洁净工程技术条款(080310修改)

512902493310601工程技术条款
1、总则
1.1 此工程技术条款旨在说明本工程概况及招标单位对本工程的综合要求，给投标单位在进行投标及承包人在施工过程中注意及遵守。

此工程说明内的规定适用于合同内全部工程。

1.2 投标单位应把为履行此工程技术条款及合同条款内说明的规定的所有费用计算在投标总价内。

任何项目若没有填上价款的，其所需费用视作已包括在其它项目的价款或分项报价单内。

2、定义
2.1 发包人：昆山维信诺显示技术有限公司。

2.2 承包人：受雇进行本工程的承包施工单位。

3、本工程范围（具体参见“无尘室工程范围说明”）
承包商应按照招标文件的内容及要求完成上述工程。

4、工程概况
本工程为昆山维信诺（一期项目）无尘室及部分普通区域的装修和机电安装，净房工程面积约为3900平方米;其中其中CLASS 1000级区域为2600平方米，CLASS 10K级区域为1300平方米。

普通区&辅房约500平方米。

5、各专业内容概述
5.1 装修系统
5.1.1净化工程内装系统
净化区域内装内容为新建厂房一层一期洁净室装修系统，主要包括隔间、吊顶、环氧树脂、高架地板等系统。

所有材料均满足洁净室无尘指标，防静电指标。

局部区域特殊处理，满足防酸碱等特殊要求。

5.1.2普通工程内装系统
普通区域内装内容为净化区域周遍的辅助区域的隔间、吊顶、环氧树脂和辅助设备机房的部分隔间和地坪。

5.1.3 装修部分具体内容概述
隔间系统：设计采用50MM双面彩钢岩棉夹心隔间板，压条连接形式。

便于安装施工，拆卸方便，气密性能良好且美观大方。

同时又可满足消防和节能的要求。

铝料为阳极氧化处理。

为满足防静电和导电要求，隔间板表面进行涂膜处理，确保满足不同的电阻率要求。

对于防酸碱要求和防静电要求同时具备的区域，隔间板表面进行防静电PVC贴面处理。

吊顶系统：吊顶采用环氧树脂涂刷楼板后直接安装FFU吊顶。

FFU龙骨采用1200*1200重型TG龙骨，龙骨材质为铝合金，阳极处理。

滴槽吊点单破坏拉力870KG。

接头采用铝合金高压精密压铸成型。

十字接头可安装烟感或摄像头。

无FFU区域采用2MM烤漆钢板盲板。

防酸碱区域采用PVC贴面。

环氧树脂：高架地板以下区域设计采用2.0MM防尘防静电环氧树脂；高架地板以上区域(含混凝土顶棚)设计采用0.3MM防尘环氧树脂;
高架地板：由于高架地板架空高度为1.45M,且需承受600Kg/M2设备重量, .局部承重区域1T/M2，故设计采用H=1.25M钢结构,上铺带调节支架导电PVC贴面铝合金高架地板.对于有防微震要求的区域,设计采用防微震平台上铺设导电PVC地板.
5.1.4 建筑消防措施
为满足消防规范，洁净室外隔间和吊顶板均设计采用50MM岩棉夹心彩钢板,可满足防火时效一小时。

5.1.5 建筑节能措施
墙体和吊顶板设计采用50MM,热绝缘性能为0.54Kcal/M2/h/℃,可以有效隔离洁净室内外的热传递，达到节能的要求。

5.1.6 特殊要求
1）防酸:由于工艺要求,部分房间对地面、隔间、吊顶有防酸要求，设计采用防酸2.5MM 环氧树脂,铝料为阳极氧化处理,隔间、吊顶板采用PVC贴面处理，焊接连接。

2）防微震要求：由于工艺需要，部分区域设计防微震平台，具体参数需对自然频率测试后再进行深化设计。

3）刻蚀间为酸性环境，设计建议为全隔离区域。

5.2 气体动力和暖通系统
5.2.1本工程为一层一期洁净室及部分普通区的通风、空调，包括冷热源设备配置、空调箱、风机盘管、干盘管、末端风口、水系统管路和风系统管路。

