光栅式位移测量仪设计
211002143_大量程高性能光栅位移测量技术
大量程高性能光栅位移测量技术刘林,刘兆武,于宏柱,王玮,姜岩秀,姜珊,孙宇佳,金思宇,梁旭,巴音贺希格,李文昊*(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033)摘要:高精度光栅位移测量系统具有纳米级重复精度、环境适应性强、维度易于扩展等优点,可以满足精密制造行业对米级测量量程、亚微米级精度与多维测量能力融合的测量技术要求,在高端制造、精密仪器等领域有重要应用。
通过对测量光栅的各项参数进行研究,提升了测量光栅的尺寸与制作精度;提出高精度锥面衍射光栅位移测量、高倍细分转向干涉光栅位移测量、“品”字形拼接大量程光栅位移测量等技术,实现了数百毫米测量量程亚微米级测量精度。
从光栅制作到测量系统研制对提升精度、分辨力及量程提供了理论分析与技术验证。
关键词:光栅位移测量;锥面衍射;转向干涉;大量程拼接中图分类号:TB96 文献标识码:A 文章编号:1674-5795(2023)01-0081-10 Large range and high performance grating displacementmeasurement technologyLIU Lin, LIU Zhaowu, YU Hongzhu, WANG Wei, JIANG Yanxiu, JIANG ShanSUN Yujia, JIN Siyu, LIANG Xu, BAYANHESHIG, LI Wenhao*(Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033, China)Abstract: High-precision grating displacement measurement system has the advantages of nanometer repetition accuracy, strong environmental adaptability, and easy expansion of dimensions. It can meet the measurement requirements of the precision manufacturing industry for the integration of meter-level measurement range, submicron-level accuracy and multi-dimensional measurement capability. It has important applications in high-end manufacturing, precision instruments and other fields. By study‑ing the parameters of the measuring grating, the size and manufacturing accuracy of the measuring grating are improved. High-precision conical diffraction grating displacement measurement, high power subdividing steering interferometric grating displace‑ment measurement, 品-shaped splicing large range grating displacement measurement and other technologies are proposed to achieve sub-micron measurement accuracy in hundreds of millimeter measurement range. From grating fabrication to measurement system development, theoretical analysis and technical verification are provided for improving measurement accuracy, resolution and range.Key words: gating displacement measurement; conical diffraction; steering interference; large range splicingdoi:10.11823/j.issn.1674-5795.2023.01.07收稿日期:2023-01-09;修回日期:2023-01-25基金项目:中国科学院战略性先导科技专项(C类)(XDC04030100);国家自然科学基金项目(U21A20509)引用格式:刘林,刘兆武,于宏柱,等.大量程高性能光栅位移测量技术[J].计测技术,2023,43(1):81-90.Citation:LIU L, LIU Z W, YU H Z, et al. Large range and high performance grating displacement measure‑ment technology[J]. Metrology and measurement technology, 2023, 43(1):81-90.0 引言超精密测量技术是现代加工及制造领域的基础,其量程和精度决定着制造的尺寸和精度[1-4]。
基于CCD和FPGA的光栅位移测量系统
0 引 言
率, 即莫尔条纹的基 频频 率 , 在此 忽略 了输 出信号 中 2次 及 以 上谐波 和噪声 。 如果光 栅尺移动 , 尔条纹也相应 的移 动 , C D输 出的 莫 则 C 相邻 的两 帧数据具 有一定的相位差 , 设相位差 为 △ 则光栅移 西,
