍ ／ ａ Ｈ或 １ｍ ｌＬ的 Ｈ １ 液调 整其 ｐ ｏ ／ Ｃ溶 Ｈ值 。 然后加入 １ Ｌ的废 水与 Ｆ １４ 匀 混 合 ， 需要 加入 不 同浓 ｅ０ 均 依
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（ ． ｅｔ ｆＥ ｖ ｏｍｅｔ ｎ ｑｉ ｅｔ Ｆｊ ｎＵ ｉｒｉ ｅｍ ｌ ｙ Ｆｚｏ ５０８ １ Ｄｐ ．ｏ ｎｉ ｎ ｎ ｄＥｕｐ ｎ ， ｕｉ ｎｖ ｓｙｏ ｃ ｏｏ ｕｈｕ３０ ０ ） ｒ ａ ｍ ａ ｅ ｔ ｆＴ ｌ ｇ
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关键词 研磨废水 絮凝 Ｆ３ ４ 磁 场 ｅ０
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１ １ 实 验材料与设备 ．
撞凝 聚 ， 探讨在不 同的处理 条件下 ， ｐ 如 Ｈ值 、 分离磁 场强度 、
磁粉 回收再利用 等 ， 以浊 度的去除表 示对 水 中悬 浮微粒去 除
研磨废水 ３ ， 自某 集成 电路企业 ， ＯＬ 取 水质指标见表 １ 。
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本研究利用 磁种 絮凝 ， 且 完全 不 添加 化学 混凝 剂 的 并 方式 ， 提高研磨废水 中纳米 颗粒 的凝 絮效率 ， 以解 决废 水 中 稳定悬 浮的纳米 颗粒及后 续 污泥 处理 的问题 …。利用 磁种 絮凝作用使废水 中的悬 浮颗 粒 与合 成 的 Ｆ ４ ｂｏ 磁性 颗 粒碰
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２１ 年第 ３ 卷第 ６ ００ ６ 期
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工业安全 与环保
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Ｆ ３ 磁 种 絮 凝 处 理 集 成 电 路 研 磨 废 水 实 验 研 究 ｅｏ４