真空设备操作维护保养规程
玻璃真空设备型安全操作及保养规程
玻璃真空设备型安全操作及保养规程概述玻璃真空设备是一种非常常见的实验设备，用于在真空环境下开展各种实验。
在使用这种设备时，需要注意安全操作及正确保养，才能确保设备的长期使用，同时防止意外事故的发生。
本文将介绍玻璃真空设备类型的安全操作及保养规程。
安全操作措施1.在使用玻璃真空设备前，必须对设备进行全面检查，确保设备在正常工作状态下。
首先应检查设备的密封性能，确保设备真空度达到要求。
然后应检查设备的电路、控制系统、监控仪表等设备是否正常工作。
若发现设备存在任何一项问题，应先进行维修之后再使用。
2.操作人员必须进行一定的安全培训，熟知设备的操作原理、使用方法、安全操作措施和应急处置方法。
同时，操作人员应按照设备的使用说明书和操作规程进行操作，不得超负荷操作设备。
所有操作人员在操作设备时，都必须佩戴好个人保护装备，包括安全眼镜、手套、护耳器等。
3.在开机操作前，需要将设备的各个部位清洁干净，除去杂质和污渍。
在设备操作过程中，严禁将有机溶剂、挥发性气体等进入系统中，以免引起反应或造成危险。
4.在进行操作时，应根据实验要求自行设定参数，达到目标温度、真空度等设定值。
在加热设备时，需监测加热量，确保不会超温。
5.如果在使用过程中发现设备存在一些异常情况，应尽快进行停机检查，避免造成更严重的损失。
保养规程1.玻璃真空设备使用中，应严格遵守使用说明书中给出的保养周期、保养方法和保养内容。
对设备的保养工作应定期进行，如真空泵的检查、清洗、加注油脂等。
2.每次使用完后，应将设备清洗干净，除去内部的污物、破片等。
对设备中的各个管道、接头应认真清洗，以免污物积存导致管道疏通不畅甚至堵塞。
3.定期检查设备的各部件、管路、阀门、仪表等是否正常工作，对于存在的问题要及时解决和修理，避免小问题积累而成为大问题。
4.对于玻璃真空设备中的真空泵，要特别关注其轴向间隙和径向间隙，如出现异响或不正常温度升高等问题，应及时进行检查维护，并定期加注润滑油脂及维护。
爱发科真空泵维修工厂安全操作及保养规程
爱发科真空泵维修工厂安全操作及保养规程引言爱发科真空泵是工业生产中常见的一种设备，在使用过程中需要进行正确的操作和定期的保养，以确保设备的安全和可靠性。
本文将介绍爱发科真空泵的安全操作规程和保养规程，以帮助维修工厂工作人员正确使用和维护这款设备。
1. 安全操作规程1.1 设备准备在进行任何操作之前，确保以下准备工作已经完成：•检查设备是否处于关机状态，确保安全。
•确保设备周围环境清洁，无杂物和障碍物。
•确认工作场所的通风良好，防止有害气体积聚。
•戴上适当的个人防护装备，如安全眼镜、手套等。
1.2 启动操作以下是爱发科真空泵的启动操作步骤：1.检查设备电源是否连接正常，确保供电稳定。
2.打开设备主电源，确保设备处于待机状态。
3.检查设备连接管路是否正常，防止泄漏。
4.打开真空泵的阀门，逐步增加泵速，以避免突然增加的负荷。
5.检查真空泵的运行是否平稳，观察是否有异常噪音或震动。
1.3 关闭操作以下是爱发科真空泵的关闭操作步骤：1.先关闭真空泵的阀门，逐步减小泵速，降低负荷。
2.断开设备的电源，确保设备停止运行。
3.清理设备周围的杂物和泄漏物。
4.定期检查设备管路和密封件的磨损情况，及时更换。
1.4 应急处理在出现以下情况时，应立即进行应急处理：•发现设备漏电或电线起火时，立即切断电源并通知相关人员。
•发现设备发生异常噪音或振动，立即停止设备并检查原因。
•发现设备泄漏有害气体或液体时，迅速通风并采取防护措施。
2. 保养规程爱发科真空泵的定期保养是确保设备长期高效运行的关键。
以下是爱发科真空泵的保养规程：2.1 清洁维护定期清洁设备的外表面和内部部件，确保设备无积尘和杂物。
2.2 润滑保养定期为设备进行润滑保养，以延长设备寿命和提高运行效率。
2.3 管路维护定期检查设备的管路连接是否松动或泄漏，及时修复或更换。
2.4 磨损部件更换定期检查设备的磨损部件，如密封件、滤网等，及时更换。
2.5 运行记录定期记录设备的运行情况和维护记录，以进行问题分析和改进。
真空设备的维护和维修
真空设备的维护和维修§1维护局限1.1、机械真空泵的维护和保养：〔1〕泵及其四面环境应经常维持清洁。
〔2〕泵在运转过程中应维持油箱内油量不得低于油标中心。
〔3〕不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。
〔4〕泵在使用中温升不能超过70℃。
〔5〕新泵在使用100h左右应换1～2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。
依据讲明书和使用实际情况来确定换油期限。
〔6〕新泵和修理后的泵应现作运转试验4～6h，检查泵是否符合使用要求。
〔7〕泵使用较长时刻以后〔2～3年不等〕，极限真空度下落，应进行一次检修。
同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。
〔8〕泵在使用中，因系统损坏等特别事故，或进气口陡然显露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管〔关低真空阀或夹真空夹〕，防止喷油，污染工作场地。
〔9〕泵上所有机件，非尽对必要，切勿自行拆卸。
〔10〕泵不用时，应用橡皮塞〔帽〕把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落进泵内。
〔11〕经常注重真空技术开发动向，尽量及早地引进新技术、新材料〔如新泵油等〕，以先进原有系统的性能。
以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。
1.2、整套设备的日常维护：〔1〕操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各局限。
阅读并理解各种讲明书。
〔2〕冷却水水压应维持0.1～0.2Mpa之间，出水温度≤45℃。
〔3〕压缩空气压力在0.4～0.5Mpa之间。
〔4〕每炉开机前，要检查保卫气的气瓶容量，以免气体充缺少，更换气瓶。
〔5〕开机后如有异常情况，应马上排除或停机查寻缘故。
〔6〕经常检查各局限的回水量，工作时应保证各局限有充足的冷却水。
〔7〕设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时刻不用，要充进保卫性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。
〔8〕机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要维持一直有油。