5.2.2动力部分具体内容概述
（1）冷冻站
1）本冷冻站主要为洁净室和办公区域提供冷量。

冷冻水供回水温度为6℃/11℃。

设计采用以电力作能源的制冷方式。

冷冻水系统采用二级泵系统，采用分集水管系统，冷冻水循环泵与制冷机组可任意配置，冷冻水供、回水分配器之间设旁通管及差压调节，对制冷机组而言为定流量系统，对空调机组而言为变流量系统。

冷却水系统为开式系统，冷却水供回水温度：32/37℃，冷却塔位于辅助动力站屋面，冷却水循环泵与冷却塔、制冷机组亦采用分集水管系统可任意对应配置。

冷冻水系统的补水采用膨胀水箱补水方式。

2) 过程检测、自动控制及安全保护
制冷机组本身带有微电脑控制，可实现全自动操作运转。

此外，系统启动、停机顺序电气联锁。

设计采用高性能制冷机组，能耗低，且制冷剂为环保型，对环境影响较小。

制冷机组自动控制水平较高，可自动根据需要进行冷量调节、节省能耗。

3）环境保护、劳动保护及安全措施
冷冻水供应系统在生产过程中无污染环境卫生的物品排出，对环境有影响的主要是运转设备如冷水机组、水泵的噪声及振动，为此，设计中采取对循环水泵的主要接管处设橡胶软管接头，设备基础采取减振措施，达到有关规程要求。

（2) 锅炉站
1）锅炉站设计采用以燃油/燃气为能源的制热方式，由市政供给燃气和业主自备油槽，经锅炉燃烧后提供热水作为热源供采暖及空调用循环热水。

2）环境保护、劳动保护及安全措施
锅炉供应系统在生产过程中对环境有影响的主要是运转设备如锅炉本体、水泵的噪声及振动，为此，设计中采取对循环水泵的主要接管处设金属软管接头，设备基础采取减振措施，达到有关规程要求
5.2.3暖通部分具体内容概述
（1）供热与供冷
1）空调加热用热媒为60/50℃热水，由锅炉站经板换换热后提供，
2）空调用冷媒为6/11℃冷冻水，由冷冻站供给，
3）洁净室内显热负荷采用干盘管（DC）处理，冷媒为13/18℃冷冻水，冷媒由冷冻站供给的6/11℃冷冻水和回水混合后供给干盘管，
4）水管阀门：DN≤50采用闸阀，DN>50采用手动对夹式蝶阀，
水管：DN<150采用镀锌钢管，DN≥150采用无缝钢管，
5）供回水管、冷凝水管均需保温，保温材料采用橡塑海绵。

(2) 空调
1）一层洁净室中刻蚀间为负压区酸性环境，为全新风全排风系统，单独考虑一台MAU+HEPA的空调方式。

2）一层洁净室中其它区域采用MAU+DRY COIL+FFU的空调方式。

按照生产区域划分设置4台MAU分别供应4个区域，由MAU控制正压风量和湿度，由DRY COIL处理室内显热负荷，由FFU获得换气次数。

3）一层普通区设置落地空调箱来处理负荷满足湿度要求。

4）一层预留区域1洁净区的MAU也在本次设计中予以考虑。

5）MAU设计有预热段、水洗加湿段、一次表冷段、二次表冷段和再热段，露点送风。

过滤采用三级过滤，初效、中效、亚高效，风机变频驱动。

6）空调箱设计有加热段和表冷段，定风量运行。

7）DC设计用来处理室内显热负荷，为使换热更加充分，考虑流经DC的截面风速不大于2m/s，压降不大于45Pa。

8）人员新风均按照40CMH考虑，确保人员舒适性。

9）有高架地板区域采用下回风，无高架地板区域采用侧回风。

10）换气次数： CLASS 1000大于70次/小时，CLASS 10K大于30次/小时。

（3）环境保护、消防、节能、职业安全与卫生
1）噪声控制
为了满足环境的噪声要求，根据有关噪声控制的规范，设计中在噪声控制方面采取如下措施，保证环境噪声控制在国家规范的允许范围内。

