高效检漏测试操作规程

标准文件
1、目的Objective：建立高效过滤器检漏测试操作规程，保证高效过滤器在完好状态下使用，确保洁净区域的洁净度。

2、范围Scope：适用于公司所有的洁净区、层流工作台、传递窗及设备上自带的高效过滤器。

3、职责Responsibilities：
3.1 培训职责：本文件起草人或审核人或批准人负责对工程项目部高效检测人员进行本规程培训。

3.2 工程项目部负责制定本规程并监督本规程的实施，工程部高效检测人员对本规程的实施负责。

4、定义Definition：无。

5、程序Procedures：
5.1 工作原理
高效过滤器的检漏测试通常采用PAO（气溶胶）发生器在滤器上游发尘，使用光度计检测滤器上下游气溶胶浓度来判定滤器是否有泄漏。

发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低，仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测，较难发现有泄漏，需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。

5.2 所用仪器：TDA-4B气溶胶发生器，TDA-2H气溶胶光度计。

5.3 试验介质：EMERY 3004合成烃冷凝震荡后用氮气使之雾化。

5.4 检测方法
5.4.1气溶胶发生器操作步骤
5.4.1.1气溶胶发生器TDA-4B各部件说明
5.4.1.2供给气溶胶：拧开位于仪器上端的液体填充口，注入3/4满的气溶胶溶液，不要过于满。

低于1/2满时应补充注入气溶胶。

（气溶胶发生器侧面有液位显示）
5.4.1.3连接空气压缩机或氮气瓶将干燥、洁净的空气或氮气注入调整器气体入口。

球状的气体阀门可用来对注入气体的开关控制。

5.4.1.4压力调整：打开气体阀门，调节调整器旋钮使压力20psig（0.14Mpa）。

该调节阀如往下压时，为锁住。

如果压力超过20psig，输出浓度将增加，相反，低于20 psig时，输出浓度将减少。

压力表的指示值不要超过60 psig。

5.4.1.5输出气溶胶：通过改变Laskin Nozzles的开关方向即可控制气溶胶粒子的输出浓度，最终由喷口连接器将气溶胶粒子导入位于被测装置的上游的气溶胶入口处。

通常对于HVAC系统中的HEPA，为使气溶胶到达HEPA时的浓度均匀，可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入，如要从风管中引入，则应在距HEPA至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯，一般情况下，保持上游气溶胶达到10-20μg/L之间浓度。

对于层流罩、超净台上的HEPA，气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入。

5.4.2 TDA-2H气溶胶光度计使用方法
5.4.2.1 TDA-2H光度计示意图
前端面板介绍：
①．Selector Valve 气体切换阀：选择取样的来源。

②．Upstream Sample Port 上游取样口：连接到取样管，被用于测量上游空气浓度。

③．Scanning Probe Ground Jack 扫描探测器接地口：保证扫描仪探测器的接地。

④．Scanning Probe Connector 扫描探测器接头。

⑤．Downstream Sample Port 下游取样口：连接到取样管，被用于测量下游空气浓度。

⑥．Optics indicator light 光学指示灯：反应光学的洁净度。

⑦. Flow indicator light 流量指示灯：
⑧. Function Keys 功能键：用于设置操作面板以及初始化程序。

a．0：用高效过滤器过滤后的洁净空气来调整0%的基准线；
b．100：用来自过滤器上游的样品微粒和空气的混合物来设置100%的基准线；c．Ref：Reference 进入参考值修改按钮；
d．Alarm：进入警报状态开/关按钮。

⑨Bar Graph Display 泄露条形图显示：以一个模拟量帮助显示泄露百分比。

⑩Front Panel Display 前端面板显示：数字量显示泄露百分比以及错误资讯。

5.4.2.2光度计操作步骤
5.4.2.2.1启动
仪器插上电源后气体切换阀确认指向CLEAR;把扫描探头连接器分别与扫描探头连接端口和下游通道接口以及接地端口连接，上游端口接一长管至高效上方；将仪器后端开关由“o”压至“I”启动电源，仪器开始自行检测→ 字幕显示仪器使用软件版本→显示完自行进入扫描检测。