换油时一定要把废油放干净。
〔9〕扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。
真空吸盘安全操作及保养规程
真空吸盤安全操作及保养规程真空吸盘是一种广泛应用于机械制造、物流运输等领域的机械设备。
它的主要作用是通过真空力将工件吸附在吸盘表面，实现工件的搬运、旋转等操作。
然而，由于操作不规范或保养不当等原因，真空吸盘也可能成为安全事故的来源。
为了减少事故发生的可能性，本文将介绍真空吸盘的安全操作及保养规程。
安全操作规程1.操作前的准备在进行真空吸盘操作前，应先进行周围环境的检查，确定没有障碍物或其它人员在操作区域内。
同时，在操作开始前应检查吸盘的各个零部件是否处于正常工作状态。
如发现异常现象，应及时排除或通知相关维修人员处理。
操作人员在检查操作区域时，应做好防护装备的准备，包括佩戴手套、护目镜等。
2.吸盘的安装在安装吸盘时，应该按照安装说明进行操作，并按照要求使用正确的安装工具。
在安装过程中，要确保吸盘与工件表面无空隙，以确保吸盘能够牢固吸附工件。
安装结束后，应进行基本检测，验证安装是否正确。
3.吸附工件前的检查在吸附工件前，应对工件进行检查。
包括检查工件的大小、面积和表面条件等。
工件表面应处于清洁、干燥、平整、无粘附物等状态。
如果表面有油污、水分和其它杂质等，应先进行清洗。
同时，要注意工件中心是否重心平衡，以免发生倾覆情况。
4.吸附过程中的注意事项在真空吸盘的工作过程中，要保持良好的工作状态。
操作人员应保持集中精神，随时关注吸盘的工作状况。
同时，要将重心往下，保持身体平衡。
如果需要长时间操作，应注意适时休息。
5.吸附结束后的安全操作工件吸附结束后，应谨慎处理工件与吸盘的分离。
操作人员应放弃薄的手套，并用手和吸盘分离工件，同时要注意不要将手指放置在吸盘边缘。
如果操作人员需要移动吸盘或进行其它操作，应先将真空压力降至零，再移动吸盘或进行其它操作。
保养规程对于真空吸盘设备，良好的保养是确保设备正常工作及延长使用寿命的必要措施。
下面是吸盘的保养规程：1.定期检查吸盘状态应定期检查吸盘吸附表面，特别是接口的泄露情况，以保证其是否正常工作。
真空脱泡机安全操作及保养规程
真空脱泡机安全操作及保养规程前言真空脱泡机是一种用于制备高质量材料的重要实验仪器。
在使用过程中，不仅需要注意安全，还需要注意保养，以保证设备始终处于高效工作状态。
本文档将详细介绍真空脱泡机的安全操作规程和保养规程。
安全操作规程1. 环境要求真空脱泡机应放置在通风良好的实验室内，远离易燃、易爆和腐蚀性物质。
设备周围应保持干燥，避免受潮和受震。
2. 操作人员使用真空脱泡机的操作人员应受过必要的培训，并了解设备的基本构造、性能及正确使用方法。
操作人员必须具备安全意识和责任心，严格遵守操作规程。
3. 操作流程① 将待处理的物质放入真空脱泡机中，关闭仪器。
② 检查真空泵机组和各配套管路的连接状态是否紧密。
③ 打开泵阀和进气阀，启动真空泵。
④ 根据需要，设置脱泡时间和真空度。
⑤ 完成操作后，先打开进气阀，再关闭泵阀和进气阀，停止真空泵机组。
4. 安全注意事项① 禁止用力敲打或撞击设备。
② 禁止随意打开设备积木、配件等部分。
③ 在设备运行状态下，禁止打开真空室门。
④ 真空泵机组和各配套管路必须保持干燥，避免受潮。
保养规程1. 日常维护① 定期清洗设备表面，保持设备卫生清洁；② 定期清理真空泵机组和各配套管路，保持畅通；③ 定期更换泵油；④ 定期检查真空泵机组、真空室和配套管路的密封性。
2. 常见故障及排除方法① 泄漏问题：检查各部件密封性，查找漏点并及时修理；② 无法达到所需真空度：检查泵油是否需要更换，检查各配件管路是否松动，查找漏点并及时修理；③ 多余的泄漏：检查各部件连接情况是否松动或接触不良，查找漏点并及时修理。
结语本文档介绍了真空脱泡机的安全操作规程和保养规程，使用真空脱泡机的操作人员需要严格遵守以上规程，以确保设备的正常工作和使用寿命。
在实验过程中，如有问题和疑虑，应及时联系专业技术人员进行咨询和处理。
爱德华真空泵设备安全操作及保养规程
爱德华真空泵设备安全操作及保养规程一、前言爱德华真空泵设备是电子学、微处理器、半导体、化学工业等领域中广泛应用的一种高级真空泵。
本文将介绍爱德华真空泵设备的安全操作和保养规程，以确保设备的正常运行和使用寿命。
二、安全操作1、使用前检查在使用爱德华真空泵设备前，需要仔细检查设备是否处于完好状态，并且按照以下步骤进行操作：•确认室内空气干燥，且没有致病细菌和异物；•确认真空泵设备的各个连接口是否紧固，以防漏气；•确认泵的转子是否能够自由转动。
2、操作过程中注意事项在操作爱德华真空泵设备时，需要注意以下几点：•避免在设备未关机的情况下触碰电线或设备；•在碰触高温部分和易滴出物的部分时，需要佩戴防护手套和眼镜；•禁止将化学品直接倒入泵体中；•在操作进行过程中，需要保持设备干燥、清洁、无尘。
在设备维护过程中，需要注意以下几点：•其他泵设备中除气体泵外，若有漏油，应紧急整治。
若非常规操作造成泵组件过热，应至少休息 20 分钟，然后再开机；•不要将化学品直接倒入泵体中，以免损坏设备；•定期清洁泵的滤网和泵体内部的灰尘，避免过度沉积影响设备的使用寿命。
三、保养规程1、日常保养在日常使用爱德华真空泵设备时，需要注意以下几点：•保持设备干燥、清洁，且无尘；•定期检查设备的这些部分：油位是否过低，滤芯是否异常；•定期更换真空泵的密封性部件。
2、长期保养在爱德华真空泵设备长时间未使用时，需要注意以下几点：•清理设备表面的污垢和水汽；•拆下泵体，清理并更换各个部件；•拆下转子、轴承、泵胚，并加差油清洗。
在设备维护过程中，需要注意以下几点：•定期检查和维护设备，以保证设备的正常运行；•遵循设备操作规程，确保设备使用寿命的延长；•使用合适的替代零部件，以确保设备的正常运行状态。
四、总结通过以上介绍，我们可以了解到爱德华真空泵设备的安全操作和保养规程，希望大家能够认真遵守，以确保设备的正常运行和使用寿命。
同时，如果在操作或维护过程中出现问题，应及时联系专业技术人员进行调试和修理。
真空成型机安全操作及保养规程
真空成型机安全操作及保养规程真空成型机是一种用于制造塑胶制品的设备。
在使用过程中，需要严格遵守操作规程，以确保设备的正常运行和操作者的安全。
本文将介绍真空成型机的安全操作规程和保养要求，以帮助用户正确使用和维护真空成型机设备。
一、安全操作规程1. 读取设备说明书在使用真空成型机之前，必须仔细阅读设备说明书，并了解设备的性能及操作细节，以确保操作者能熟练操作设备，并避免由于操作失误造成意外事故。
2. 安装设备在安装设备之前，请确认设备的电压与所在的电源电压符合，不要直接接在220V的电源上。
