集成电路制造物理气相沉积教学模拟系统需求说明

集成电路制造物理气相沉积教学模拟系统需求说明
一、项目背景
集成电路制造工艺及设备操作是集成电路技术专业的重要专业方向，物理气相沉积（PVD）是集成电路制造工艺的重要一环，集成电路技术专业核心课程如“半导体物理与器件”（48学时）、“半导体器件与工艺仿真”（48学时）、“半导体制造工艺”（48学时）等都涉及到物理气相沉积工艺的原理、设备操作、设备维护等知识的讲授。

目前集成电路专业一个年级有三个班级，共110名学生，急需增添物理气相沉积相关模拟实训设备。

物理气相沉积设备操作是目前集成电路人才培养和需求的重要一环，在量产制造线上，如果没有合理的操作和维护工作流程，将无法保证高效能的产品生产。

根据专业的人才培养目标和学生就业需要，集成电路制造工艺、设备操作和维护技术等是学生必须掌握的技能。

本项目所购置的“集成电路制造物理气相沉积教学模拟系统”可用于满足上述核心专业课程的中物理气相沉积设备实训的教学需要，并满足培养学生关于物理气相沉积设备操作、工艺设备维护等技能的需求。