5.4.2.2.2操作
➢扫描检测完成，字幕空白“REF”灯闪烁，按“ENTER”键确认，字幕显示“PAO”（此时REF 灯亮，可按上下键更改测试种类。

共四种选项1.PAO 2.DOP 3.H1 ER 配合使用矿物油做适当设定）。

➢选择待测物确定后。

按下“ENTER”确认。

字幕跳出100。

（此时可按上下键增减设定值，使用矿物油与设定相同时，设定100 标准值，不做变更）。

➢确认后（100 显示于字幕上）按下“ENTER”完成确认设定。

仪器此时→“REF”灯熄灭，“0”闪烁。

再次按下“ENTER”确认→仪器进入自行扫描归零动作。

仪器归零扫描完成，进入主界面。

➢将UPSTREAM 采样管与上游采样口相连，测量上游气溶胶的浓度。

将TDA-4B 气溶胶发生器发尘管引入管道的发尘口，接通TDA-4B 气溶胶发生器电源，打开气溶胶发生器，调节发生的气溶胶的浓度，使上游的气溶胶的浓度达到10～20ug/L。

确认上游待测环境已达到足够测试浓度。

➢旋转气体切换阀对准UPSTREAM 的位置。

透过取样管，取样上游浓度显示于字幕上。

当调整完浓度数值与适当并跳动变化趋于平稳时，按<100>键，<100>键就会闪烁。

按<ENTER>键，泄露比例图就会开始扫描。

➢扫描取样100%结束，100%设定完成。

此时字幕空白，气体切换阀指向“UP STREAM”，“0”灯闪烁。

➢旋转气体切换阀指向“CLEAR”。

按<ENTER>键，设定区间0%基准点。

扫描0%结束，0%设定结束。

此时仪器0%～100%区间设定完成。

（“0”与“100”灯亮）。

➢旋转气体切换阀指向“DOWN STREAM ”开始测试。

卸下HEPA 的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。

扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5 cm/s。

扫描按直线来回往
复地进行，线条间应重叠。

检测过程中，若有报警声（即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。

泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。

在测试的过程中，测试过程中保持TDA-4B 悬浮粒子发生器一直处于发尘状态，且不调整发尘浓度。

在测试过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度。

5.4.2.2.3关机
旋转气体切换阀指向“CLEAR”，进行清零，清零结束后将仪器后端开关由“I”按至“o”关闭电源；关闭气溶胶发尘器。

扫描示意图
5.4.2.3注意事项：
5.4.2.3.1扫描过程中采样头不能碰到高效风口箱体或过滤器的框架。

5.4.2.3.2在扫描工作中间及最后，核查上游气溶胶浓度，以确定其稳定性。

当上游气溶胶浓度变化超过±15%时，重新设定100%基准，并追溯检查。

5.4.2.3.3调节TDA-4B发尘器压力时，压力应由小向大调节
5.4.2.3.4注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。

5.4.3结果判定及处理
高效过滤器泄漏率应小于等于0.02%；若HEPA在检测过程中，所有点的泄漏率都不超过0.02%，则判该HEPA合格，若有一处超过0.02%，则判为不合格，并将该点标记出来，需修补或更换。

高效过滤器滤料泄漏处允许用专用胶水修补，但是单个泄漏处的面积不能大于总面积的1%，全部泄漏处的面积不能大于总面积的5%，否则必须更换。

5.4.4高效过滤器检漏周期
5.4.4.1高效过滤器检漏在HEPA 安装或更换后都应进行。

5.4.4.2对A级洁净区高效过滤器每半年检测一次；对B级洁净区高效过滤器每年检测1 次；对C、D级洁净区高效过滤器每2年检测1次。

5.4.4.3当环境监测显示空气质量恶化、或当产品无菌试验不合格、培养基模拟灌装试验失败时，都可作为偏差调查的一部分进行检漏。

需进行检漏试验的滤器还包括超净台、传递窗、安全柜、烘干隧道等设备所使用的HEPA。

6、参考资料References：无。

7、相关记录和文件Documents and Records：
本文引用文件/记录一览表
List of documents and records
Changes / revision records
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