t e mor n ep a e c a g ,h c u ain o h s h g s te g ai g ds l c me t au . h a e e c b d t ed rv ’ h i f g h s h n e t e a c mlt f a e c a ewa t ip a e n l e T ep p r s r e e a er i o p n h r n v d i h i
关键词 : 光栅 ; C F G F C D;P A;丌 中 图 分 类 号 :P 1 T 26 文献标识码 : A 文 章 编 号 :0 2—14 ( 00 0 0 0 10 8 12 1 ) 5— 13—0 3
G r tng Diplc m e e s r m e se s d n CCD n a i s a e ntM a u e ntSy tm Ba e 0 a d FPGA
A D cnet .P Apoesr cetdte i nedra s as dcr e u F T t s r rcs a cudc cl e / ovr rF G rcs cpe r f g i t i l a idot F a f m poesht ol a u t e oa h mo e r i l g n n a r rr o n t l a
G p o e s r E p r n r v st a h y t m a et ra t i tre e c bl y lw e u r me tfrt e g ai g s a u i , A r c s o . x e me tp e h tte s se h b t n i ne fr n e a i t ,o r q i i o s e - i e n h t i l q a t o r n n g l y te h g e u d v s n n mb r h g e y tm n e rt n,o e o t a d sa l p r t n h ih rs b iii u e , ih rs se i tg ai l w rc s , tb e o e ai . o o n o Ke r s g ai g; CD; P y wo d : t r n C F GA; Fr F
光栅尺的设计及加工工艺的参考
摘要随着数控机床在机床制造领域的普及,现代机床在加工速度、加工精度和可靠性方面都有了很大的提高。
机床用光栅测量元件和数控系统是数控机床的两大核心部件,清楚地了解他们的发展趋势,对机床制造商和最终用户都有非常重要的意义。
本文依据对海德汉光栅尺拆解后测绘的尺寸,利用solidworks2009对其进行了实体建模,并对光栅尺加工及安装工艺进行了研究和探讨。
同时,本文阐述了光栅尺的概况,分类及工作原理,介绍了典型的海德汉光栅尺及海德汉公司的发展,提出了能提高光栅尺的测量精度的方法。
第1章绪论1.1引言在经济危机席卷全球的形式下,中国光栅尺制造商面临产品升级,寻求新发展的重要时期,制造出高性能光栅尺是光栅尺制造商共同的目标。
实现该目标与很多因素都相关,本文仅从高性能机床所需的两个关键部件人手,介绍其最新发展供大家参考。
结合HEIDENHAIN公司的在测量技术方面的深人研究,着重强调了光栅尺精度和测量技术的最新发展,包括:(1)单场扫描技术;(2) 光栅测量技术;(3)光栅尺位移传感器的概念及工作原理;(4 )光栅尺的加工工艺等。
结合HEIDENHAIN数控系统,介绍了适合于高性能数控机床的最新数控技术,包括(1)高速加工;(2)五轴加工;(3)智能化;(4)友好人机界面。
1.2光栅测量系统的发展趋势及水平光栅数字测量系统是数显机床、数控机床和测量机的重要组成部分,是由光栅传感器和光栅倍频器(插补和数字化电子装置)组成。
光栅传感器是作为位移测量元件,光栅倍频器是对光栅信号进行电子细分和数字化处理。
光栅编码器是利用刻划在各种各样载体(如玻璃、玻璃陶瓷、固态钢或钢带)上的光栅作为测量标准,并通过光电扫描进行分度,编码器的精度和温度特性可以通过刻划和选择载体来优化。
光栅编码器又分为直线编码器(光栅尺)和圆编码器,而圆编码器又分为旋转编码器(作为旋转轴的反馈部件)和角度编码器(作为转台的角度测量部件)。
对于编码器的结构又分为开启式的和封闭式的。
光栅尺、球栅尺、磁栅尺、优缺点对比
光栅尺、球栅尺、磁栅尺优缺点比较机床直线编码器(机床数显)用做机床位移测量大意分为三种:光栅尺、球栅尺、磁栅尺、下面我们详细了解这三种数显*结构*精度对比*产品优点*缺点,方便大家了解三种数显。
一、从每种产品外观结构:1、光栅尺:基于光学玻璃刻线为测量基准,把光学玻璃安装到铝合金的尺身里面和读数头等配件组成光栅尺,铝合金半密封设计,如下图:2、球栅尺:基于球细分为测量基准,由合金的尺身和读数头等配件组成球栅尺,全密封设计,如下图:3、磁栅尺:基于磁带刻线(刻录位置)原理,磁性材料组成尺身和读数头等配件组成磁栅尺,开放式或半密封设计,如图下:从外观结构上:较好是球栅尺是全封闭,合金尺身硬度高,坚固耐用。
第二是光栅尺半封闭,光学玻璃测量基准,铝合金尺身,坚固度一般,第三是磁栅尺半封闭和开放式,采用3m胶粘贴,可选铝合金底座,坚固度差。
二、精度对比:下面我们以杭州德普光栅尺、球栅尺、磁栅尺,统一是分辨率0.005mm的尺为测试对像,对产品定位精度、绝对精度进行测试,试验设备为杭州德普激光测长平台:2、绝对精度:从0点开始到标准长度的误差,叫绝对精度,用3米光栅尺、球栅尺、从定位精度,和绝对精度看你希望选择加工产品能达到的精度来选择你需要的数显产品。
三、三种数显优点、缺点:光栅尺:1、光栅尺:光栅采用光学玻璃为测量基准,所以精度较高,以上试验也验证其精度好。
2、光栅尺采用半密封设计,有一定防水、尘、铁屑能力,使用过程中如水、油、铁屑、等进入会加速光栅尺损坏(可以查看德普在这方面试验的视频)。
3、光栅尺销售价格低,安装可选设备很多,应用广泛。