★选用低噪声风机和空调机；
★对风机和空调机等设有隔振措施，与风管连接设柔性接头；
★风机和空调机的风管上设消声器和消声弯头；
★空调机房的门和隔墙考虑吸声和隔声措施。

2）消防
★所有进出空调机房、穿过楼板的风管在穿越处设置防火阀；
★所有的冷水管、空调风管的保温材料均采用非燃及难燃材料（氧指数≥32）。

3）节能
★空调机组水管上设置电动调节阀,能量进行自动调节；
★选用保温性能好的保温材料，减少冷热损失；
★通风空调设备选用推荐的节能产品。

4）职业安全卫生
★为保证工作人员的身体健康，降温空调房间的新风量每人每小时不小于40m3；
★在空调送回风管上设置消声装置。

5.3 工艺系统
本工程工艺系统包括空压系统、纯水管路系统、制程冷却水系统、普气管路系统、污废水管路系统、酸碱、有机、热排气处理系统等。

（1）空压管道系统
A、管道材质:不锈钢SUS304(BA),阀门采用无油球阀
b、空压站设备管道系统采用分集器管配置,空压机、干燥机、过滤器可任意对应，并
预留后期增加设备接口阀门。

C、洁净室内管路系统，采用闭合环路系统确保各用气点的压力均衡。

（2）制程系统
1）板式换热器：冷侧利用冷冻站6℃—11℃冷冻水，热侧控制出水18℃，回水按23℃考虑。

工艺冷却水泵：设计选用2台工艺冷却水泵，一用一备。

2）管路系统
a）管道材质：SUS304和镀锌钢管,室外部分橡塑保温。

b）为确保用水点压力，在管路系统设置水管压力探头和供回水比例电动蝶阀来确保最高用水点的压力，在需求低于最高压力的用水点，安装调压阀来确保压力满足要求。

（3）纯水管道系统
1)管道材质:超洁净CPVC管,阀门采用球阀
2)给水采用循环供水方式，循环水量为使用水量的30%。

设计中尽量减少盲管段的死水区。

生产给水干管保证流速不大于2m/s，干管上设置清洗口和排空口。

（4）酸碱排风
本次设计考虑采用酸碱处理站对酸碱排风分别进行处理。

采用混流风机，风机变频控制，管道静压分别为2kPa和1.5KPa，并配置备用。

管路采用PP管
（5）有机排风
本工程考虑采用活性炭过滤器对有机排风进行处理，风机采用变频控制，管道静压为1kPa，并配置备用。

管路洁净室内采用不锈钢管，洁净室外部分选用镀锌管。

（6）热排气（含O3排气）
采用变频风机排气，管道静压为1.0kPa，并配置备用。

管路洁净室内采用不锈钢管，洁净室外部分选用镀锌管，排气管路保温处理。

（7）一般排气
采用变频风机排气，管道静压为1.0kPa，并配置备用。

管路洁净室内采用不锈钢管，洁净室外部分选用镀锌管。

5.4电气系统
本工程电气系统从车间低压配电室出线至设备控制柜的总开关和动力设备控制柜的配电，包括制程设备配电、动力设备配电以及设计区域内的照明、插座系统和防静电接地系统。

（1）洁净室的防静电措施
1）洁净室装修系统：从新增静电接地箱引出35MM2的主线敷设于吊顶上或高架地板下，并引出16MM2的支线至各静电导出盒，供防静电设备接地系统用。

（2）电力、照明
电力、照明低压配电系统为50HZ，3φ380V,1φ220V，三相五线制TN-S系统。

1) 电力
★配电系统的确定
配电系统确定原则：满足生产组织及生产工艺的要求；保证供电的可靠性和灵活性；保障人身安全；有利于节约电能；便于施工、维护和管理；技术先进；经济合理。

