[课件]EDS能谱检测PPT
元素eds能谱
元素eds能谱
元素的能谱是指当元素受到激发或激发后返回基态时，所产生的特定能量的辐射或吸收谱线。
能谱可以提供关于元素的结构、组成和性质的重要信息。
元素的能谱研究主要有两种方法：光谱法和质谱法。
光谱法包括原子光谱和分子光谱两种类型。
原子光谱用于分析单个原子的能谱，可通过观察元素的发射光谱或吸收光谱来得到信息。
分子光谱则用于分析分子的能谱，例如红外光谱和拉曼光谱等。
质谱法则是通过将样品中的原子或分子离子化，并在电场或磁场中进行分离和检测，从而得到元素或化合物的能谱信息。
质谱法可以提供更详细和准确的分析结果，因为它可以提供相对丰度和质量比等信息。
不同的元素具有不同的能谱特征。
每个元素都有独特的能级结构和能级跃迁方式，这导致了特定的谱线或波长出现在其能谱中。
通过测量和分析这些特征谱线，可以确定元素的存在和浓度。
元素的能谱在许多领域有广泛的应用，包括化学分析、物质鉴定、环境监测、天体物理学等。
无论是在实验室还是在实际应用中，对于元素的能谱研究都具有重要的意义。
EDS原理及应用 ppt课件
EDS原理及应用
定性分析原理
X射线的能量为E＝hγ h为普朗克常数，γ为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要 检测不同光子的能量（频率γ）, 即可确定元素－定性分析.可分为定点， 线扫描，面扫描分析
EDS原理及应用
EDS特点
能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几 分钟即可完成。
对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布 结果。
能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子 导体试样、玻璃等损伤小。
检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约 为2% EDS定量分析的相对误差(含量＞20%wt）的元素，允许的相对误差<5%
(3 %wt<含量<20%wt的元素，允许的相对误差<10% (1 %wt<含量<3%wt的元素，允许的相对误差<30% (0.5%wt<含量<1%wt的元素，允许的相对误差<50% 能量分辨率低（130eV） 工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在 不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致探 头功能下降甚至完全被破坏。
EDS原理及应用
特征X射线能测原理
光子能量检测过程
X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器 后，在晶体内产生电子一空穴对。在 低温下，产生一个电子－空穴对平均 消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光 子产生的电子－空穴对为N＝E/3.8 。
例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成 的电子－空穴对为1550个。Cak: 3.7KeV，约产生1,000电子－空穴对。
X射线能谱（EDS）分析
逃逸峰、合峰 特征X射线（能量Ex)入射到Si(Li)半导体探测 器时，使Si放出K特征X射线(1.740keV)，得 到能量为Eesc=Ex-1.740keV的特征X射线 — 逃逸峰 两个特征X射线光子几乎同时进入探测器，探 测器无法进行识别，在两个特征X射线光子的 能量值和位置产生一个峰 — 合峰
五、定量分析中需注意的问题
试样对X射线的吸收
（1）从理论上对k 因子进行修正 （2）利用外插法将实验中获得的不同厚度区 域的测定值外推到很薄的情况，求出理想的 k 因子
统计误差
分析含有的微量元素时，需进行长时间测量ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ 以获得足够的X射线强度，减小误差 标准偏差=N1/2 误差=(N1/2/N)100=N-1/2 100(%)
多道脉冲高度分析器：
X射线能量不同，其电脉冲幅值不同，将 不同幅值的电压脉冲按能量大小分类并 统计，并输出给计算机
三、EDS的分析技术
X射线的测量：连续X射线（部分电子经多次和试样 碰撞产生电磁波）和从试样架产生的散射进入探测器， 形成背底，使用铍制试样架可减小背底，支持试样的 栅网应采用与分析对象的元素不同的材料制作 元素的面分布分析方法：使用扫描像观察装置，使电 子束在试样上做二维扫描，测量特征X射线的强度， 使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极 射线管记录部分显示，使用场发射电子枪，能够得到 优于1nm分辨率的元素面分布像
硅铝氧氮耐热陶瓷的X射线元素面分布像
X射线元素线分布图
四、定量分析（薄试样）
定量分析公式：CA/CB=kAB(NA/NB) kAB — k 因子，依赖于物质和装置 CA，CB — A,B元素的浓度（质量分数） NA，NB — A,B元素的特征X射线强度 定量分析实验 k 因子的确定：（1）理论计算（误差较大）；（2） 实验确定(精度高，需要组成与被测化合物相近，并 已知组成的标准试样） 对于特征X射线谱重叠的情况，必须根据标准试样 谱进行重叠峰分离后，进行定量分析
EDS能谱检测
Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关）
A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快 速定量方法。强度比K＝IS/IStd。
表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计 算，或用标样数据库给定的，适应于不同 的实验条件。其计算精度不如有标样定量 分析。
EDS原理及应用
12091024 吴保华
EDS
EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组 合，其中SEM－EDS组合是应用最 广的显微分析仪器，EDS的发展， 几乎成为SEM的表配。是微区成 份分析的主要手段之一。
能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer)
能谱的特点
Na
Cl
Ag
Thank you !