4、使用寿命:跟据所安装种类机床不同,和使用环境不同整体使用寿命1-5年左右,使用环境好,无水、油、铁屑、震动小使用寿命就长,如机床有油水、铁屑灰尘多震动大设产品寿命就短。
球栅尺:1、球栅尺精度好,适应大部份的机床,以上试验也验证其精度好。
2、球栅尺采用全密封设计,合金尺身,有防水、尘、铁屑、耐震动等特点,不受环影响所以使用寿命长(可以看德普在这方面试验视频)。
光栅式位移测量
光栅式位移测量欣欣机械学院摘要光栅是高精度位移测量元件,它与数字信号处理仪表配套,组成位移测量系统,被广泛地应用于数控机床等自动化设备当中。
光栅测量位移的原理主要是利用光栅莫尔条纹原理来实现的.本文主要介绍了光栅的测量位移原理以及几种干涉的测量方法,有助于简单了解光栅式位移测量。
关键词光栅莫尔条纹辨向光栅干涉1 引言随着人们对大量程、高分辨力和高精度的测量要求的不断深化,光栅位移测量技术正在受到越来越广泛的重视。
相比于其它高精度位移测量方法,光栅位移测量在结构、光路、电路和数据处理方面都比较简单、紧凑,整个系统体积小、成本低、易于仪器化、适合于推广应用;同时,它以实物形式提供测量基准,既可以采用低热膨胀系数的石英或零膨胀玻璃等材料作为基体,也可以采用具有和钢等材料非常接近的热膨胀系数的玻璃或金属材料作为基体,稳定可靠,零点漂移极小,对环境条件的要求低,对实验研究及工程应用都非常方便,在位移测量领域具有广阔的发展前景。
传统的光栅测量系统一般是采用接受光栅副的莫尔条纹信号,然后进行电子细分和处理来实现位移量的测量。
但此类基于光强幅度调制的测量系统,为达到信噪比很大的稳定输出,必须使得经莫尔条纹产生的光电输出电压的交变成分幅值尽可能大。
这就要求标光栅和指示光栅之间的距离必须很小且稳定。
中间不能有异物而生产现场环境恶劣,常常会因为污染而使传感器信号变坏,甚至不能工作。
粗光栅位移测量系统继承了传统光栅测量的优点,同时又改进了它的不足。
它采用栅距为0.635mm的反射式粗线纹光栅尺光学系统设计成物方远心光路,取消了指示光栅这种系统中光栅尺不用密封。
传感头与光栅尺之间工作间隙为15mm左右,表面不怕沾有油或水。
同时由于其具有自对准特性加之线纹间距大,因而具有接长方便的特点。
特别适用于需要进行大范围测量和定位的各种大中型数控机床。
2 光栅式位移测量分析2.1光栅测量原理2.1.1光栅的分类和结构光栅种类很多,可分为物理光栅和计量光栅。
光栅尺使用简介
光栅尺使用简介光栅尺使用简介光栅:光栅是结合数码科技与传统印刷的技术,能在特制的胶片上显现不同的特殊效果。
在平面上展示栩栩如生的立体世界,电影般的流畅动画片段,匪夷所思的幻变效果。
光栅是一张由条状透镜组成的薄片,当我们从镜头的一边看过去,将看到在薄片另一面上的一条很细的线条上的图像,而这条线的位置则由观察角度来决定。
如果我们将这数幅在不同线条上的图像,对应于每个透镜的宽度,分别按顺序分行排列印刷在光栅薄片的背面上,当我们从不同角度通过透镜观察,将看到不同的图像。
光栅尺其实起到的作用是对刀具和工件的坐标起一个检测的作用,在数控机床中常用来观察其是否走刀有误差,以起到一个补偿刀具的运动的误差的补偿作用.其实就象人眼睛看到我切割偏没偏的作用.然后可以给手起到一个是否要调整我是否要改变用力的标准.相当于眼睛.一、引言目前在精密机加工和数控机库中采用的随着电子技术和单片机技术的发展,光栅传感器在位移测量系统得到广泛应用,并逐步向智能化方向转化。
图2是利用光栅传感器构成的位移量自动测量系统原理示意图。
该系统采用光栅移动产生的莫尔条纹与电子电路以及单片机相结合来完成对位移量的自动测量,它具有判别光栅移动方向、预置初值、实现自动定位控制及过限报警、自检和掉电保护以及温度误差修正等功能。
下面对该系统的工作原理及设计思想作以介绍。
二、电子细分与判向电路光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。
目前高分辨率的光栅尺一般造价较贵,且制造困难。
为了提高系统分辨率,需要对莫尔条纹进行细分,本系统采用了电子细分方法。
当两块光栅以微小倾角重叠时,在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹,随着光栅的移动,莫尔条纹也随之上下移动。
这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量,同量莫尔条纹又具有光学放大作用,其放大倍数为:(1)式中:W 为莫尔条纹宽度;d为光栅栅距(节距);θ为两块光栅的夹角,rad在一个莫尔条纹宽度内,按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与羊向功能。
实验13 双光栅测量微弱振动位移量实验
实验13 双光栅测量微弱振动位移量实验实验重点预习内容:1.在实验中怎样产生光拍?2.如何计算波形数?(画图表示)3.如何计算微弱振动的位移振幅?写出公式并对每个量进行逐一解释。
4.如何听拍频信号?多普勒效应:多普勒路过铁路交叉处,发现火车从远而近时汽笛音调变尖,而火车从近而远时,音调变低。
提出“多普勒效应”。
拍:根据振动迭加原理,两列速度相同、振动面相同、频差较小而同方向传播的简谐波叠加即形成拍。
本实验是运用多普勒效应与拍效应对振动位移进行测量一、实验目的1. 理解利用光的多普勒频移形成光拍的原理;2. 理解双光栅衍射干涉位移测量原理;3. 应用双光栅微弱振动测量仪测量音叉振动产生的微小振幅。
二、实验仪器双光栅微弱振动测量仪、模拟示波器、数字示波器三、实验原理1. 位移光栅的多普勒频移多普勒效应是指光源、接收器、传播介质或中间反射器之间的相对运动所引起的接收器接收到的光波频率与光源频率发生的变化,由此产生的频率变化称为多普勒频移。