用电设备根据工艺区划、负荷性质、设备容量，采用放射式方式配电，配电电源从就近的配电房获得。

消防用电的电源采用双路电源末端切换方式供给，由业主在低压配电房统一考虑。

辅助动力站配电电源由设在本建筑内的配变电所供给。

冷冻机组和空压机容量较大，采用由配变电所直接供电。

★配电设备的选择
配电设备的选择原则：保证配电系统和用电设备正常可靠的工作，故障时 (短路、过载)迅速切断电源，保证人身安全和设备不受损坏，不越级动作, 缩小事故面。

根据工艺及其他相关专业用电设备的配置情况，配电设备主要是采用落地式或挂墙式动力配电箱，对分散布置的小容量用电设备、移动设备采用插座配电。

动力配电箱内装有带复式脱扣器的低压断路器或其他保护电器，对配电系统和用电设备进行开、关操作和保护。

★控制、启动、保护设备的选择
电力线路一般采用带复式脱扣器的低压断路器控制和保护。

工艺用电设备、大型动力设备的控制、启动、保护装置随设备成套供应。

气体动力、暖通专业采用的通风机、水泵等由本设计选用控制、启动、保护设备。

18.5kW及以上容量的风机、水泵采用星三角启动控制操作；11kW以下的风机、水泵采用动力配电箱内的低压断路器、交流接触器、热继电器及控制按钮或现场设置的手动起动器控制和保护。

★配电线路的保护及导线的选择和敷设
配电线路的保护主要是考虑在电气故障时，防止人身间接触电、电气线路损坏和电气火灾。

配电线路装设了短路保护，过负载保护和接地故障保护等。

电力线路一般采用YJV-0.6/1.0kV型交联铜芯电力电缆或BV-450/750V 型铜芯
塑料电线。

消防用电设备的配电线路采用ZR-YJV-0.6/1.0kV型阻燃交联铜芯电力电缆。

电缆采用电缆桥架敷设，电线穿钢管或硬塑料管敷设。

线路截面根据其计算电流值，按长时间允许温升选择，并以动稳定、热稳定、电压损失及机械强度进行校验，同时还要根据线路的数量、敷设情况和环境温度考虑校正系数。

电力干线考虑 20% 左右的余量,，以便今后在工艺调整或变化时，能增加用电设备。

2) 照明
★照明方式和种类
本设计照明方式有一般照明、局部照明；照明种类有正常照明、应急照明。

应急照明包括备用照明和应急疏散照明。

局部照明主要是用于工艺生产设备，一般由设备自带。

正常照明是根据工艺使用情况和房间使用情况布置灯具，控制一般采用集中或分散方式。

根椐实际需要在工艺生产厂房设置有备用照明。

备用照明采用带蓄电池的灯具，当正常电源停电时灯具内的蓄电池可自动投入供电，蓄电池的连续供电时间不得小于30分钟。

在消防值班室、消防水泵房设有应急照明，电源由消防电源提供。

应急疏散照明是采用带疏散标志的应急照明灯具，在需要确保人员安全疏散的出口和通道上装设。

当停电时灯具内的蓄电池可自动投入供电，蓄电池的连续供电时间不得小于30分钟。

★设置应急插座系统。

★配电系统的确定和配电设备的选择
照明系统电源的来源与电力系统一致。

照明配电设备主要由照明总配电箱、照明配电箱组成。

配电箱内设有带复式脱扣器的低压断路器, 对照明用电设备进行控制和保护。

★照度、光源和灯具的选择
根据一般同类行业工艺要求，参照《工业企业照明设计标准》确定各场所的照度及灯具类型。

光源照度(Lux) 灯具
一层黄光区 300 洁净型荧光灯具
一层白光区 500 洁净型荧光灯具
普通区照明 500 带罩荧光灯具
★导线的选择和敷设
照明干线选择YJV-0.6/1.0kV型交联铜芯电力电缆，照明支线采用BV-450/750V 型铜芯塑料电线。

