上虞晶盛(单晶炉)界面操作手册

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全自动软件界面操作手册

REV. HXSC_A1.HA03

（TDR-95A/100A/100B-ZJS适用）

2010年06月

杭州慧翔电液技术开发有限公司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd

目录

介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .. (3)

炉体控制.............................. .......................................... ........ ............................. .. (4)

晶体、坩埚提升运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5)

晶体、坩埚旋转运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5)

坩埚自动定位界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6)

加热功率控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6)

磁场电流设置界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7)

等径闭环界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (7)

热场温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7)

温度闭环参数设置界面..... .......................................... ........ ............................. .. (8)

热场温升控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8)

液面温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8)

生长控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (9)

坩埚跟踪控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (9)

压力控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (10)

自动工艺选择..................... .......................................... ........ ............................. .. (10)

氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. .. (11)

曲线数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (12)

曲线数据选择............. .......................................... . (13)

工艺参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (14)

下载SOP说明............. .......................................... ........ ............................. (18)

辅助功能.............................. .......................................... ........ ............................. .. (19)

硅晶体重量长度计算........ . .......................................... ........ ............................. .. (19)

大气压力设定.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20)

液面温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20)

热场温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (21)

晶体、坩埚行程设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (21)

晶体、坩埚位置设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (22)

磁场零位校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23)

日期时间校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23)

系统参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (24)

注册.............................. . .......................................... ........ ............... ................... .. (24)