由于介质对光传播时有不同的相位延迟作用,对于两束相同的单色光,若初始时刻相位相同,经过相同的几何路径,但在不同折射率的介质中传播,出射时两光的位相则不相同,对于位相光栅,当激光平面波垂直入射时,由于位相光栅上不同 图1 出射的摺曲波阵面的光密和光疏媒质部分对光波的位相延迟作用,使入射的平面波变成出射时的摺曲波阵面,见图1。
激光平面波垂直入射到光栅,由于光栅上每缝自身的衍射作用和每缝之间的干涉,通过光栅后光的强度出现周期性的变化。
在远场,我们可以用大家熟知的y xvd激光平面波 位相光栅出射折面波光栅衍射方程即(1)式来表示主极大位置:d sin θ=±k λ k =0,1,2,… (1) 式中:整数k 为主极大级数,d 为光栅常数,θ为衍射角,λ为光波波长。
如果光栅在y 方向以速度v 移动,则从光栅出射的光的波阵面也以速度v 在y 方向移动。
因此在不同时刻,对应于同一级的衍射光射,它从光栅出射时,在y 方向也有一个vt 的位移量,见图2。
双光栅测量微弱振动位移测量的应用论文
学生论文(2016届)题目双光栅微弱振动位移测量应用目录摘要 (3)1、课题背景 (4)2、原理及设计方案 (4)2.1位相光栅的多普勒位移 (4)2.2光拍的获得与检测 (5)2.3微弱振动位移量的检测 (7)2.4实验仪器 (7)3、操作及数据处理 (8)3.1连接 (8)3.2操作 (8)3.2.1几何光路调整 (8)3.2.2双光栅调整 (8)3.2.3音叉谐振调节 (8)3.3数据处理 (8)3.3.1数据记录 (8)3.3.2作出微小物体质量与T/2时间内完整波数的关系曲线。
(9)3.3.3由所得曲线确定位置微小物体的质量 (9)3.3.4百分误差的计算 (10)4、误差分析及改进措施 (10)4.1外界环境引起的误差 (10)4.2仪器精度不足引起的误差 (10)4.3系统误差 (10)4.4人为误差 (10)5、总结 (10)参考文献: (10)摘要双光栅微弱震动位移的测量是一种把机械位移信号转化为光电信号的手段,光栅式位移测量技术在长度与角度的数字化测量、运动比较测量、数控机床、应力分析等领域得到了广泛的应用。
双光栅微弱震动位移的测量也可以应用于力学实验中的音叉振动分析、微弱振幅测量和光拍研究等。
本论文主要利用小质量物体对光拍波数的影响,作出相应的关系曲线,再由未知小质量物体产生的光拍波数来反映和估计小质量物体的质量。
关键字:光栅、微弱震动、光拍1、课题背景1842年的一天,多普勒路过铁路交叉处时,恰逢一列火车从他身旁驰过。
他发现火车从远而近时汽笛声变响,音调变尖,而火车从近而远时汽笛声变弱,音调变低。
同年他在文章"On the Colored Light of Double Stars" 提出“多普勒效应”(Doppler Effect) 。
多普勒效应:在电磁波的传播过程中,由于光源和接收器之间相对运动使得接收器收到的光波频率不同于光源发出的光波频率的现象。
光栅式指示表检定仪的技术参数介绍
光栅式指示表检定仪的技术参数介绍光栅式指示表检定仪是一种用于检测指示表的精度和准确度的测试仪器。
它通过使用光栅和光电传感器来检测指示表的位置和角度,从而可以确定其精度和准确度。
下面我们将详细介绍光栅式指示表检定仪的技术参数。
1. 分辨率光栅式指示表检定仪的分辨率是指其能够检测到的最小位移量。
通常情况下,分辨率越高,检测的精度和准确度就越高。
光栅式指示表检定仪的分辨率通常以微米(μm)为单位来表示,常见的分辨率有1μm、0.5μm、0.1μm等。
2. 测量范围光栅式指示表检定仪的测量范围是指其能够检测到的最大位移量。
测量范围通常以毫米(mm)或英寸(inch)为单位来表示,常见的测量范围有25mm、50mm、100mm等。
不同型号的光栅式指示表检定仪的测量范围也不同,用户在购买时需要根据实际需要选择合适的型号。
3. 重复性误差光栅式指示表检定仪的重复性误差指的是它在连续多次测量同一位置时得到的结果之间的差异。
重复性误差越小,测量结果的稳定性就越高。
在实际使用中,光栅式指示表检定仪的重复性误差通常控制在0.5μm以下。
4. 精度光栅式指示表检定仪的精度指的是它测量结果与实际值之间的误差。
精度越高,测量结果越准确。
精度通常以一个百分比或一个绝对值来表示,常见的精度有±0.002%、±1μm等。
5. 重复性误差和精度测试方法为了确定光栅式指示表检定仪的重复性误差和精度,一般需要进行定点测试和滑移测试。
其中定点测试是在同一位置多次进行测量,滑移测试是在多个位置进行测量。
通过对这些测试结果的统计和分析,可以确定光栅式指示表检定仪的重复性误差和精度值。
6. 应用领域光栅式指示表检定仪广泛应用于机械加工、精密制造、航空航天、电子仪器等领域。
在这些领域中,精度和准确度要求比较高,需要使用高精度的测试仪器来检测指示表的精度和准确度。
7. 总结通过介绍上述技术参数,我们可以看出,光栅式指示表检定仪是一种精度和准确度比较高的测试仪器。
基于FPGA光栅位移测量系统的设计
D触发器能消除输入信 号的尖 脉冲影 响, 所 以为 了提 高 系统 的抗 干扰 性 能,选用 经 过
E l e c t r o n i c T e c h n o l o g y・ 电子技 术
基于 F P G A光栅位移测量系统的设计
文/ 汤攀 张厚武 付 惠 茹
介绍一种 基于 F P G A光 栅 位 移 测 量 系 统 说 明 光 栅 信 号 细 分 和 测量 原理 ,运 用 最 小二 乘法 ,设
度慢 ,精 度低 等 不足:谢 敏 提 出使 用一 片
F P GA芯片 完成细分 、辨 向计数等功 能,提 高 了数据处理的实时性 ,但 存在 人机界面不友好
等不足。
参考 点信号三组信 号。 x轴 、 Y轴 、 Z轴分别连接 3 路 光栅传 感器, 光栅传感 器输 出的 ! 路信号经过 F P G A里 的四
FPGA
● - - —
单 片机
计 一 个 具有 测 量点 、线 、圆等 功 能的 光栅 测 量 系统 ,解 决 目前 光