在安装设备时，确保设备的水平度正确，并且所有连接都紧固牢固。
同时，必须确保设备周围有足够的安全距离，以方便操作者使用。
3. 准备工作在使用真空成型机之前，必须先进行设备的准备工作。
首先，清理设备周围的杂物以及设备内部的废料和杂物。
然后，检查设备安全设备是否完好，各类开关是否正常，以确保设备可以正常运行。
4. 使用设备在使用真空成型机的时候，要严格按照使用说明书的规定进行操作。
在操作之前，需要将设备的各部件检查一遍是否齐全，运行是否正常，并保持操作环境干净整洁。
在启动设备之前，确保工作室内部没有异物，并将烤箱的温度调至合适的工作温度。
5. 关机与清洁在完成工作后，必须先将真空泵关闭，然后再关闭电源开关，将设备集中安放，并清洁设备周围的垃圾等残渣。
同时，清理设备内部的残留物和杂物，使设备在下一次使用前能安全、高效地工作。
二、保养要求为提升真空成型机的使用寿命，提高设备的生产效率和品质，以下是保养要求。
1. 定期保养设备在长时间的工作中，会产生一些水垢、油污等脏物，在使用过程中需要定期进行清理和保养。
对于设备定期维护需要有专业人员进行，每月至少一次对设备进行定期清理及质量检测。
2. 清洁维护清洁和维护设备操作按钮及开关的功能，在长时间的工作中，按钮及开关随着操作次数的增加可能会出现疲劳及老化等现象。
必须定期对设备进行清洁、检查及调整，并经常涂抹润滑油，以确保设备的正常功效。
真空设备操作维护保养规程
真空设备操作维护保养规程真空设备是一种常用的工业设备，广泛应用于各个领域。
为了确保设备的正常运行和延长其使用寿命，必须制定一套操作维护保养规程。
下面是一份适用于真空设备的操作维护保养规程，共计1200字以上。
一、设备操作规程1.操作前的准备（1）操作人员应通过相关培训，具备操作真空设备的基本知识，掌握设备的工作原理和操作流程。
（2）进行操作之前，应对设备进行检查，确保设备处于正常工作状态，包括检查电源、传感器以及阀门的电气连接是否良好，真空泵的油位、温度和压力是否正常等。
（3）清理操作环境，确保设备周围没有杂物和障碍物，以防操作过程中发生意外事故。
2.设备启动和关闭（1）设备启动前，应依次按照设备启动程序进行操作，如先开启真空泵，再打开阀门设置工作压力。
（2）设备关闭时，应按照正常的关闭程序进行操作，如先关闭阀门，再关闭真空泵。
3.设备运行过程中的注意事项（1）在设备运行过程中，操作人员应密切观察设备的运行状态，及时发现并处理设备运行中的异常情况，如压力波动、温度升高等。
（2）严禁随意更改设备的运行参数，如泵速、阀门开度等，必要时应事先与专业技术人员沟通。
（3）定期抽取设备运行数据，如真空度、泵速等，以便进行设备运行分析。
1.日常维护（1）定期检查设备的电源、传感器和阀门的电气连接，确保连接良好，防止松动或短路等问题影响设备正常运行。
（2）定期清理设备表面的灰尘和污垢，使用干净柔软的布进行清洁，禁止使用腐蚀性或有机溶剂清洁设备表面。
（3）注意维护设备的密封性能，如有泄露现象，应及时更换密封件。
2.润滑维护（1）定期检查真空泵的油位和油质，对于不合格的油料应及时更换。
（2）真空泵在使用前及过程中应进行润滑，可使用特殊的润滑油涂抹在润滑部位。
（3）定期清理真空泵的滤油器和空气过滤器，保证其流通通畅。
3.定期维护（1）定期进行设备的大修，包括拆卸设备、更换旧件、清洗零部件、检查设备内部磨损情况等。
（2）定期对设备进行封闭测试和真空度测试，确保设备的密封性和工作性能。
实验室旋片泵真空泵安全操作及保养规程
实验室旋片泵真空泵安全操作及保养规程1. 引言实验室中常用的旋片泵真空泵（以下简称真空泵）是实验室常见设备之一，广泛应用于化学实验、物理实验等实验室工作中。
为了确保实验室人员的人身安全和设备的正常运行，本文将介绍真空泵的安全操作规程和保养方法。
2. 安全操作规程2.1 使用前的准备工作在使用真空泵之前，需要进行以下准备工作：•检查真空泵的电源线是否完好，如有损坏应及时更换；•检查工作区域是否清洁整齐，确保没有杂物妨碍操作；•确保真空泵工作环境的温度适宜，不要放置在过热或过寒的环境中。
2.2 正确操作真空泵的步骤正确操作真空泵的步骤如下：1.打开真空泵的电源开关，确保真空泵正常运行；2.调节真空泵的排气阀门，使气体能够顺畅排出；3.打开样品容器连接管道的阀门，并确保密封良好；4.打开真空泵的启动开关，开始抽取气体；5.实时观察真空泵的运行情况，如有异常应立即停止操作并检查原因；6.操作完成后，先关闭真空泵的启动开关，再关闭样品容器连接管道的阀门；7.最后关闭真空泵的电源开关。
2.3 防止真空泵可能出现的危险情况为了防止真空泵出现危险情况，需注意以下事项：•避免过载运行，确保真空泵的正常工作状态；•避免泵体过热，应及时停止并等待冷却后再继续操作；•尽量避免泵体受到震动或碰撞；•定期检查真空泵的零部件是否损坏或磨损，如有问题应及时更换。
3. 保养规程3.1 定期清洁真空泵定期清洁真空泵可以提高其工作效率和使用寿命。
清洁步骤如下：1.断开真空泵与电源的连接；2.使用干净的布或纸巾擦拭泵体表面的污垢，注意不要擦伤泵体；3.使用吹气枪或气体喷洒器将泵体内的灰尘吹除干净；4.若发现泵体内有较多污垢，可以使用适当的清洗剂清洗，然后用清水冲洗干净；5.将泵体放置在通风干燥的地方，待其完全干透后再重新组装并连接电源。
3.2 润滑真空泵的关键部件润滑真空泵的关键部件可以减少磨损和摩擦，提高泵的工作效率和使用寿命。
润滑步骤如下：1.将润滑油倒入泵体的润滑油槽中，注意适量，不要过多或过少；2.打开润滑油润滑泵的出气阀门，使润滑油能够流动到关键部件；3.让真空泵运行一段时间，使润滑油充分润滑关键部件；4.定期更换润滑油，避免润滑油变质或污染影响泵的正常工作。
真空泵维修安全操作及保养规程
真空泵维修安全操作及保养规程真空泵是实验室等场合中常用的设备之一，用于在实验室中制造低压或高真空环境，从而帮助实验的进行。
在实验室中，发生真空泵故障而触发事故的情况时有发生，因此，进行真空泵维修时需要遵循一些安全操作规范以确保操作人员的安全。
真空泵维修前的安全准备在进行真空泵维修前，需要进行以下安全操作：1.断电操作：由于真空泵需要使用电力，在维修工作前，需要将电源切断。
切断电源时，要确保电源旁边有人负责观察，如有异常情况应立刻关掉电源并进行排查。
2.防护措施：维修人员必须穿戴安全衣物，并配戴好防护手套和安全帽以保证自身安全。
3.检查环境：在维修过程中，需要环境清洁且干燥，避免尘土和水气进入真空泵内部。
真空泵维修注意事项在维修真空泵时，我们应注意以下事项：1.维修时需要保持警惕，如果感觉不妥，应立即关掉电源。
2.维修过程中，需要使用专业的工具和设备以确保维修能够顺利进行。
遵守操作步骤，不可随意更改。
