BTImaging中文操作手册

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1、介绍
1.1 介绍LIS R1
LIS R1是建立在光致发光成像基础上的一种多用途的分析工具,它可以用来测量硅块(可选),硅片,以及太阳能电池片。

1.2 CE认证
LIS R1符合CE认证
1.3 介绍安装手册
手册详细的介绍了LIS R1安全安装的各个步骤,在进行安装LIS R1之前必须经过BTI的培训和认可,如果对于手册中任何条目不清楚或者在使用设备时遇到了设备不能正常工作时请查看BT Imagine 排障向导
1.4 LIS-R1系统使用条规
LIS-R1系统仅用于本手册或者其他BTI相关文档中描述的功能和任务进行使用,在进行使用的时候要遵照BTI手册中所写条规。

一定要在完全读完并理解本章所描述的条规后才可以进行使用LIS-R1的相关操作。

如果违反使用条例进行操作,BTI将不会对此设备进行质量保证以及技术服务支持。

1.4.1 未被授权的操作
不要试图去进行一些未被授权的操作,此部分操作必须由BTI授权和认证的人来完成。

1.4.2 外部设备
不要将LIS-R1系统与其他外部设备连接,也不要在LIS-R1系统内部装其他BTI没有认可的设备。

1.4.3 第三方软件
如果安装了手册中没有提到的软件或驱动将有可能会影响设备的正常使用,如果遇到这样的问题请咨询BT Imagine
1.4.4 屏幕保护
不要安装屏幕保护程序,安装屏幕保护程序会导致丢失数据以及发生错误
1.4.5 安装/升级系统软件
只有BTI工程师才能对LIS-R1的系统使用软件进行安装或者升级
1.5 安装
LIS-R1系统的安装必须由BTI员工或者由BTI认可指定的工程师来完成,由BTI认可指定的工程师必须是被培训过的并且有安装手册在手。

1.6 维护
只有BTI认可的工程师才能去对设备进行维护操作,如果其他任何未经BTI授权认可的人
进行了此操作,BTI 将不再对质量进行保证
1.7 尺寸和重量
LIS R1设备重大概为 800/900kg ,可选的装运硅块的小车重大约为
86kg
上面视图
侧面视图
Service 门前后方向打开 门预留空间: 600mm
前面视图
Sample 门向左侧滑打开,门预留空间: 500mm
2、安全
2.1介绍
这一章节对进行操作使用过程中可能出现的安全的问题进行了一个总括的说明,LIS-R1系统的设计符合BTI实验室里所有的安全准则。

正常操作使用时,LIS-R1系统对操作者以及周边其他人没有安全的威胁。

样品门的互锁构造和服务面板的被锁定,能耐防止误操作带来的危险和内部部分模块失灵造成的危害。

只有合格的工程师才有资格和权力去进行服务面板的打开和拆除等操作。

本章的目的在于培养使用者在使用此设备时能够养成安全、有效、高效的良好习惯。

安全和紧急程序为使用者在进行设备操作时建立安全环境。

2.2 镭射光安全信息
2.2.1 等级和标准信息
本产品是符合IEC60825-1:2007 and AS/NZS2211.1:200标准的1级镭射光产品,下图左边显示的标签贴在LIS-R1正面的右边底下,具体如下图所示
.
2.2.2内部的镭射光放射
本产品包含一个内置的4级雷射光,波长为808nm最大输出功率为75W,以及一个3R级雷射光波长为650nm最大输出功率为3mw。

在本产品内部所有的雷射设备在按照本手册使用时发出的镭射光都会被内部保护罩阻挡,确保不会跑到设备外面来。

镭射设备以及附属的光学设备的服务性操作必须由BTI专业人来完成。

额外的镭射警告标签被贴在产品的内部,这些标签是为BTI的代理服务人员提供的。

注意:
2.3系统电源
交流230V,5A ,50/60hz单相电。

系统开关位于设备的背面如下图所示
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-1: SYSTEM POWER SWITCH AT THE REAR OF SYSTEM
2.4紧急关闭按钮(EMO)
2.4.1 使用EMO按钮的目的
紧急关闭系统会造成仪器硬件的损伤以及软件的混乱,紧急关闭按钮仅仅在出现真正的紧急时刻或者看起来即将出现紧急时刻时使用(例如,当有人触电,出现电火,有烟从设备中冒出等)
2.4.2EMO的位置
EMO按钮是一个大而红色的按钮,位于触摸屏下面,如下图所示。

FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-2: EMO ON FRONT OF SYSTEM
2.4.3EMO按钮的使用说明
紧急情况发生时,按下EMO按钮,此时镭射驱动器的电源将会被切断。

