Zn1-xCuxO薄膜的结构和光学性质
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Zn1-xCuxO薄膜的结构和光学性质
王晓飞;吴雪梅;诸葛兰剑
【期刊名称】《功能材料》
【年(卷),期】2008(039)002
【摘要】采用CS-400型射频磁控溅射仪在Si(111)和石英基底上成功的制备了Zn1-xCuxO薄膜,薄膜的晶体取向和表面形貌用X射线衍射(XRD)仪和扫描电子显微镜 (SEM)进行测量.利用紫外-可见光(UV-vis)分光光度计来测量基片为石英的Zn1-xCuxO薄膜的透射光谱.实验表明,采用射频磁控溅射制备的掺Cu氧化锌薄膜具有(002)峰的择优取向.随着Cu掺入量的增加样品成膜质量降低,禁带宽度减小,透射率下降.
【总页数】3页(P191-193)
【作者】王晓飞;吴雪梅;诸葛兰剑
【作者单位】苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;江苏省薄膜材料重点实验室,江苏,苏州,215006;苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;江苏省薄膜材料重点实验室,江苏,苏州,215006;苏州大学,分析测试中心,江苏,苏州,215006;江苏省薄膜材料重点实验室,江苏,苏州,215006
【正文语种】中文
【中图分类】O484.4;O472.1
【相关文献】
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