栅 测 量 系统速 度慢 、实 时性 差、 功 能单 一 、界 面 不友好 等 问题 通过 V e r i 1 o g实 现 该 系 统 的 辨 向 电路 、计 数 电路 等 ,并 运 用 E D A 综合 仿 真软 件 进行 仿真 试验 。 试 验表 明:此 系统 简化 仪 器 电路 , 降 低仪 器的 成 本,提 高仪 器 可 靠
针 对 目前光 栅测 量方 案的 不足 ,本文 以 F P GA为主芯 片,采集光栅 信号并对光栅进 行
细 分.运用 V e r i l o g HDL语 言 对 F P GA 进 行 硬
其进 行计 数,然后单片机通过读取 F P GA中数 字量 ,并通过运 算,得出光栅移动 的位置 ,最
光栅位置检测系统及原理
光栅位置检测系统及原理光栅位置检测系统是一种高精度的测量系统,被广泛应用于各种工业和科学领域,如光学,精密测量,纳米技术,电子工程等。
该系统的核心原理是利用光栅的周期性结构来测量位移。
下面将详细介绍光栅位置检测系统的基本组成、工作原理以及其应用。
一、光栅位置检测系统的基本组成光栅位置检测系统主要由光源、光栅、指示光栅(或称为读数头)、光电检测器和数据处理单元组成。
1.光源:提供光能,为整个系统提供原始动力。
常用的光源有可见光LED、激光等。
2.光栅:一种具有周期性刻线的透明或金属薄片,可以将入射光分成多个子束。
当光栅移动时,子束的数目和位置会发生变化,从而产生相位差。
3.指示光栅:与光栅配合使用,其作用是增加系统的精度和稳定性。
4.光电检测器:将光信号转换为电信号的组件,通常使用的是光电二极管或光电倍增管。
5.数据处理单元:对光电检测器产生的电信号进行处理,计算出光栅的位移量。
二、光栅位置检测系统的工作原理光栅位置检测系统的工作原理可以简述为“莫尔条纹”原理。
当光栅和指示光栅相对移动时,它们之间的光线相交会产生明暗交替的莫尔条纹。
这些条纹的移动与两个光栅的相对位移有关,通过测量莫尔条纹的数量,就能知道光栅的位移量。
具体来说,当光源发出的光照射到光栅上时,光栅的刻线会将光线分成多个子束。
这些子束在指示光栅上产生明暗交替的莫尔条纹。
当两个光栅相对移动时,莫尔条纹也会随之移动。
这个移动可以被光电检测器检测到并转化为电信号。
三、应用1.测量和控制系统:在自动化生产线上,需要对物体的位置、速度等进行精确控制。
光栅位置检测系统能够提供高精度的位置信息,为控制系统提供反馈信号,从而实现精确控制。
2.光学仪器:在望远镜、显微镜等光学仪器中,需要精确测量物体的位置和移动。
光栅位置检测系统能够提供高精度、高稳定性的位置信息,提高光学仪器的测量精度。
3.纳米技术:在纳米技术领域,需要对物体的尺寸、形状等进行精确控制。
光栅尺ttl-概述说明以及解释
光栅尺ttl-概述说明以及解释1.引言1.1 概述光栅尺是一种精密测量仪器,通过利用光栅原理来进行高精度的位置测量。
其原理是通过光栅尺上的刻痕和光电检测器之间的光学干涉效应来确定被测量物体的位置。
光栅尺广泛应用于数控机床、印刷设备、半导体生产设备等领域,为精密加工和生产过程提供了重要的位置反馈信息。
本文将介绍光栅尺的定义、原理、应用领域,以及其优势和局限性,旨在帮助读者更好地了解这一重要的测量工具。
1.2 文章结构文章结构部分将介绍本文的整体架构和内容安排。
首先,本文将从引言部分开始,介绍光栅尺的基本概念和本文的目的。
接着,正文部分将详细阐述光栅尺的定义与原理,探讨其在不同领域的应用情况,并分析其在实际应用中的优势和局限性。
最后,结论部分将对全文进行总结,展望光栅尺未来的发展方向,并给出对光栅尺的结论评价。
通过以上安排,读者将全面了解光栅尺的相关知识和应用情况,以及其在未来的发展前景和挑战。
1.3 目的:本文旨在全面介绍光栅尺ttl的概念、原理、应用领域,以及其优势和局限性。
通过深入的研究和分析,读者可以更加全面地了解光栅尺ttl在工程领域的重要性和作用。
同时,本文也旨在为相关领域的研究人员提供参考和借鉴,促进光栅尺ttl技术的进一步发展和应用。
希望读者通过阅读本文能够对光栅尺ttl有一个更加深入的了解,并为相关研究工作提供有益的信息和启发。
2.正文2.1 光栅尺的定义与原理光栅尺是一种精密测量仪器,利用光的干涉原理来实现高精度的长度测量。
其工作原理基于光栅的特性,光栅是指在透明基底上涂覆有微细光栅条纹的光学元件。
当光线通过光栅时,会发生衍射现象,形成干涉条纹。
通过测量干涉条纹的变化,可以确定被测量物体的长度。
光栅尺通常由光源、光栅、光电探测器和信号处理器等部件组成。
光源产生的光线通过光栅后被分成多个光束,经过光电探测器接收并转换为电信号。
信号处理器对电信号进行处理,最终得到被测量物体的长度数据。
双光栅衍射位移测量实验仪的研制
用 于工 业 生 产 和科 研 之 中口 ] 。因 而 , 学 生 提 供 条 给
件 , 他们 亲 自动 手 , 实验 中体 会 和 了解 干 涉原理 在 让 在
实 际精 密 位移 测量 中 的应 用 , 很 有 必 要 的 。然 而 这 是
些 仪器 结 构复 杂 , 积 庞 大 , 非 常 娇 贵 , 适 合 用 作 体 且 不 学 生实 验 。近些 年 , 作为 配套 部件 , 一些 商业 化仪 器 在 中采用 的单 一衍 射 光栅 大范 围高精 度 位移 传感 器 ] 。, 也是 利 用光 学衍 射 、 涉 原 理 , 然 体 积 不 大 , 本 也 干 虽 成 不 高 , 是装 调 很不 方便 , 但 也不 适合 用 于学生 实 验 。
双 光 栅 衍 射 位 移 测 量 实验 仪 的研 制
徐 龙 , 章宏 ,黑杨 辉 ,刘 晓 军 何
( 中科 技 大 学 机 械 学 院 , 北 武 汉 华 湖 407 ) 3 0 4
摘
要 : 绍 了一 种 双 光 栅 衍 射 位 移 测 量 教 学 实 验 仪 器 的工 作 原 理 、 统 结 构 、 制 内容 、 测 结 果 以 及 在 实 介 系 研 实
gt e v n.