EDS检测(未镀膜）
cps/eV 4.5 4.0 3.5 3.0 Cl 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0 1 2 3 keV 4 5 6 C Ca O Cl Ca
El AN
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------
能谱仪的结构原理及使用ppt课件
超薄窗口型（UTW type : ultra thin window type ）
它吸收X射线少，可以测量C(Z＝6)以上的
比较轻的元素。
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二、能谱仪结构及工作原理
EDS的分析技术
（1）X射线的测量
当用强电子束照射试样，产生大量的X射线时，
系统的漏计数的百分比就称为死时间Tdead,它可以 用输入侧的计数率RIN和输出侧的计数率ROUT来表
3
二、能谱仪结构及工作原理
特征X射线的产生
产生：内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级
上，电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填 入时，作为多余的能量放出的就是特征X射线。
特点：特征X射线具有元素固有的能量，所以，将
它们展开成能谱后，根据它的能量值就可以确定元 素的种类，而且根据谱的强度分析就可以确定其含 量。
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二、能谱仪结构及工作原理
图2 入射电子束在试样内的扩散 10
二、能谱仪结构及工作原理
（3）峰/背比（P/B）
按照札卢泽克（Zaluzec）理论，探测到的薄膜试样 中元素的X射线强度N的表示式如下：
N=(IσωpN0ρCtΩ)/4επM
式中：
I——入射电子束强度； σ——离化截面；
ω——荧光产额；
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四、能谱分析举例
图6 EDS应用实例之三——元素的面分布
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五、实验报告要求
简要说明能谱仪的工作原理（X射线的接收、 转换及显示过程）。
结合自己的课题（或实验），简述能谱仪在 材料科学中的应用。
针对实际分析用的样品，说明选择能谱分析 参数的依据。
31
END！
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应该 对样品进行适当的处理，尽量使样品表 面平整、光洁和导电。
能谱分析仪
能谱分析仪（EDS）能谱分析仪（EDS）是微区成份分析的主要手段之一。
通常EDS检测限为0.1%-0.5%（元素含量）。
EDS的能量分辨率：～130eV。
图1 EDS1、主要有以下特点：1）、能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。
2）、对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。
3）、能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。
4）、检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。
2、EDS分析方法----点分析法电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。
该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。
图2 某试样EDS点分析3、EDS的分析方法－线扫描分析电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。
结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。
图3 某试样线扫表分析4、EDS的分析方法－面分布电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。
研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。
面分布常常与形貌对照分析。
图5-a 某试样EDS检测(未镀膜）图5-b 某试样EDS检测（镀膜）5、定量分析对试样的要求1）样品在真空和电子束轰击下要稳定;2）高准确度的分析时,要求试样分析面平、垂直于入射电子束;图6 不同入射角度对比图3）试样尺寸大于X射线扩展范围;4）有良好的导电和导热性能;不导电试样或者导电性差的试样，例如无机非金属材料、有机材料、矿物及生物材料等，在常规SEM/EDS分析条件下会产生如下现象：（1）、荷电现象（电荷积累）；（2）电子束不稳定，无法确定分析点或者分析点漂移。
(3)、图像质量差（图像畸变、衬度和亮度异常），试样经常放电或者无法成像。
电子能谱分析edx