按下EMO按钮后若决定重新启动系统时,顺时针旋转按钮然后向外拉,即可恢复到正常情况。

关闭和重启整个系统如4.1所描述:
2.5侧拉门互锁开关
侧拉门配有一个安全的磁性锁,当雷射光打出,磁性锁就将侧拉门锁上,防止雷射光外泄。

不要试图去硬拉打开侧滑门
在镭射光打出的时候,设备前面板的“laser on ”标志会发光,显示雷射正在工作。

而当侧滑门被打开,设备前面板的“interlock open”标志会发光,显示侧滑门处于打开状态。

FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-3: SAMPLE DOOR INTERLOCK
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-4: LASER SIGN
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-5 INTERLOCK SIGN
2.6 电池片样品测试台(cell stage )
拉高和放低cell stage 的操作,通过cell stage 把手来实现如下图所示。

具体详情参考6.3章节。

FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-6 CORRECT LIFTING AND LOWERING OF THE CELL STAGE
不要将cell stage 的托架当做把手来用:位于cell stage 低一些位置的托架,使用时会夹到手。

下图是错误操作的解释说明
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-7 INCORRECT LOWERING OF THE CELL STAGE
拉起cell stage 时候不要碰到探针框架操作杆;碰到探针框架操作杆会导致探针框架松开,cell stage 掉下。

FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-8 PROBE FRAME HANDLE
2.7 电池片样品测量台(cell stage)的固定
当cell stage 不用的时候,要将置于固定的位置,如下图所示
注意:cell stage 在下列情况下是不安全的:没有被锁定,在上面的位置,损坏,失效。

2.8 照相机(camera)
当进行拉起或者放下测量台操作的时候,注意头不要撞到照相机。

2.9 系统安全注意事项
在进行测量操作前,确保雷射光冷却装置处于工作状态
除了测量台把手外,不要碰系统内部的其他部分。

拉起或放下stage(测量台)的时候要慢些,温柔些。

2.9处理样品时候的注意事项
硅样品有尖锐的棱角,BTI提醒拿样品的时候要注意安全,例如可以戴个橡胶手套。

2.10危险警示标签
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-9: HAZARD LABELS 2.11险警示标签的位置
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-10: HAZARD LABEL LOCATIONS 3BTI整个系统的描述
3.1BTI系统结构
下面的章节展示说明了整个BTI 的系统主要构成部分
3.1.1 LIS-R1系统
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-11:
SYSTEM FRONT VIEW
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-12:
SYSTEM REAR VIEW
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-13: FRONT
VIEW
WITH
SAMPLE
DOOR
AND
ELECTRONICS
COMPARTMENT DOOR OPEN
3.1.2 操作工位
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-14:
WORK STATION
3.1.3 镭射冷凝装置(可选的)
FIGURE 错误!文档中没有指定样式的文字。

-15: LASER CHILLER
3.2 应用软件(application software)
此部分描述应用软件的功能
3.2.1应用软件功能
3.2.1.1应用软件总体布局:下图是应用软件的主界面截图,其中主要部分都已经标示出来了。

图1-1 Bti应用软件的界面
可以看到整个软件分为六个部分:菜单栏(menu bar)、工具栏(tool bar)、图像分析窗口(image analysis window)、参数栏(parameter tab)、状态栏(status bar)、结果栏(result tab)
3.2.1.2下面的图表对这六个部分进行了说明
3.2.1.3应用软件的六个部分的详细说明
3.2.1.3.1 菜单栏(Menu Bar)
3.2.1.3.2 工具栏(Tool Bar)
3.2.1.3.3 参数栏(parameter tab)
参数栏是用来定义样品参数的设置,不同类型的样品设置不一样。

接下来的部分会描述每一个类型的样品的参数设定。

其中包含硅块的量测的样品参数设定,硅片和电池片与硅块相比多出来的部分的参数设定。

文件参数栏和量测参数栏的参数基本上是一样的,唯一的不同是文件决定什么参数将会在量测参数里出现和被编辑。

关于文件和测量将会在以后的章节中描述说明。

3.2.1.3.3.1硅块样品(block sample)
下图是关于硅块样品的参数设定的截图
图1-2 硅块参数
下面是硅块样品参数的分类描述图表
对于硅块(block)只有一种测量模式,uncalibratedPL 图像
3.2.1.3.3.2硅片样品(wafer sample)
对于硅片样品,会有相对硅块样品多的测量类型。

硅片的测量类型如下图所示,包括:uncalibrated PL image 、QSSPC、calibrated lifetime image
图1-3 硅片样品的测量类型下面是硅片样品的所有测量参数设置的截图
3.2.1.3.3.2.1 uncalibrated PL image
图1-4硅片uncalibrated PL image
下面的表格是对uncalibrated PL image 的参数的描述说明(只罗列与block umcalibrated PL
image 不同之处)
3.2.1.3.3.2.2QSS-PC(quasi steady state photo conductance)
3.2.1.3.3.2.3Calibrated lifetime
3.2.1.3.3.3 Cell Sample Type
Cell 的测量类型有:PL Open-circuit Image, PL Biased Image, Series Resistance (RS) Image 和EL Image.。