Ke r s:e e i e a n t u e ; d lgr tng nt r e e e; d s a e e e s e e y wo d xp rm nt li s r m nt ua— a i s i e f r nc ipl c m ntm a ur m nt
束 , 生不 同级 次 的衍射 光 , 射光 被另 一光栅 衍 射 产 ]衍
后 汇 聚叠 加 、 成 干涉 。如 图 l所示 , 形 当一 束激 光穿 过 两栅 线平 行 , 置 也平行 的光栅 时 , 激光 首 先 被 第 1 位 该
光栅测量技术
一、光栅尺将光源、圆型的旋转编码盘(编码盘的线数有360线到2400线数不同)和光电检测器件等组合在一起构成的通常称光电旋转编码器,码盘的线数决定了旋转角精度。
同样两块长光栅(动尺和定尺)光栅的单位密度也决定了其单位精度,与光电检测器件等组合在一起构成的光栅传感器通常称为光栅尺。
旋转编码器每旋转一格光栅角,每一个光栅电信号对应一个旋转角或光栅尺每输出一个电信号,动尺移动一个栅距,输出电信号便变化一个周期,通过对信号变化周期的测量来测出动就与定就职相对位移。
目前使用的光电旋转编码器与光栅尺的输出信号一般有两种形式,一是相位角相差90o的2路方波信号,二是相位依次相差90o的4路正弦信号。
这些信号的空间位置周期为W。
针对输出方波信号的光栅进行计数,而对于输出正弦波信号的光栅,经过整形可变为方波信号输出进行计数。
就可以检测。
输出方波的旋转编码器、光栅尺有A相、B相和Z 相三个电信号,A相信号为主信号,B相为副信号,两个信号周期相同,均为W,相位差90o。
Z信号可以作为较准信号以消除累积误差。
二、光栅光栅是结合数码科技与传统印刷的技术,能在特制的胶片上显现不同的特殊效果。
在平面上展示栩栩如生的立体世界,电影般的流畅动画片段,匪夷所思的幻变效果。
光栅是一张由条状透镜组成的薄片,当我们从镜头的一边看过去,将看到在薄片另一面上的一条很细的线条上的图像,而这条线的位置则由观察角度来决定。
如果我们将这数幅在不同线条上的图像,对应于每个透镜的宽度,分别按顺序分行排列印刷在光栅薄片的背面上,当我们从不同角度通过透镜观察,将看到不同的图像。
光栅原理光栅也称衍射光栅。
是利用多缝衍射原理使光发生色散(分解为光谱)的光学元件。
它是一块刻有大量平行等宽、等距狭缝(刻线)的平面玻璃或金属片。
光栅的狭缝数量很大,一般每毫米几十至几千条。
单色平行光通过光栅每个缝的衍射和各缝间的干涉,形成暗条纹很宽、明条纹很细的图样,这些锐细而明亮的条纹称作谱线。
CT-M50C光栅式指示表检定仪-用户手册
第一章概述我公司生产的CT-M50C型光栅式指示表检定仪是光机电一体化的高科技产品。
它采用了当代最新的机械及电子技术,具有高精度、高效率、低成本、操作灵活、使用方便以及自动化程度高等特点,性能远远优于国内外同类产品。
光栅式指示表检定仪操作简单,功能齐全,独特美观的一体化外型设计,强构紧凑可靠,使用安全方便,更具完备的实用功能。
仪器有多种不同型号及附件可供选择,以满足各种特殊要求,如计算机接口、公英制转换、大量程表检定、数显表和钮簧表检定等。
该仪器紧跟国家计量检定规程,完全符合国家检定规程要求。
仪器采用最新软硬件技术,进行人性化设计,对操作者的实际操作情况加以仔细考虑,对于每一位刚接触本仪器的操作者来讲,只需三十分钟可学会,而且仪器操作界面良好,使用十分方便。
检定过程采用人工智能化的方法,操作者只需装好被检表,选定该表的类型和其它信息后就可开始检定,检定结束后自动显示结果和打印检定数据。
(CT-M50C 型)第二章工作原理及基本构造2.1 工作原理CT-M50C 型光栅式指示表检定仪采用了最新的光电及机械电子技术,位移标准采用光栅技术,具有高精度、高效率、操作灵活、使用方便等特点。
采用液晶显示及菜单设置,使检定方便快捷,操作方便。
仪器紧跟国家计量检定规程,并根据国家规程改动免费及时升级。
本检定仪检定符合国家计量检定规程:JJG34-2008 (指示表),JJG35-2006 (杠杆表),JJF1102-2003 (内径表)和JJG379-2009(大量程百分表)等。
2.2 基本构造该仪器主要由光栅位移传感器、电子测控箱及微型打印机三大部分组成。
①光栅位移传感器:由光栅尺和电路处理板组成。
光栅位移传感器在位移发生变化时,产生的莫尔条纹经电路放大、采样、A/D 转化为数字位移。
②电子测控箱:由微处理器和驱动装置组成,此系统把光栅传感器模块输出的信号接收后并人工控制位移的前进后退,并把标准位移等数据显示在LCD 液晶上。
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一、系统工作原理1.1光栅位移传感器的原理光栅位移传感器通过主光栅(即标尺光栅)与位移部件固定连接,随着主光栅和副光栅(即指示光栅)进行相对位移,栅线间夹角为θ,则光栅组透光部分呈菱形,综合效果是一组等间距亮带,即形成了莫尔条纹。
光栅位移传感器位移时莫尔条纹也移动,经过光电器件转换使黑白相间的条纹转换成正弦波变化的电信号。
(a )长光栅结构 (b )莫尔条纹的形成图1 莫尔条纹的原理电信号再经过放大器放大、整形电路整形,细分、辨向等电路,最终送到单片机对移动的莫尔条纹进行计数,运算后送到LCD 屏显示。
1.2系统整体设计框图系统整体框图如图2所示:图2 系统整体框图 光栅尺移动产生莫尔条纹,光栅传感器检测后产生近似正弦波的电信号。
该电信号经过放大、整形电路将正弦信号变成方波,再经四细分、辨向电路实现模拟信号到数字信号的转变,省去了模-数转换的部分使电路简单,编程容易。
细四倍频细分辨向 单片机计数运算放大整形电路光栅传感器 位移信号 LCD 屏显示分信号输入到单片机T0口进行计数,通过程序运算,再由LCD屏显示出运算结果。
二、系统硬件设计2.1放大电路设计采用同向比例放大电路,如图3:图3 同向比例放大电路同相比例放大电路结构简单,比较常用,放大倍数易于调整。
采用LM324系列运算放大器(引脚图如图4),是价格便宜的差动输入功能的四运算放大器。
可工作在单电源下,电压范围是3.0V-32V。
LM324的特点:1.短跑保护输出2.真差动输入级3.可单电源工作:3V-32V4.低偏置电流:最大100nA(LM324A)5.每封装含四个运算放大器。
6.具有内部补偿的功能。
7.共模范围扩展到负电源8.行业标准的引脚排列图4 LM324引脚图9.输入端具有静电保护功能2.2整形电路设计图5可以把幅值为0.7v~15v的正弦波转换为方波。
NE5532为一个滞回比较器,把正弦波转化为有正负值的方波,再接一级LM311,可以使方波只有5v和0v电压值。
NE5532A是一种双运放高性能低噪声运算放大器。