EDXX射线能谱一介绍EDS（energy dispersive spectro-scopy）能量色散谱EDX （Energy Dispersive X-ray）WDS（wavelength dispersive spectro-scopy）波长色散谱EDX：X射线强度和能量曲线，定量分析样品的化学成份主要用途：•1) 非均匀样品的局部化学成份•2) 较少量材料或小颗粒材料的化学成份•3) 非均匀样品种一维或二维的成份分布•4) 沉积在任意衬底上的薄膜成份特点1)铍以上元素2)最小能探测到的重量比：0.1 wt% ——1 wt%3)定量结果的相对误差：2－20％（取决于校正方法等）4)在计算机控制下，1分钟以内可分析16种元素5)空间分辨率取决于平均原子序数、样品密度、束能量等（SEM中0.2——10微米）获得可靠的分析结果要求样品:·1) 样品平整光滑（尤其对定量分析，样品要抛光）2) 可以分析表面粗糙的样品，但仅限于定性和半定量分析3) 样品必须导热导电，必要的时候表面需要喷炭或金推荐书目：Scanning Electron Microscopy and X-ray microanalysisNew York 1992 （生物学、材料科学、地质学）Scanning Electron Microscopy，X-ray microanalysisand Anlytical Electron MicroscopyNew York 1990二定量分析Fig.2: Schematic diagram showingwhere 29<Z<37.Detected Energy (E)Fig.5: Schematic diagram of the intensity variation of the continuum backgroundwith energy, showing the generated and detected background energy.Intensity (I)Generated A ）背底和特征峰（二）影响X 射线强度的几种因素B）原子序数对X射线强度的影响Variation in fluorescence yield with atomic number.C ）荧光产生率E ）Mass absorption coefficient of Fe, for X-rays of varying energyD）X 射线的吸收探测角度：角度越小，X射线吸收越强。
eds能谱分析
eds能谱分析EDS（能谱分析）：从微观世界解读材料特性的利器概述能谱分析是一种重要的材料表征技术，其利用能量分辨的方法，通过测量材料中元素的能谱信息，从而得到材料的化学成分、电子结构等参数。
EDS（能量散射谱）是能谱分析的一种常见方法，具有高灵敏度、高分辨率和非破坏性等特点，广泛应用于材料科学、地质学、生物学等领域。
原理EDS的原理基于能量散射效应，当材料被高能电子或X射线轰击时，原子核和电子发生相互作用，导致电子从低能级跃迁至高能级，随后重新回到基态时会释放出特定的能量。
这些能量可以被探测器捕捉到，通过分析能谱可以确定元素的存在和相对含量。
仪器EDS依赖于扫描电镜和能谱仪两部分构成。
扫描电镜能够产生高能电子或X射线束，用于激发材料。
能谱仪则包括探测器、信号放大器和数据处理部分，用于采集、放大和分析能谱信号。
目前市场上常见的能谱仪种类繁多，有光子计数器、硅探测器、硅锗探测器等。
应用EDS在材料科学中应用广泛。
首先，它在金属材料的分析中发挥着重要作用。
通过EDS的能量分辨能力，可以对金属中的元素类型和含量进行非破坏性分析，为材料加工和质量控制提供支持。
其次，在纳米材料研究中，EDS能够准确检测纳米颗粒的成分，帮助研究人员了解材料的结构和性能。
此外，EDS还被广泛应用于地质学和生物学领域，如岩石成分分析和细胞组织化学成分分析等。
优势与挑战EDS作为一种常见的能谱分析方法，具有多个优势。
首先，它具有高灵敏度，可以检测到很低浓度的元素。
其次，EDS具有高分辨率，能够准确分辨不同元素的能谱峰。
此外，EDS是非破坏性技术，可以以非常小的样品损伤完成分析。
然而，EDS也存在一些挑战。
例如，由于能量散射的特性，EDS只能分析出材料表面的元素信息，不能获取深层元素的信息。
此外，噪声和背景干扰也会影响EDS的准确性。
发展动态随着科技的进步，EDS技术不断发展，提高了分析的性能和准确度。
近年来，许多研究人员致力于开发新型的探测器和数据处理算法，以提高EDS的灵敏度和分辨率。
EDS能谱检测解读
Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关）
A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快 速定量方法。强度比K＝IS/IStd。
表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计 算，或用标样数据库给定的，适应于不同 的实验条件。其计算精度不如有标样定量 分析。
EDS检测(未镀膜）
cps/eV 4.5 4.0 3.5 3.0 Cl 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0 1 2 3 keV 4 5 6 C Ca O Cl Ca
El AN
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------
《EDS能谱检测》课件