3.定期清理：经常对泵进行清洗工作，避免在维修过程中产生污染，影响维修效果。
4.注意泵的温度：在泵长时间使用后，泵的壳体会变得很热，在泵维修过程中，要注意泵的温度。
使用钳子或类似器具来移动零件或部件，不要手工操作。
真空泵基础保养对于一些基础保养工作，我们需要每隔一段时间进行检查，以维护真空泵的使用寿命。
以下是一些常用的保养方法：1.定期清理：定期对真空泵进行清理，去除泵内的灰尘、油脂、污垢等，以保证泵内干净和泵的工作效果。
2.润滑：在所使用的泵中添加润滑剂，提高泵的使用寿命和效果；3.检查机件：定期检查泵内零件，发现损坏零件及时更换。
结束语总之，在进行真空泵维修和保养时，需要特别注意它的安全和准确性，把控好操作流程，并防止对操作人员造成伤害。
同时对于真空泵的日常使用，及时保养，也是确保其长期使用效果的重要手段。
以上便是真空泵维修安全操作及保养规程的一些注意事项和基础保养内容，希望大家参考并遵循这些规程。
单级真空发生器安全操作及保养规程
单级真空发生器安全操作及保养规程单级真空发生器是一种常用的实验仪器，常用于制备高纯度材料以及其他材料表征实验。
在使用单级真空发生器时，我们需要注意安全操作和保养规程，以确保实验顺利进行且延长设备寿命。
接下来，本文将详细介绍单级真空发生器的安全操作及保养规程。
安全操作1. 熟悉设备使用说明书在使用单级真空发生器之前，必须仔细阅读设备的使用说明书，熟悉设备的基本结构、操作方法以及安全注意事项等。
如果有任何问题或疑虑，应咨询专业人士或厂家服务人员。
2. 确保设备稳定性单级真空发生器的设备稳定性对于实验的顺利进行至关重要。
因此，在使用设备之前，首先要确保设备的基础结构、电源、真空泵及密封装置等都处于合适的状态。
同时，在使用单级真空发生器时，要保持设备的稳定性。
需要注意以下事项：•在使用过程中，不要随意动摇或移动设备。
•确保电源稳定，不要在大功率电器使用同一电路。
•确保各部件的连通性，不要出现任何泄漏现象。
•在操作过程中，不要对设备进行过度冲击或过度加压。
3. 确保人员安全要保证实验人员的安全，需要遵循以下操作规程：•在使用设备时，必须穿戴适当的实验室保护装置。
•在操作过程中，不要将手伸入真空腔内或靠近真空泵。
•当设备出现问题时，应立即停止操作，寻求专业技术支持或厂家服务人员。
4. 确保实验室安全单级真空发生器的使用还需要注意实验室安全。
具体来说，要做到以下几点：•在实验室存储化学试剂时，要严格遵守防爆化学保存规则。
•避免化学试剂与真空泵油混合，以免引起爆炸。
•确保设备良好通风，避免产生有害气体积聚。
•确保所有实验室管理规程严格遵守。
保养规程为了延长单级真空发生器的寿命，需要做好定期保养，具体保养规程如下：1. 清洗设备定期清洗单级真空发生器的各个部件，包括真空阀门、密封装置、观察窗等。
可以使用清洁剂，但要注意不要将清洁剂残留在设备中。
同时，要避免使用强酸、强碱等腐蚀性溶液进行清洗。
2. 检查设备定期检查单级真空发生器的主要部件，包括真空泵、高压电源等。
真空干燥器安全操作及保养规程
真空干燥器安全操作及保养规程真空干燥器是一种广泛用于实验室和工业生产中的设备，用于干燥和除去杂质。
在操作真空干燥器时，必须遵守严格的安全操作规程，以避免危害人体和设备的发生。
此外，保养真空干燥器可以延长其寿命，以确保其高效、稳定地工作。
下面是真空干燥器的安全操作规程和保养规程。
真空干燥器安全操作规程1. 操作之前的准备在操作真空干燥器之前，请仔细阅读设备的操作手册，并确保您全面了解设备的使用方法和注意事项。
在正式操作之前，请做好以下准备：•确保设备的电源和电气安装符合要求，不要出现电路、电缆等问题。
•准备干燥样品和相关试剂。
•佩戴适当的个人防护装备，例如手套、口罩、护目镜等。
•将样品放在干燥室中，且确保样品不会过分接触设备其他部件。
2. 操作时的注意事项当进行真空干燥器的操作时，请遵守以下注意事项：•在进行操作之前，先将干燥室内的空气完全排出，在干燥室内产生真空之前，务必关闭大门，以确保气密性。
•当打开大门后，应等待干燥室恢复正常大气压力后再操作其他部件。
•在进行操作之前，请先关闭真空度计阀门和闸门阀门。
•操作人员不得离开设备区域。
设备正在运行时，oper需要稍加监控和观察。
•在干燥室中进行的操作要尽量避免碰触设备其他部件，以免造成损坏。
3. 事故处理如果意外事件发生，请立即按照以下步骤处理：•关闭真空度计阀门和闸门阀门。
•关闭电源。
•记录损坏部位、地点和原因，并将其通知有关人员进行维修和加强安全措施。
真空干燥器保养规程维护和保养真空干燥器可以延长其使用寿命，使它高效、稳定地工作。
以下是一些关于保养真空干燥器的方法：1. 定期检查和修理定期检查干燥器的内部和外部部件是否存在损坏或磨损的情况。
检查包括：真空泵、闸门、手柄、灯具等。
及时发现并处理问题，以确保设备的正常运转。
2. 定期更换附件对于频繁使用的附件和消耗品，例如真空度计、干燥罐铝箔纸、气阀、换气管道等，需要定期更换。
不定期更换会导致设备损坏或影响使用效果。
真空度测试仪安全操作及保养规程
真空度测试仪安全操作及保养规程1. 前言真空度测试仪是一种用于测量物体内部空气压力的仪器，在现代科学研究、工业生产中广泛应用。
为确保使用安全和维护仪器稳定性，以下为真空度测试仪的安全操作和保养规程。
2. 安全操作2.1. 使用前的检查在使用前应检查以下几个方面：•仪器是否处于正常工作状态；•真空计是否准确；•仪器表面是否清洁。
2.2. 操作方式使用真空度测试仪请严格按照以下步骤进行：•打开仪器电源，等待数分钟，使其达到正常工作状态；•连接好真空泵，并按照说明书操作；•打开真空管道阀门，当真空度达到测试要求时，关闭管道阀门。
测试结束后，打开气嘴放空。
使用维护真空度测试仪时，一定要注意以下几点：•操作人员应受过专业培训，具有保修资格和经验；•操作前应认真阅读说明书；•仪器和附件均应配备专业的配件和工具；•仪器内的高压元件应严格按照规定接地，以确保操作人员的安全；2.3. 注意事项在操作真空度测试仪时，还要注意以下几个方面：•所有的接线和电缆应注意保持干燥，不得漏电；•不要过度使用真空度测试仪，避免真空度测试仪的损坏或故障；•不要强行拆卸和修理仪器；•不要在高温、低温或潮湿的环境下使用真空度测试仪。
3. 保养规程为了延长真空度测试仪的使用寿命，并确保其性能稳定和准确性，以下是真空度测试仪的保养规程：3.1. 每日清洁每日清洁可以防止灰尘和污垢影响仪器性能，保证仪器的准确性和稳定性。
清洁步骤如下：•用干净的软布轻轻擦拭仪器外壳，去除灰尘和污垢；•用清水和肥皂清洗传感器和排气设备，使其保持清洁；•用软刷子清洁仪器内部的所有部件。
3.2. 维护维护可以延长仪器使用寿命和性能。
