多晶硅制绒中影响金字塔结构因素的研究

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多晶硅太阳电池由于其相对高的效率和低的成本而备受关注ｌ＿１］。人们为了提高电池效率、降低电池成本进行了很多有益的探讨。在
晶体硅电池中，表面制绒一直备受关注。通过
ｆａｃｔａｎｔｓ，ｔｈｅｆａｃｔｏｒｓｉｎｌｕｆｅｎｃｉｎｇｎｕｃｌｅａｔｉｏｎｏｆｐｙｒａｍｉｄｓａｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｔｈｅｐｙｒａｍｉｄａｌｓｔｒｕｃ — ｔｕｒｅａｎｄｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅｏｆｔｈｅｔｅｘｔｕｒｅｄｓｕｒｆａｃｅａｒｅａｎａｌｙｚｅｄｂｙＳＥＭａｎｄｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ ‘ ‘ ｖｉｓｉｂｌｅｓｐｅｃ－ｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒｔｅｓｔ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｅｔｃｈｉｎｇｒａｔｅｐｌａｙｓａｋｅｙｒｏｌｅｉｎｔｅｘｔｕｒｉｎｇ．Ｅｔｃｈ— ｉｎｇｒａｔｅｉｓｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌｔｏｔｈｅｐｙｒａｍｉｄａｌｓｉｚｅ．Ｔｈｅｐｙｒａｍｉｄａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｓｔｈｅｒｅｆｌｅｃ — ｔａｎｃｅｏｆｔｈｅｔｅｘｔｕｒｅｄｓｕｒｆａｃｅ．Ｏｐｔｉｍｉｚｅｄｅｔｃｈｉｎｇｒａｔｅｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｅｓｉｒｅｄｐｙｒａｍｉｄａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．
２０１３点
１１月
武警工程大学学报
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣＡＰＦ
Ｎｏｖ．
２０１３
第２９卷第６期
Ｖｏ１．２９Ｎｏ．６
Ａｔｌａｓｔ。ｔｈｅｒｅａｓｏｎｓｗｈｉｃｈｃａｕｓｅｄｔｈｅｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｏｆｔｈｅｐｙｒａｍｉｄａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓａｎｄｔｈｅｐｒｏｇｒｅｓｓ
ｏｆｎｕｃｌｅａｔｉｏｎａｒｅａｎａｌｙｚｅｄ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａＩｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎ；ｔｅｘｔｕｒｉｎｇ；ｅｔｃｈｉｎｇｒａｔｅ；ｎｕｃｌｅａｔｉｏｎａｎｄｇｒｏｗｔｈ
多晶硅制绒中影响金字塔结构因素的研究
焦书清
（武警工程大学理学院，陕西西安７１００８６）
摘要：通过分析不同碱性溶液及添加不同活性剂制备出的具有不同金字塔结构的绒面，探
讨了影响金字塔成核的因素。采用扫描电镜和紫外一可见分光光度计对绒面的金字塔结构
和反射特性进行了分析，结果表明，腐蚀速率与金字塔尺寸成正比，金字塔结构影响绒面减反
特性。对造成金字塔结构差异的原因和金字塔成核过程进行了分析。关键词：多晶硅；表面制绒；腐蚀速率；成核与生长中图分类号：Ｏ６４９文献标志码：Ａ文章编号：２０９５ — ３９８４（２０１３）０６ — ００２０ — ０４
ＳｔｕｄｙｏｎｔｈｅＦａｃｔｏｒｓＩｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇＰｙｒａｍｉｄａｌＳｔｒｕｃｔｕｒｅｉｎ
ＴｅｘｔｕｒｉｎｇＰＯｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎＰｒｏｃｅｓｓ
ＪＩＡＯＳｈｕ — ｑｉｎｇ
（ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣＡＰＦ，Ｘｉａｎ７１００８６，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂｙａｎａｌｙｚｉｎｇｐｙｒａｍｉｄａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｔｅｘｔｕｒｅｄｂｙｄｉｆｆｅｒｅｎｔａｌｋａｌｉｎｅｓｏｌｕｔｉｏｎｓａｎｄｓｕｒ —