电缆沿桥架敷设，电线穿钢管或硬塑料管暗敷, 在照明支线较多的地方也可采用金属线槽敷线。

应急照明采用NHYJV-0.6/1.0kV型耐火电缆或NH-BV-450/750V 型耐火铜芯塑料电线。

线路截面按允许电压损失选择，并以导线的长时间允许温升、动稳定、热稳定及机械强度进行校验。

3) 接地与电击保护
接地系统有：低压系统保护和工作接地、消防设备接地等。

电击保护要求如下：用电设备的金属外壳、配电箱（盘）、控制箱（盘）、操作箱（盘）、金属电缆桥架、配线槽、保护钢管和接线盒等必须与配电系统的保护线（ PE线）可靠连接；保护干线、接地系统的接地干线、建筑物金属构造、建筑物内的水管、采暖和空调管道等金属管在进出建筑处要作总等电位联接；配电系统的保护线（ PE线）应与中性线（N线）绝缘。

配电设备保证有两处与保护线（ PE线）连接。

5.5楼宇自控系统
本工程包括冷冻站系统、锅炉系统、空调风系统、空调水系统、空压系统、制程冷却水系统、制程排气系统、FFU系统、纯水系统、业主要求的弱电桥架护管系统等。

（1）采用PLC楼宇自动化综合管理系统,整个系统由三级组成:
操作站级—由带鼠标及彩色显示器的个人电脑和打印机组成,运行BAS
系统软件,与次一级—网络控制器级进行数据信息交换.
网络控制器级—其主要功能是实现网络匹配和信息传递,具有总线控制以及I/O 控制功能.
网络控制器承担着总线匹配,通信管理的功能,是现场控制器与操作站通信联系的纽带.
现场控制器级(PLC) —其主要功能是接收安装于各种机电设备内的传感器、检测器之信息,按PLC内部预先设置的参数和执行程序自动实施对相应机电设备进行监控,或随时接收操作站发来的指令信息,调整参数或有关执行程序,改变对相应机电设备的监控要求.
（2）监控
1) 冷/热源系统
冷热源采用冷冻机组、热水锅炉、冷却塔和板式热交换。

a. 监视点:
－冷冻机组供回水压差监测
－冷冻机组故障报警
－冷冻机组运行状态
－一次冷冻水泵故障报警
－一次冷冻水泵运行状态
－冷冻水膨胀水箱高、低位报警
－热水锅炉供回水压差监测
－热水锅炉故障报警
－热水锅炉运行状态
－一次热水泵故障报警
－一次热水泵运行状态
－二次热水供水温度监测
－二次热水供水压力监测
－二次热水回水温度监测
－二次热水回水压力监测
－二次热水泵故障报警
－二次热水泵运行状态
－二次热水泵启停控制
－二次热水泵变频控制
－热水锅炉膨胀水箱高、低位报警
－冷却塔供水温度监测
－冷却塔故障报警
－冷却塔运行状态
－冷却塔启停控制
－循环水泵故障报警
－循环水泵运行状态
－循环水泵启停控制
－冷却塔导电率监测
－二次冷冻水供水温度监测
－二次冷冻水供水压力监测
－二次冷冻水回水温度监测
－二次冷冻水回水压力监测
－二次冷冻水泵故障报警
－二次冷冻水泵运行状态
－二次冷冻水泵启停控制
－二次冷冻水泵变频控制
－干盘管冷却水供水温度监测
－干盘管冷却水供水压力监测
－干盘管冷却水回水温度监测
－干盘管冷却水回水压力监测
－干盘管冷却水泵故障报警
－干盘管冷却水泵运行状态
－干盘管冷却水泵启停控制
－干盘管冷却水泵变频控制
－制程冷却水供水温度监测
－制程冷却水供水压力监测
－制程冷却水回水压力监测
－制程冷却水泵故障报警
－制程冷却水泵运行状态
－制程冷却水泵启停控制
（3）控制:
由安装于机房内的现场控制器(PLC),按内部预先编写之软件程序来实现如下控制.
a) 冷冻水压差旁通控制
将供水管与回水管之间的压差值与工艺设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至压差旁通阀门,控制旁通流量,从而使供水压力和压力差保持在设定值范围内.
b) 冷却系统控制
将供水温度值与工艺设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）按内部预先编写之软件程序来控制冷却塔台数的启停及各设备之连锁启停。