每三个月维护一次即可。
具体维护步骤如下：•检查真空泵是否正常工作；•检查真空管道阀门是否正常工作；•检查仪器内的各个部件是否有松动或脱落现象；•检查控制系统电路的性能，确保电线和接头处不漏电。
3.3. 存储在长时间不使用真空度测试仪时，需要做好仪器的存储工作，以确保仪器的性能和精度。
真空脱气机安全操作及保养规程
真空脱气机安全操作及保养规程真空脱气机是一种广泛应用于化工、食品、医药等领域的设备，其主要功能是通过抽取容器中的气体，降低容器内的压力，以达到浓缩、干燥、脱水等目的。
然而，由于该设备涉及到高压、高温、高真空等危险因素，误操作或不当使用不仅会损坏设备，还会给人身安全带来威胁。
因此，严格遵守真空脱气机的安全操作规程及保养规程是极为重要的。
安全操作规程一、操作前检查1.真空脱气机的各项指标应符合要求，并进行全面检查，发现问题应及时解决；2.检查密封圈是否处于良好状态，防止漏气导致危险发生；3.检查真空脱气机的电源线路是否安装牢固，是否接地良好，以免发生火灾或触电等安全事故。
二、正常操作1.操作人员应认真学习并了解真空脱气机的操作规程，在不确定的操作情况下，应及时咨询专业人员；2.操作时应对容器、进气阀门、排气阀门等部位进行完整检查，并确保所有旋转部件工作正常，操作前应保持设备处于关闭状态；3.操作人员应全程关注设备运行状态，观察容器内部压力、温度等变化情况，根据情况及时调整减压、加热等操作；4.停机前应先关闭真空泵，使大气进入容器内，再关闭脱气机主体；5.长时间放置设备时，应在设备的进气口处设置干燥剂，并将设备处于通风干燥的环境中。
三、应急措施1.如发现温度升高过快，应立即切断电源，同时关闭进气阀、排气阀，紧急排气，待温度下降后再打开排气阀进行正常排气操作；2.任何情况下不得在设备内操作，操作结束后一定要清理干净设备，安置好相关零部件，以便下次操作使用。
保养规程一、日常保养1.每次操作后要仔细清洗设备内外，以免积存灰尘或其它杂物引发漏气或着火等安全隐患；2.应定时检查设备内的润滑部位并加注润滑油或脂，确保摩擦部位始终保持良好的润滑状态；3.定期检查设备内的真空泵，更换磨损部件、清洗滤网，以确保泵的性能保持良好；4.定期检查真空脱气机部分散热装置，如风扇、散热片等，清洗脏物，确保设备散热性能正常。
二、季度保养1.在每个季度结束时，对设备进行全面检查，包括各部位的固定件、电线连接件、液压管路及传动件等，发现问题及时处理，并增强设备的安全性；2.定期对设备电气进行检查，如接头是否坚固、电气线是否过度磨损等，确保设备达到最优状态；3.若操作后长时间不使用设备，需关闭电源，切断进气阀和排气阀门，将设备内空气压力降至大气压力下，以防油封干涉进口、密封胶老化、电池自燃等安全隐患。
真空设备安全操作保养规程
真空设备安全操作保养规程前言真空设备是科研、工业生产中不可或缺的重要设备之一，因其具有高度真空环境来实现对物质的精细处理和分析等功能，是众多产业领域的重要装备。
然而设备的操作与保养需要遵循一定的规程，以确保设备的正常运行、维护人员的安全以及有效的使用。
本文将就此阐述真空设备的安全操作与保养规程。
真空设备安全操作规程1. 装置操作规程1.设立操作台，将设备放置在平稳的位置上，并与电源连接。
2.为真空设备提供电源之前，需先检查整个系统的电源开关和状态显示是否正常。
3.设备组装完成后，必须进行真空泵的加油和加注机油以保证其正常运行。
4.当系统需要进行热真空处理时，需先进行漏气试验，确保真空气低至５０００Pa以下，避免发生意外事故。
5.当在真空环境中操作或尝试打开任何压力装置时，务必佩戴手套和眼镜等个人防护装备以避免意外。
2. 技术保护规程1.进行任何操作之前，均需了解设备完整的构造和性能，并严格遵循操作手册中给出的安全规范。
2.所有操作设备和设备之间的所有连接都需要经过检验，并确保氧化物、烟灰和其他污染物质在系统内部大量存在前已完全被清除。
3.确保设备的真空度保持在适宜的范围内，并注意保存真空泵和阀门的正确运作状况。
4.避免任何可能影响系统安全性和真空度的操作过程，例如：将加载重物放置在制氧系统中或良好运作的气压阀门关闭。
5.确保系统拥有适合的检测设备，以对任何异常情况进行及时判断和干预，例如：泄漏检测仪器、系统状态监测仪器等等。
3. 操作后的系统维护规程1.每次操作完成后，必须拔下设备断路器并退出设备，将设备表面进行清洁和消毒。
2.保持设备的通风良好，避免过度使用设备导致电机过热和进行内部零件防雾化处理。
3.确保设备连接和端口的干燥和清洁，以防止生锈和腐蚀等问题。
4.随时检查设备的确切位置，并了解那些易磨损的部件及时更换或维修，例如：真空泵、阀门、接头等等。
真空设备保养规程1.定期清洁设备内部和外部，包括排热板、真空管和接口。
真空性能密封检测仪安全操作及保养规程
真空性能密封检测仪安全操作及保养规程1. 引言真空性能密封检测仪是一种用于检测密封性能的仪器设备。
为了确保设备的正常运行以及人员的安全，需要严格遵守操作规程和保养要求。
本文将介绍真空性能密封检测仪的安全操作和保养规程。
请操作人员仔细阅读并按照规程执行。
2. 安全操作规程2.1 环境要求•确保设备放置在干燥、通风良好的室内环境。
•避免设备在高温、潮湿等恶劣环境下运行。
2.2 电源要求•使用合适的电源插头，保证供电稳定。
•插头必须牢靠连接，避免松动。
2.3 操作步骤1.打开电源开关，待设备启动完成后，进入待机状态。
2.检查样品的安装和连接，确保与设备的接口良好连接。
3.调节设备参数，根据实际需要设置测试时长、真空度等参数。
4.启动测试，观察设备运行状态，确保正常运转。
5.测试完成后，及时关闭电源开关，待设备彻底停止运行后，方可进行下一项操作。
2.4 安全注意事项•在操作设备前，必须戴上防护手套、护目镜等个人防护装备。
•禁止将手指、工具等放入设备内部进行操作，避免发生意外伤害。
•如果发现设备异常或存在安全隐患，应立即停止使用并及时联系维修人员进行检修。
3. 保养规程为了确保真空性能密封检测仪的正常使用寿命和测试准确性，需要进行定期的保养和维护。
3.1 清洁维护•定期清洁设备的外观，使用干净的软布擦拭，避免使用酸碱性溶剂。
•清洁设备内部时，应确保设备已断开电源并且完全冷却。
•在清洁设备内部时，使用吹气枪或软刷进行轻柔清理，不可使用尖锐物品刮擦设备内壁。
3.2 设备保养•每次使用后，应彻底清除设备内部的尘土和污物，保持设备干净。
•定期检查设备的电源线、数据线等连接线路是否松动或损坏，如有问题及时更换。
•每六个月或根据实际使用情况，进行一次设备的维护保养，包括更换耗材、清洁滤波器等。
4. 总结本文介绍了真空性能密封检测仪的安全操作和保养规程。
通过严格遵守操作规程和保养要求，可以确保设备的正常运行和测试准确性，同时保障操作人员的安全。