EDS能谱检测技术受到分析条件和样品制备的限制，同时对于部分元素分析不够准确。
3 总结和展望
EDS能谱检测有着广泛的应用前景，未来我们将更加注重不断优化技术，提高分析精度和 速度，满足不断增长的科研和工业需求。
EDS能谱检测的意 义与应用
EDS能谱检测可以为材料科学 的研究和工业生产提供重要 的物质分析手段。
EDS能谱检测的原理
光电效应的基本概念
光电效应是指当光子与物质作用时，能将光子的能 量转移给物质中的电子，若光的能量足够大，就会 把电子从原子或分子中释放出来。
碰撞电离的基本概念
碰撞电离是指当高能电子撞击样品时，会将样品中 的原子或分子电离。
《EDS能谱检测》PPT课 件
本课程将详细介绍EDS能谱检测的工作原理、样品制备、设备以及数据处理和 分析方法，以及在材料科学生产和研究中的应用和未来的发展方向。
什么是EDS能谱检测
EDS是什么？
EDS是一种能谱分析技术，它 能够定性、定量地分析样品 中的元素。
能谱检测是什么
能谱检测是通过测量样品辐 射物质的能量分布来分析其 成分和结构的技术。
EDS能谱检测在表面和材料物质分析、微区析出物分 析、微区材料相分析中有着重要的应用。
EDS能谱检测未来的发展方向
未来EDS能谱检测将主要聚焦在快速、高效、全面和 实时分析方面，并且将会衍生出更多的连接优秀的 多元分析技术，形成更加完善的试验技术体系。
结语
1 EDS能谱检测的重要性和意义
EDS能谱检测技术的发展推动了新材料的研究发展，并加快了科研和工业生产的发展速度。
能谱曲线的图像展示和数据处理
2
谱图后，需要对其进行分析和解析。
《EDS能谱检测》课件
案例二：考古研究应用
总结词
EDS能谱检测为考古研究提供了非破坏性分析方法，有助于揭示文物的制作材料和工艺 ，为历史研究提供重要线索。
详细描述
在考古研究中，EDS能谱检测技术可以对文物表面进行无损分析，检测文物中包含的元 素成分。通过这种技术，考古学家可以了解古代文物的制作材料、工艺和历史背景，例 如识别古代金属器的合金成分、鉴定古代陶瓷的原料和烧制工艺等。这些信息有助于揭
《EDS能谱检测》PPT课件
目录
• 引言 • EDS能谱检测基础知识 • EDS能谱检测实验操作 • EDS能谱检测数据分析 • EDS能谱检测案例分享 • 结论与展望
01
引言
Chapter
目的和背景
目的
介绍EDS能谱检测的基本原理、应用场景和操作方法，帮助观众了解和掌握这 一技术。
背景
随着科技的发展，材料科学、电子工程、生物学等领域对微观结构和成分分析 的需求日益增长，EDS能谱检测作为一种重要的分析手段，具有广泛的应用前 景。
05
EDS能谱检测案例分享
Chapter
案例一：材料成分分析
总结词
通过EDS能谱检测，可以准确地分析材料中的元素 成分，为材料研发、生产和质量控制提供有力支持 。
详细描述
EDS能谱检测技术可以对材料表面微区进行元素成 分分析，通过测量材料中不同元素的特征X射线， 确定材料中各元素的含量和分布情况。在材料研发 、生产和质量控制过程中，这种技术可以帮助研究 人员了解材料的成分比例、发现潜在的元素偏析或 污染物，从而优化材料配方或提高生产过程的控制 精度。
选择与目标相关的特 征进行后续分析。
对模型预测结果进行 评估和优化。
数据分析示例
数据处理
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EDS
EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组 合，其中SEM－EDS组合是应用最 广的显微分析仪器，EDS的发展， 几乎成为SEM的表配。是微区成 份分析的主要手段之一。
能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer)
能谱的特点
•能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素， 元素定性、定量分析，几分钟即可完成。 •对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下 获得X射线扫描、面分布结果。 •能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样， 例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。 •检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰 主元素的定量相误差约为2%。
Series
EDS检测（镀膜）
cps/eV 2.2 2.0 1.8 1.6 1.4 1.2 1.0 0.8 0.6 0.4 0.2 0.0 1
El AN Series
Cl Ag C N O
Na
Cl
Ag
2
keV
3
4
5