－监测冷却塔供水温度，从而计算冷却水实际之热负荷。

－根据实际之热负荷来决定冷却塔开启台数，使之达到最佳节能状态。

c) 二次冷冻水泵控制
将供水管与回水管之间的压力值与工艺设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至二次冷冻水泵变频器，从而使供水压力和压力差保持在工艺设定值范围内.
d) 干盘管冷却水控制
将供水管与回水管之间的压力值与工艺设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至干盘管冷却水泵变频器，从而使供水压力和压力差保持在工艺设定值范围内.
将干盘管冷却水供水管的温度值与工艺设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至电动调节三通阀，从而使供水温度保持在工艺设定值范围内.
e) 制程冷却水控制
将制程冷却水供水管与回水管的压力值与工艺设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至旁通电动调节阀，从而使供水压力和压力差保持在工艺设定值范围内.
将制程冷却水供水管的温度数值与工艺设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至热交换一次侧电动调节阀，从而使供水温度保持在工艺设定值范围内.
冷却水泵与备用泵由现场控制器（PLC）控制启停，并可以按照预设并可调整的周期自动切换。

3) 空调水系统
空调水系统采用二管式,变水量温控结构，MAU、AHU、FCU和DC的每日工作状况,由中央监控系统按每天预先编排之软件程序来控制和监视.
a. MAU
湿度控制采用等焓加湿原理。

将热盘管侧风温度与温度设定值比较,合理调整PID 参数, 使现场控制器（PLC）发出信号至热水电动调节阀，控制电动调节阀的开度，从而使送风温度保持在工艺设定值范围内。

送风温度高于温度设定值时，现场控制器输出信号关小热水电动调节阀，使热水流量减少；送风温度低于温度设定值时，现场
控制器输出信号开大热水电动调节阀，使热水流量增加。

将送风温度与温度设定值比较,合理调整PID参数, 使现场控制器（PLC）发出信号至冷水电动调节阀，控制电动调节阀的开度，从而使送风温度保持在工艺设定值范围内。

送风温度高于温度设定值时，现场控制器输出信号开大冷水电动调节阀，使冷水流量增加；送风温度低于温度设定值时，现场控制器输出信号关小冷水电动调节阀，使冷水流量减少。

将露点温度与露点设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至喷雾水泵，控制水泵的启停，从而使露点温度保持在工艺设定值范围内。

露点温度高于露点设定值时，现场控制器输出信号停止喷雾水泵；露点温度低于露点设定值时，现场控制器输出信号开启喷雾水泵。

外界新风经过空调处理后送出的是符合工艺要求的恒温饱和洁净空气。

室内正压采用变频风机控制。

将室内微压差与压差设定值比较,合理调整PID参数, 使现场控制器（PLC）发出信号至变频器，控制变频器的频率，从而使室内压差保持在工艺设定值范围内。

室内微压差高于压差设定值时，现场控制器输出信号降低变频器的频率，从而送风静压降低，使室内压差降低；室内微压差低于压差设定值时，现场控制器输出信号增加变频器的频率，从而送风静压增加，使室内压差升高。

进而达到室内压差恒定。

联锁与互锁。

空调风机与消防报警系统联锁，消防系统报警时在关闭防火阀的同时发一信号给空调控制系统，控制风机停止运行；空调出现高温报警时停止风机运行，同时发信信号给消防系统，控制防火阀关闭。

其他监测和报警。

过滤器堵塞报警；
新风温度监测；
新风湿度监测；
风机运行状态监测。

b. 空调箱
温度控制原理。

将室内温度与温度设定值比较,合理调整PID参数,使现场控制器（PLC）发出信号至冷水和热水电动调节阀，控制电动调节阀的开度，从而使室内温度保持在工艺设定值范围内。

室内温度高于温度设定值时，现场控制器输出信号开大（关小）冷（热）水电动调节阀，使冷（热）水流量增加（减少）；室内温度低于温度设定值时，现场控制器输出信号关小（开大）冷（热）水电动调节阀，使冷（热）水流量减少（增加）。

联锁与互锁。

空调出现高温报警时停止风机运行。

风机在出现故障报警时，停。