真空抽取设备操作规程及维护保养
真空抽取设备操作规程及维护保养1. 设备操作规程1.1 准备工作在操作前，确保以下准备工作已完成：- 检查设备是否处于正常工作状态；- 确保设备周围没有可燃物或其他危险物品；- 穿戴个人防护用品，如防护眼镜、手套等。
1.2 操作步骤按照以下步骤进行真空抽取设备的操作：1. 打开设备电源，并确保电源指示灯亮起；2. 打开设备的控制面板，设置所需的真空度和时间参数；3. 连接被抽取物体或与设备的真空管道，并确保连接牢固；4. 卸下气阀盖，打开设备的抽气阀，开始抽气过程；5. 观察设备的真空仪表，当真空度达到设定值时，关闭抽气阀；6. 等待被抽取物体的处理完成后，关闭设备电源和控制面板；7. 断开真空管道并清理设备。
1.3 操作注意事项在操作真空抽取设备时，需要注意以下事项：- 避免在高温或高压状态下进行操作；- 不要将手指、衣物或其他物体接触到真空管道或接口；- 遵守设备的使用规定，不要超过设备的额定工作压力或电流；- 定期检查设备的密封性能，如有异常及时维修。
2. 设备维护保养2.1 日常检查定期进行以下维护保养工作以保证设备的正常运行：- 清洁设备外壳及控制面板；- 检查设备的电源线、接插件是否正常；- 检查真空管路是否畅通，并清理管道中的积尘；- 检查设备的真空泵是否有异常声音或振动。
2.2 定期保养每隔一段时间，进行以下维护保养工作：- 检查设备的真空泵是否需要更换或清洗；- 检查设备的滤网是否需要清理或更换；- 检查设备的密封垫片是否松动或磨损。
2.3 不可维修问题如遇到以下问题，请立即停止使用设备，并联系维修人员进行处理：- 设备发生漏电或短路现象；- 设备无法正常启动或停止；- 设备发生严重的噪音、震动或异味。
3. 安全操作措施在操作真空抽取设备时，应遵守以下安全操作措施：- 严禁在设备运行过程中随意触碰设备部件；- 确保操作人员熟悉设备的标识和警示信息；- 严格按照操作规程进行操作，避免违规操作；- 不要将设备用于超过其设计用途。
真空泵维修保养操作规程
真空泵维修保养操作规程一、前言真空泵是一种常用的设备，用于产生并维持在真空状态下的工作环境。
为了保证真空泵的正常运行和延长使用寿命，本文将介绍真空泵的维修保养操作规程。
二、安全注意事项在进行真空泵的维修保养之前，请务必遵守以下安全注意事项：1. 进行维修保养之前，必须切断真空泵的电源，确保设备处于停电状态。
2. 维修保养过程中应使用适当的个人防护装备，如手套、护目镜和防护服。
3. 在维修保养过程中禁止将手指、工具等物体伸入运转的真空泵内部。
三、维修保养步骤以下是真空泵的维修保养步骤：1. 外观检查a. 仔细观察真空泵的外观，检查是否有损坏、渗漏或变形的部分。
b. 检查电缆、管道和连接部件，确保其安装牢固，无松动。
2. 清洁内部a. 打开真空泵的外罩，将内部部件取出。
b. 使用干燥、清洁的布或气体将所有内部部件擦拭干净，确保无灰尘和杂物。
3. 更换耗损部件a. 检查真空泵的叶轮、密封件等耗损部件，如有损坏或磨损应及时更换。
b. 使用合适的工具和技术，按照设备使用说明书中的指示进行更换。
4. 润滑部件a. 涂抹适量的润滑油或脂类物质在真空泵的轴承、齿轮等润滑部件上，确保其处于良好的工作状态。
b. 注意使用适合的润滑剂，并遵循设备制造商的建议。
5. 能效测试a. 维修保养完成后，启动真空泵，并进行性能测试。
b. 检查真空泵的吸气速度、真空度等参数是否满足要求，如有异常应进一步检查和调整。
四、定期保养计划为确保真空泵的长期稳定运行，制定定期保养计划非常重要。
以下是一些建议：1. 根据设备使用频率和工作条件，制定定期的维修保养计划。
2. 检查真空泵的过滤器，并定期清洁或更换。
3. 定期检查电缆、接线和阀门等部件的连接情况，确保其牢固可靠。
4. 定期检查真空泵的机械密封装置，并进行必要的清洁和润滑操作。
5. 每隔一段时间，对真空泵进行全面的检查、清洁和校准。
五、结语本文简要介绍了真空泵的维修保养操作规程，从安全注意事项、维修保养步骤到定期保养计划。
型真空箱采样器安全操作及保养规程
型真空箱采样器安全操作及保养规程前言型真空箱采样器是化学分析中常用的一种设备，用于从溶液、气体等样品中取出一定量的样品进行分析或检测。
在使用期间，必须严格遵守相关操作规程，以确保采样器的正常使用，防止事故的发生。
本文将介绍型真空箱采样器的安全操作及保养规程，以供参考。
安全操作规程1. 设备检查和准备工作1.校正设备：使用前需要进行检查和校正，确保设备运行一切正常。
2.确保倒液管和针头清洁干净：使用前，在倒液管和针头前反复注射清洁液，再运转采样器，以清洁管道。
2. 合理操作1.确认好控制软件设置：采样器使用前需要确认好所需的采样量和采样速度，然后在控制软件里设置相关参数。
2.根据设备要求加样：采样器在运行时需按照设备要求加样，一次加样不要超过设备要求的最大加样量，以及采样器最大可承受的负荷。
3.操作时保护好关键部位：操作时，要将倒液管，针头等关键部位保护好，以免发生意外。
同时，要确保设备不受外力干扰。
3. 停止采样器操作1.减压：停止采样器操作时，需先将系统内外压力降至相等再关闭采样器。
2.清洁采样器和管道：停机后，请将采样器和管道清洗干净，清除污渍和残留液体。
4. 处理故障情况1.清理管道：若管道堵塞，请清理管道并检查管道是否与倒液管、针头等部位连接正常。
2.设备报警：若设备报警，请先关停设备，然后检查可能的故障原因，如果不确定，及时联系专业人员进行维护保养。
保养规程1. 日常保养1.设备清洁：日常使用完毕后，可将采样器和配件清洗干净，防止沉积的物质影响设备操作。
2.定期更换消耗品：包括倒液管、针头、O形密封圈等，保持设备运行的高效性。
2. 定期维护1.检测采样计数器：定期检测采样计数器的设定值和实际采样次数是否有差距，以及是否需要修复或更换采样计数器。
2.检查防护装置：检查安全装置是否齐全有效；3.检查管路情况：检查管路情况是否有泄漏、老化；4.定期清洗内置管道：定期清洁内置管道，确保样品污秽或沉积物不会影响设备正常运行。
真空上料机安全操作及保养规程
真空上料机安全操作及保养规程真空上料机是一种用于加工塑料颗粒的设备，它将塑料颗粒通过真空吸入机械内部，加热和熔化后再注入模具中，制成所需的产品。
在使用真空上料机时，需要注意安全操作和保养规程，以确保设备的正常运行和操作人员的安全。
安全操作规程1. 熟悉操作步骤在使用真空上料机前，操作人员需要先仔细阅读设备操作手册，熟悉设备的操作步骤和注意事项。
在操作过程中应按照手册要求，逐步进行。
2. 确保设备处于安全状态在操作前，需要检查设备的各个部位是否处于安全状态，特别是刀具、加热器、冷却器等易热部位以及传动部位要注意检查。