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 76.48 76.48 80.94 8.54 0.897 0.852 1.000 1.000 O 8 K-series 15.99 15.99 12.71 2.29 0.108 1.475 1.000 1.000 N 7 K-series 6.54 6.54 5.93 1.39 0.052 1.267 1.000 1.000 Na 11 K-series 0.58 0.58 0.32 0.07 0.002 2.504 1.000 1.001 Cl 17 K-series 0.23 0.23 0.08 0.04 0.001 4.098 1.000 1.018 Ag 47 L-series 0.18 0.18 0.02 0.04 0.001 2.815 1.000 1.022 -------------------------------------------------------------------------------------
3
目的合理选择分析方法。 定点分析灵敏度最高，面扫描分析灵敏
2
度最低，但观察元素分布最直观。 点、线、面分析方法用途不同，检测灵敏度也 不同
1பைடு நூலகம்
SEM检测
1倍Ag 500X 正 1.5倍Ag 500X 正 1.5倍Ag 1000X 正
1.5倍Ag 20000X 正
1.5倍Ag 2000X 侧
1.5倍Ag 2000X 侧
EDS的分析方法－面分布
电子束在试样表面 扫描时，元素在试 样表面的分布能在 屏幕上以亮度（或 彩色）分布显示出 来（定性分析）， 亮度越亮，说明元 素含量越高。研究 材料中杂质、相的 分布和元素偏析常 用此方法。面分布 常常与形貌对照分 析。
EDS的分析方法的特点
实际操作中要根据试样特点及分析
EDS检测(未镀膜）
cps/eV 4.5 4.0 3.5 3.0 Cl 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0 1 2 3 keV 4 5 6 C Ca O Cl Ca
El AN
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------
2. 无标样定量分析：标样X射线强度是通过 理论计算或者数据库进行定量计算。
EDS定量分析原理
试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量 成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素 的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I(A)比，近 似等于浓度比：
KA=IA/I(A)～CA/C(A)
当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立， 一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。 KA=CA/C(A)×(ZAF)A/(ZAF)(A) (ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数
EDS定量分析原理
ZAF定量修正
ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法，一 般EPMA或能谱都有ZAF定量分析程序。
X能谱仪检测原理
光子能量检测过程
X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后， 在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产 生一个电子－空穴对平均消耗能量为3.8ev。 能量为E的X射线光子产生的电子－空穴对为 N＝E/3.8 。
例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成的电子 －空穴对为1550个。CaK: 3.7KeV，约产生 1,000电子－空穴对。
Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关）
A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快 速定量方法。强度比K＝IS/IStd。
表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计 算，或用标样数据库给定的，适应于不同 的实验条件。其计算精度不如有标样定量 分析。
EDS的分析方法－点分析
电子束（探针）固 定在试样感兴趣的 点上，进行定性或 定量分析。该方法 准确度高，用于显 微结构的成份分析， 对低含量元素定量 的试样，只能用点 分析。
EDS的分析方法－线扫描分析
电子束沿一条分 析线进行扫描时， 能获得元素含量 变化的线分布曲 线。结果和试样 形貌像对照分析， 能直观地获得元 素在不同相或区 域内的分布。
电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输 出的电压脉冲高度对应X射线的能量。
定性分析
能谱定性分析原理
X射线的能量为E＝hγ h为普朗克常数，γ为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率， 即具有不同能量，只要检测不同光子的能量 （频率γ）, 即可确定元素－定性分析。
定量分析
分析方法 1. 有标样定量分析：在相同条件下，同时测 量标样和试样中各元素的X射线强度，通过 强度比，再经过修正后可求出各元素的百 分含量。有标样分析准确度高。