相比较大多数标准运算放大器,如1458,它显示出更好的噪声性能,提高输出驱动能力和相当高的小信号和电源带宽。
这使该器件特别适合应用在高品质和专业音响设备,仪器控制电路和电话通道放大器。
LM311的电压比较器设计运行在更宽的电源电压:从标准的±15V运算放大器到单5V电源用于逻辑集成电路。
其输出兼容RTL,DTL和TTL以MOS电路。
此外,他们可以驱动继电器,开关电压高达50V,电流高达50mA。
图5 整形电路2.3细分辨向电路的设计四细分辨向电路如下,图6:图 6 四细分辨向电路为了提高系统分辨率,需要对莫尔条纹进行细分,为记录光栅上移过的条纹数目和判断光栅的移动率等,光电转换器件采用4极硅光电池来接收莫尔条纹信号。
调整莫尔条纹的宽度B,使它正好与2个硅光电池的宽度相同。
则可直接获得在相位上依次相差90°的2路信号,进行4倍细分。
位移除了有大小的属性外,还具有方向的属性。
为了辨别标尺光栅位移的方向,本设计采用的是2个硅光电池来接收莫尔条纹信号,则输出的2路信号在相位上相差90°,W-光栅的栅距,x-标尺光栅位移量。
2个硅光电池输出的2路信号:Ua=U0+UmSIN(xW︒360)Ub=U0+UmSIN(xW︒360+90°) =U+UmCOS(xW︒360)位移为矢量,有方向和大小,判向电路输出的加法和减法计数脉冲表示位移的方向和大小。
2.4单片机及其附属电路系统中的单片机采用AT89C52系列,AT89C52是一个低电压,高性能CMOS 8位单片机,片内含8k bytes的可反复擦写的Flash只读程序存储器和256 bytes的随机存取数据存储器(RAM),器件采用ATMEL公司的高密度、非易失性存储技术生产,兼容标准MCS-51指令系统,片内置通用8位中央处理器和Flash存储单元,功能强大的AT89C52单片机可为您提供许多较复杂系统控制应用场合。
AT89C52有40个引脚(引脚图如图7),32个外部双向输入/输出(I/O)端口,同时内含2个外中断口,3个16位可编程定时计数器,2个全双工串行通信口,2 个读写口线,AT89C52可以按照常规方法进行编程,也可以在线编程。
其将通用的微处理器和Flash存储器结合在一起,特别是可反复擦写的Flash 存储器可有效地降低开发成本。
图7 AT89C52引脚图AT89C52有PDIP、PQFP/TQFP及PLCC等三种封装形式,以适应不同产品的需求。
主要功能特性:·兼容MCS51指令系统·8k可反复擦写(>1000次)Flash ROM·32个双向I/O口·256x8bit内部RAM·3个16位可编程定时/计数器中断·时钟频率0-24MHz·2个串行中断·可编程UART串行通道·2个外部中断源·共6个中断源·2个读写中断口线·3级加密位·低功耗空闲和掉电模式·软件设置睡眠和唤醒功能单片机的连接图如图8:图8 单片机连线图AT89C52的复位电路和晶振电路在图8的左上角,晶振为12MHz。
图中P2口连接LCD液晶显示屏,作为屏幕的数据接口(其他有关LCD屏的连接在下一节中介绍),P3^4接四细分后的脉冲输出,作为单片机的脉冲信号输入端进行计数。
2.5 LCD液晶显示屏的设计液晶显示器简称LCD(Liquid Crystal Diodes)是利用液晶经过处理后能够改变光线传输方向的特性,达到显示字符或者图形的目的。
其特点是体积小、重量轻、功耗极低、显示内容丰富等特点,在单片机应用系统中有着日益广泛的应用。
2.5.1 LCD显示模块LCDM在实际应用中,用户很少直接设计LCD显示器驱动接口,一般是直接使用专用的LCD显示驱动器和LCD显示模块LCDM 。
LCDM是把LCD显示屏、背景光源、线路板和驱动集成电路等部件构造成一个整体,作为一个独立部件使用。
其特点是功能较强、易于控制、接口简单,在单片机系统中应用较多。
其内部结构如下页图所示。
LCDM一般带有内部显示RAM和字符发生器,只要输入ASCII码就可以进行显示。
实物图见图9。
图9 LCD模块外观图10 液晶显示器基本结构液晶屏其结构如图10,液晶显示器LCD是一种极低功耗显示器,其应用特别广泛。
目前常用的LCD是根据液晶的扭曲-向列效应原理制成的。
这是一种电场效应,夹在两块导电玻璃电极之间的液晶经过一定处理后,其内部的分子呈90°的扭曲,这种液晶具有旋光特性。
当线形偏振光通过液晶层时,偏振面回旋转90°。
当给玻璃电极加上电压后,在电场的作用下液晶的扭曲结构消失,其旋光作用也随之消失,偏振光便可以直接通过。
当去掉电场后液晶分子又恢复其扭曲结构。
把这样的液晶放在两个偏振之间,改变偏振片的相对位置就可得到黑底白字或白底黑字的显示形式。
LCD的响应时间为毫秒级,域值电压为3~20V,功耗为5~100mW/cm2.2.5.2设计中LCD液晶屏的连线基于LCD显示块低功耗、短响应时间以及适应低频工作的特点,设计者选用LCD显示器完成显示部分的功能,并且使用静态驱动。
所选的LCD型号为1601。
1601是一款最常用也是最便宜的液晶显示屏。
1601的意思是每行显示16个字符,一共可以显示一行。
1601可显示内部字符,也可以显示自定义字符。
1601液晶的引脚图如图11所示。
图11 LCD1601液晶屏引脚图接口说明如下:①液晶1,2端为电源;15、16为背光电源;在15脚串接一个10欧姆电阻用于限流。
②液晶3端为液晶对比度调节端,通过一个10K欧姆电位器接地来调节液晶显示对比度。
③液晶4端为向液晶控制器写数据/写命令选择端,接单片机的P3.0口。
④液晶5端为读/写选择端,因为我们不从液晶读取任何数据,只向其写入命令和显示数据,因此此端始终选择写状态,我们直接将它接地。
⑤液晶6端为使能信号,是操作时必需的信号,接单片机的P3.2口⑥液晶7-14端为八位数据口,接单片机的P2口。
三、系统软件设计把计数脉冲接到单片机的片内计数器T0端即可,相对外部计数芯片来说,使用软件方法电路相对要简单的多。
下图为程序流程图:图12 系统程序流程图Y N 主程序 上电初始化 系统初始化下降沿触发开始计数读取TH0、TL0数据 判断是否溢出 结束脉冲停止、计数停止送LCD 显示四、系统仿真电路图用protues软件画出电路图,整体电路图如图13:图13 系统整体电路图总结两周的测控系统原理与设计课程设计终于顺利完成了,其中包含着快乐,也有辛酸。
我们选的设计题目是“光栅位移测量仪的设计”,大家都觉得这个题目是比较简单的。
其实不然,做了之后,发现设计电路虽然简单,但我们认为它真正困难的地方是程序设计,不过在我们同心努力下最终完成了。
我们刚选该题目时,真的是一头雾水,硬件电路不知如何下手,更何谈解决程序那块,因为我们所学的都是单片机方面的理论知识,应用到实践中去还比较少。
不过,我们俩人也没偷下懒,迅速分工去查阅和收集资料。