若发现异常情况，需要及时停机检修和更换。
3. 确保电气设备完好在使用真空上料机前需要检查电气设备是否完好，电缆是否损坏或老化，插头接触是否良好等。
还应注意电气设备的防水和防尘问题。
4. 佩戴个人防护装备在操作过程中，需要佩戴个人防护装备，如手套、口罩、护目镜等，以避免设备在工作时产生的颗粒、热气、有害气体对身体的危害。
5. 留意设备运行状态在设备运行过程中，需要不时检查设备运行状态，如温度、压力、各个部位是否正常工作等。
如发现异常情况，需要及时停机检修。
6. 操作人员不能离开设备在设备操作过程中，操作人员不能随意离开工作岗位，必须持续关注设备运行状态。
7. 停机前必须关闭电源在停机前，操作人员必须关闭设备电源，确保设备处于安全状态。
保养规程1. 定期检查设备为确保设备的正常运行，需要定期检查设备的各个部位，包括传动部位、刀具、加热器、冷却器等，及时更换损坏零件，保持设备处于良好状态。
2. 注意设备清洁和维护在设备使用过程中，需要注意设备的清洁和维护，如润滑、擦拭、清洗零件等，以保持设备的干净和整洁。
3. 积累使用经验设备操作人员应积累使用经验，对设备的运行状态、部件性能等有一个深入了解，能在运行中尽快判断异常情况及时处理，以保障设备的正常运行。
4. 学习维修知识设备操作人员还应学习一些维修知识，如设备维修和检修，能够及时对设备进行检修和维护，延长设备使用寿命。
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关闭真空计、关闭精抽阀。
打开放气阀。
3.5.1.17放气结束。
3.5.1.18打开箱体大门。
3.5.1.19取出工件
3.5.1.20装入工件。
3.5.1.21关闭放气阀。
3.5.1.22重复上述过程。
3.5.2设备维护
3.5.2 .1 日常保养
（1）开机前，检查水、电、气是否符合要求。（开启磁控靶前，检查靶水开关，每次开炉
电机：Y132L-4 功率：5.5KW；
电机转速：1440转/分；
配用三角带；B/1600：4根；
冷却水消耗量：480L/H；
润滑油：1#真空机械泵油（KK-1） 储存量8Kg；
口径：进气90mm 排气60mm。
3.1.2操作规范
起动前的准备
（1）检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，以减少起动力矩。
4.15 规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜
防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。
4.16各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。
4.17设备工作时，注意观察仪表的显示情况及各泵的声音，以便及时发现异常找出问题。
4.18设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10℃～40℃。在拆修设备时各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。
4.7设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把水冷
套内的循环水放掉。
4.8充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。
4.9机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把油放干净。
4.10扩散泵换油时，内部如有氧化，把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。
下面工作应三个月进行一次
（1）以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。
（2）更换机械泵油（或者考虑使用1000小时）。
（3）更换机械泵油过滤器。
（4）请打开各电源柜及控制柜外罩，以压缩空气清洁内部，检查紧固螺钉是否松动，机
壳接地是否良好，各元器件有无异常。
下面的工作应六月一次：
（1）将全部屏蔽板拆出清洗，彻底清洗炉体内部，个别膜层较厚部分，可用抛光布轮或
3.3扩散泵操作规程
3.3.1性能规范
型号：KT600 600表示吸气口径；
抽气速率：≥16000L/S；
极限真空：6.5X10-5Pa；
加热功率：9KW；
装油量：6-7L(ks-3)；
耗水量：≤1000L/H；
进口/出口：600/150。
3.3.2操作规范
起动前准备
(1)检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2～0.3MPa）；
（1）以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部，内衬。
（2）检查罗茨泵泵油状况，如发现油质变色，変烯，乳化等情况，应立即换油。
（3）清理机械泵口过滤网。
（4）检查各靶材消耗状况。每更换一次靶材，用特斯拉计测量靶磁场强度。（当心强磁场、手机、手表等精密仪器及电气请远离！！带有心脏起搏器的人员请远离！！）。
1．目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产，
提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。
2．范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养
3．操作规程
3.1旋片泵操作规程
3.1.1性能规范
型号：2X－70
几何抽速：70L/S；
极限压力：1帕；
泵转速：450转/分；
（4）检查设备动力线是否有老化现象，及时更换。
大修：
视设备工作情况，每两至三年大修一次，彻底清理炉体，更换全部真空系统密封圈，
检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备。。
4．维护保养
4.1真空系统较长时间以后，极限真空度下降，应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检
修。必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。
4.19设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。
4.20 运行中的问题与对策
问题
原因
解决方法
真空管路或系统内返油
1.油蒸汽返流至真空管路或系统中