如下图所示:
3.2.1.3.3.3.1 PL Open-circuit Image
3.2.1.3.3.3.2 PL Biased Image
3.2.1.3.3.3.3 、Series Resistance (RS) Image 注意:对Quantitative RS图像的设置调整只能在高级用户下进行
3.2.1.3.3.3.4 EL Image
3.2.1.3.4结果栏(Result Tab)
结果栏显示测量的结果,如果只执行了一侧测量,那么结果栏则显示当前测量的
结果。

如果执行了一系列的测量,在测量参数栏选择想要查看的测量结果,则此测量的
结果将会显示在结果栏。

关于结果栏的描述如下:
3.2.1.3.
4.1 Block Sample Type
Info
Measurement
Sample parameter
参考参数栏Uncalibrated PL Image
3.2.1.3.
4.2 Wafer Sample Type
Uncalibrated PL Image
3.2.1.3.
4.3 Cell Sample Type
Measurements, Info 以及Sample Parameters 和Wafer Sample type一样,下面是对cell sample与wafer.sample不同之处的描述。

PL Open-circuit Image
PL Biased Image
Series Resistance Image
EL Image
3.2.1.3.5 Image Analysis window 图像分析窗口的截图如下所示:
3.2.1.3.5.1 ROI (region of interest)
ROI工具允许用户自定义一个观察区域,点击ROI按钮后会出现红色虚线包围区域的ROI 观察区。

如果调整观察区,只需拖动红色虚线到所要观察的区域即可,下图中左边为用于导出数据的ROI,右边为指定特别区域的ROI
设置的ROI也可以自动应用到后面的测量中。

3.2.1.3.5.2 Cross Section (X-SEC)
X-SEC工具观看图像的像素强度(x轴,y轴)如下图所示:最左边为原图,中间的为点击X-SEC按钮以后,可以看到出现了黄色的十字线。

最右图为调整X-SEC位置的图,通过拖动十字线的位置则可以调节X-SEC的位置。

3.2.1.3.5.3 Scale
Scale 工具用来观看图像颜色的范围,由下图中可以看到颜色的最大值和最小值被显示
出来。

3.2.1.3.5.4Tools—ROI
允许用户手动输入ROI的上下左右值,原始点在图像的左上方为(0,0)
3.2.1.3.5.5Tools—scale
用来观看并调节显示于图像中的像素值范围,0%-100%,显示全部像素。

5%-95%显示90%的像素(上下各减掉5%)。

3.2.1.3.5.6Tools—statistic—histogram
柱状图工具用来观看图像像素的柱状图,(y轴为像素的数量,x轴为像素值)下图为柱状图工具被使用的例子,绿线内为显示的像素值。

3.2.1.3.5.7Tools—statistic
统计工具用来观看图像的像素值,最大值,最小值,平均值,与标准值偏差等。

注意:如果使用ROI,统计的为ROI内的像素值。

3.2.1.3.5.8 Color Map Tool
用来改变图像颜色,可选择的有Earth, Fire, Greyscale, Rainbow Inverted, Rainbow, Red Hot and Water.下图为Earth,颜色的例子:
3.2.1.3.5.9 Panel Size Tool
图像的窗口的放大或缩小,如下图所示左边为小图像,右边为原始的图像。

3.2.1.3.5.10 Home Tool
使图像回到原始位置
3.2.1.3.5.11 Magnify Tool
缩放工具,下图为一个被放大的图像:
3.2.1.3.5.12 Move Tool
点击按钮后,用户可以自由移动图像。

3.2.1.3.5.13 Cursor Tool
光标停留处,可以看到对应的X、Y像素值,在图像的底部。

3.2.1.3.5.14 Load Tool
用来加载存在的.txt和.BIN文件到图像观察器中。

3.2.1.3.5.15 Export Tool
导出工具用来导出测量的图像。

3.2.1.3.6 Status Tool
状态工具显示系统的状态。

3.2.2触摸屏应用软件
触摸屏的界面和PC机R1软件的界面基本上一致,唯一的区别为触摸屏多了一个thumbnails 用来选择指定的的测量文件。

其截图如下图所示:
4.基本操作
4.1启动设备:
1.顺时针旋转背面的红色开关到“on”的位置启动设备主电源。

开关。

服务器启动后,会看见显示屏上出现滚动条。

4.待服务器完全启动后,顺时针拨动laser开关,如下图所示。

4.2 启动软件
1.双击桌面上的‘main.exe’ 图标
2.双击“main.exe”图标后,bti软件将会加载启动,设备会花几分钟来进行开始初始
化,初始化完成后显示屏上会出现如下图所示
4.3登陆
当软件启动后,就会看见如下图所示的登陆界面w
1.点击“user”下拉框,选择选择用户名。

2.输入密码后,点击”LOGIN”登陆
4.4退出软件并系统下点流程:
1、退出软件,在file点击exit 退出软件。

2、关闭主机
3关闭laser开关,逆时针旋转。

4关闭主电源,逆时针旋转设备背面的开关到off位置。

4.5退出登录
1、在工具栏里点击“log off”,即可实现登录用户退出。

4.6用户安全和管理组
本系统有两个用户组:admin 和user ,只有在admin用户下才能使用所有功能,也就是有。

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