我们去了图书馆借一些参考书,上网找一些相关资料,并且请教指导老师。
通过不断努力,终于把设计的思路和模型定了下来,并最终完成了设计。
本文对单片机用于位移测量的理论、原理进行了系统的分析、比较,并对每种测量方法定性、定量的予以阐述,设计了显示接口电路和应用程序。
以下从三个方面进行总结:硬件电路本系统采用89C52单片机,充分利用单片机内部自带的16位定时计数器进行设计,较完全的开发了单片机自身的功能,接口利用了89C52的I/O口具有较大的电流驱动能力的特点,直接由单片机驱动,简化了硬件电路。
有一定的实用价值和较高的性价比。
测量方法在测量原理上采用了利用单片机内部计数器实现可逆计数的测量方法,保证了在位移测量中获得较高的精度。
应用范围广泛,可通过扩展进行二次开发。
程序调试本系统进行了全面的程序设计,显示程序、中断服务程序和初始化程序,并对这些程序在Keil U4软件上进行编译和调试,并且与Proteus进行了联机仿真,取得了较好的仿真效果。
Keil的编译HEX文件还可通过编程器写入芯片中。
这次的设计基本达到了设计的要求.参考文献1.王福瑞等.《单片微机测控系统设计大全》.北京航空航天大学出版社,19992.《现代测控技术与系统》韩九强清华大学出版社 2007.93.《智能仪器》程德福,林君主编机械工业出版社 2005年2月4.《测控仪器设计》浦昭邦,王宝光主编机械工业出版社 20015.基于AT89C51单片机的数字电压表的设计,黄亮,电子制作,2006.10 ,25-276.《误差理论与数据处理》,费业泰. 机械工业出版社,20107. Keil C51帮助文档附录一元器件清单器件类型器件名数量单片机AT89C52 1 集成运放LM324 2 集成运放LM311 2 集成运放NE5532 2 电容 C 7 电阻R 21 开关按键开关 1 液晶屏LCD1601 1 与门74LS08 11 变阻器RV1 1 晶振X1 1 非门74LS04 4 或非门7425 2附录二程序代码#include<reg52.h>#include<intrins.h>#include<math.h>#define uint unsigned int#define uchar unsigned char#define RS_CLR RS=0#define RS_SET RS=1#define RW_CLR RW=0#define RW_SET RW=1#define EN_CLR EN=0#define EN_SET EN=1#define DataPort P2sbit RS = P3^0; //定义端口(显示屏)sbit RW = P3^1;sbit EN = P3^2;void LCD_Init(void);void inti(){ LCD_Init() ;TMOD=0x05 ;//*T0为16位计数方式*/TH0=F0 ;TL0=60 ;//*预置初值*/TR0=1;}// 单片机计算脉冲数显示uint num;//计数变量声明/*延时子程序********************/void delay(uint xms){uint j;for(;xms>0;xms--)for(j=110;j>0;j--);}void DelayUs2x(unsigned char t){while(--t);}void DelayMs(unsigned char t){while(t--){//大致延时1mSDelayUs2x(245);DelayUs2x(245);}}bit LCD_Check_Busy(void){DataPort= 0xFF;RS_CLR;RW_SET;EN_CLR;_nop_();EN_SET;return (bit)(DataPort & 0x80);}/*------------------------------------------------写入命令函数------------------------------------------------*/ void LCD_Write_Com(unsigned char com){// while(LCD_Check_Busy()); //忙则等待DelayMs(5);RS_CLR;RW_CLR;EN_SET;DataPort= com;_nop_();EN_CLR;}/*------------写入数据函数-----------------------------void LCD_Write_Data(unsigned char Data){//while(LCD_Check_Busy()); //忙则等待DelayMs(5);RS_SET;RW_CLR;EN_SET;DataPort= Data;_nop_();EN_CLR;}/*----------------清屏函数----------------------*/void LCD_Clear(void){LCD_Write_Com(0x01);DelayMs(5);}/*---------------写入字符函数---------------------*/void LCD_Write_Char(unsigned char x,unsigned char y,unsigned char Data){if (y == 0){LCD_Write_Com(0x80 + x);}else{LCD_Write_Com(0xC0 + x);}LCD_Write_Data( Data);}/*--------------初始化函数---------------------*/ void LCD_Init(void){LCD_Write_Com(0x38); /*显示模式设置*/DelayMs(5);LCD_Write_Com(0x38);DelayMs(5);LCD_Write_Com(0x38);DelayMs(5);LCD_Write_Com(0x38);LCD_Write_Com(0x08); /*显示关闭*/LCD_Write_Com(0x01); /*显示清屏*/LCD_Write_Com(0x06); /*显示光标移动设置*/ DelayMs(5);LCD_Write_Com(0x0C); /*显示开及光标设置*/ }/*主程序**********************************/void main(){inti();while(1){float num1,num2,num;Data=TH0*255+TL0;//读计数器数据if(Data==4000){TH0=F0;TL0=60;TR0=0;} //计满清零 num1=Data/4*0.05;num2=0.05/4*(Data%4);num=num1+num2;LCD_Write_Char(x,y,num);} }。