2.油蒸汽压不对
3.停泵时，油返流
4.截流阀板上的密封件损坏
5.抽气管路底部密封件腐蚀或损坏
能正常工作）。
3.5.1.3在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况，清理炉内卫生。装工件检查炉门密封
圈，关炉门。
3.5.1.4开主抽泵、开粗抽阀门。
3.5.1.5至真空度到400 Pa时（此时罗茨泵转子为静止状态）。
3.5.1.6开前级阀。
3.5.1.7启动罗茨泵，
3.5.1.8至真空度到6.7 Pa时，关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵，开精抽阀。
(2)起动前，高真空阀门应处于关闭位置。
起动
（1）起动前级泵，抽出扩散泵内的气体。
（2）接通冷却水（注意：急冷水套在扩散泵停机时才能通水）。
（3）接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热60min后，当容器压力达到工艺规定压力时，
打开高真空阀门，扩散泵可以进入正常工作状态。
停机
（1） 关闭高真空阀门；
（2）切断扩散泵加热其电源，停止加热。
茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。
（2）停止本泵并关闭排气阀门。
（3）停止前级泵。
（4）关闭冷却水进水阀。
3.2.3注意事项
应经常保持使用环境清洁干净。
应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油
不清洁时，应及时更换。
润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。
（3）当泵底温度≤60℃关闭管道阀门。
（4）关闭前级泵， 并向前级泵充气，以防返油。
（5）停止对扩散泵供水。
3.3.3 注意事项
扩散泵出水温度应≤40℃，否则应立即检查处理。
如果扩散泵在正常运行中突然停电停水，应按照以下步骤处理：
（1）立即关闭高真空阀和前级阀；
（2）迅速抽出加热器；
（3）马上接通急冷水路，并向扩散泵底部淋水；
（14）检查分子泵油池油量，保证油池油量处于油标上下限之间。
（15）检查溅射靶与罐体之间的绝缘度，绝缘电阻大于200MΩ为合格。
（16）检查转架绝缘度；绝缘电阻大于200MΩ为合格。
（17）注意记录隔日真空，养成良好的习惯，便于及时发现设备的问题。
3.5.2 .2定期维护
下面的工作应每周进行一次：
（1）检查水路系统内各水表，阀门等出接口有无渗漏。
4.11本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气体。
4.12设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。
4.13气动系统的气动三连件的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。
4.14设备的整机电压要保证在350V～420 V范围内，三相要平衡。
门后，用酒精摖拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部。）
（2）检查循环水路各接口，保证无渗漏。
(3)检查循环水路进水温度是否在5－250C。回水温度是否低于350C。进水压力为2.5kg/cm3－3.0kg/cm3
(4) 检查水流量开关是否正常工作。
（5）检查压缩机管路各接口，保证无压缩空气外漏。
（6）检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。
（2）检查压缩空气管路及气三联件，查看油杯中油量是否合适。及时放掉杯中残余水分。
（3）使用压缩空气清洁机械泵外部，防止灰尘过厚影响散热。
（4）以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。
（5）清洁观察窗玻璃。
（6）检察各电源线是否有松动、发热现象。
（7）检查循环水各阀门接口有无渗漏 。
3.5.2.3下面的工作应每月一次：
（1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2MPa）。
（2）检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寖没3～4个齿高度为宜。电机侧
油位应以寖没1/3～1/2油窗高度为宜。润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3～1/2之间。
（3）如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果
3.5.1.1开机前，检查水，电，气是否符合要求，（水压表水压≤0.2－0.3MPa），（气压表气
压≤0.4－0.6MPa）。
3.5.1.2开机：
打开真空机和流量控制器电源开关，依次按下“维持泵” 、“维持阀” 、“扩散泵” 、
按钮。大约30分钟后，扩散泵正常工作。（当分子泵电源频率达到225Hz时分子泵方
过环境温度加上40℃。
润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。
入停车后泵温要下降至5℃以下时，泵内冷却水必须除净。
3.2罗茨真空泵操作规程
3.2.1性能规范
型号：RTO,300S;
抽气速率：300L/S；
极限压力：0.6帕；
进排气口径：160mm/100mm
配用电机：3KW
3.2.2操作规范
起动前准备
泵正常工作时，如性能突然变坏，应检查加热器是否损坏。
泵在长期工作后，性能如果下降，应拆泵检查油量及泵油氧化情况，酌情加油或换
油（扩散泵专用油），在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗，然后在80~100℃
温度范围内烘干。并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓，确保其无
松动安全可靠。
（2）检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。
（3）检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。
（4）对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。
（5）检查冷却水是否正常（管路上水压表水压≤0.2－0.3MPa）、润滑油是否正常。
起动