AXL-8自动硅片上下料装置技术文档详解

无锡市帕普勒自动化科技有限公司
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致：青海锦国兴新能科技有限公司
下列报价为人民币含税价：
无锡市帕普勒自动化科技有限公司
ASL-5自动硅片下料装置技术协议
1. 设备简介
1.1 设备名称：自动硅片下料装置
1.2 型号: AXL-5
1.3 设备用途：将5道在线制绒或刻蚀设备中的硅片装入用户指定的篮具中。

整个过程只需定期把篮具放置于自动换篮组件上，大
大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人
为因素对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可观的
经济效益。

2.主要技术参数
3.电气控制系统
PLC 控制，设备的工艺动作及各项工艺参数，可以通过触摸屏直接设置和操作，人机界面有程序过程控制、故障报警、安全保护等功
能。

4.设备结构及原理
4.1 下料设备局部示意图及工作流程
4.1.1 下料流程示意图（■代表硅片）
4.1.2 设备主要工作流程
●硅片由在线设备纵向传送皮带传送，纵向传送皮带分为两段，前段为恒速皮带；
●纵向传送皮带后段将硅片加速传送至横向传送皮带上方；
● 5 组纵向传送皮带在在气缸整体驱动下下降，将硅片平稳过渡
到横向传送皮带上；
●横向传送皮带为5段，由微电脑智能判断分别向左和右传送，横向传送皮带由外向内依次启动；
●正常状况下硅片经过缓存、装片的皮带传送结构直接装入篮具，篮具的升降由伺服电机实现；
●空篮具放在左右两侧自动换篮组件上层的入口；
●同步带传送机构将篮具传送至篮具传送升降机构，篮具传送机构下降将篮具传送至装片区；
●篮具装满后由同步带传送至自动换篮组件下层的出口；
●篮具更换时硅片存入缓存结构的暂存盒内；
●整个过程只需要把篮具放置于自动换篮组件上，大大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人为因素对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可
观的经济效益。

4.1.3 主要结构
●纵向传送机构：
由两段传送带组成，恒速段传送皮带的带速与在线设备匹配，硅片脱离恒速段后加速，拉开与下一组片之间的间距。

硅片到达横向传送皮带上方后升降气缸带动皮带向下运动，将硅片平稳过渡到横向传送皮带上。

●装片结构：
装片传送结构的传送带在气缸驱动下可伸入篮具，硅片进入
篮具时有导向进行校正；
篮具提升机构采用伺服电机精确控制运动；
●自动换篮组件：
自动换篮组件分为上下两层，由同步带实现传送。

空篮具放
在上层入口，满篮具由篮传送至下层出口。

4.1.4纵向传输机构
●传送装置: 传送装置选取对硅片无损伤和无污染的进口皮带；
●传送升降结构：采用气缸带动皮带下降，把到位的硅片从纵向传送改为横向传送，平稳的进行过渡。

4.1.5 装片结构与自动换篮组件
●空篮具放在自动换篮组件的放盒位置；
●同步带将空篮具传送至篮具传送升降机构，升降机构下降并将篮具传送至装片位置；
●装片传送结构的传送皮带伸入篮具装片；
●篮具装满后由同步带传送至出盒位置；
5.设备环境要求
5.1 电源： 380V 三相五线10A 50Hz
5.2 压缩空气：（0.5～0.7）MPa 8mm 气管接口
6.附件
6.1 提供使用说明书和产品合格证等资料。

6.2 使用说明书中含操作规程、原理图、接线图和气路图。

7.其它承诺
7.1 安装：我方向现场施工人员提供关于设备安装所需的所有细节，以便用户准备现场，为设备安装做准备。

我方负责设备安装调
试，用户提供协助。

7.2 培训:在安装期间，我方在现场为需方操作人员提供培训。

培
训应包括正常操作、维修保养、操作问题的分析及紧急处理程序。

7.3 保质期：设备验收合格起一年或发货后15 个月（以先到达的
时间为准）。

在质保期内非人为操作造成的零、部件损坏由我方无偿
维修或更换；在质保期过后造成的零部件损坏，我们将收取适当的
配件费和人工费并且我方继续提供终身技术支持。

7.4 在接到用户报修信息后24 小时内反应，如果电话不能解决确
实需要到现场维修的，我方将派人前往维修。

无锡市江松科技有限公司
ASL-5自动硅片上料装置技术协议
1. 设备简介
1.1 设备名称：自动硅片上料装置
1.2 型号: ASL-5
1.3 设备用途：将重叠的硅片装载到5道在线制绒设备中。

整个过程只需定期把专用篮具放置于上料位上，系统会根据在线设备的
速度进行自动匹配，大大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟
硅片的接触，避免了人为因素对硅片的污染，有效地提高了成品率
和转换率，创造可观的经济效益。

2.主要技术参数：
3.电气控制系统
PLC 控制，设备的工艺动作及各项工艺参数，可以通过触摸屏直接设置和操作，人机界面有程序过程控制、故障报警、安全保护等功
能。

4.设备结构及原理
4.1 上料设备局部示意图及工作流程
4.1.1 上料流程示意图（■代表硅片）
4.1.2 上料设备主要工作流程
●将装满硅片的专用篮具放置于设备两侧的上料工位上，伺服电机带动硅片向上移动到指定位置；
●电动执行器带动吸盘组件运动到吸片位置；
●吹气分离装置开始工作；
●两侧吸盘组件分别吸取工位1、2 和3、4 上的硅片，并轮流把硅片放置于缓冲结构上；
●气缸带动缓冲结构向下运动，把硅片平顺的过渡到传送带上；
●电动执行器交替吸取硅片，就是当一个吸盘组件在进行吸片同时，另一个吸盘组件已经把吸取上的硅片放置于皮带上；
●当上料位篮具取空后，设备自动判别并进行提示，人工更换
专用篮具；
●主传送带结构把硅片运送到横向传送皮带上，横向传送皮带分为5 段，由微电脑智能判断向右或向右传送；
●设备会在相应5 个位置通过挡板对每张硅片进行校正，确保硅片进入在线设备时的位置要求，硅片可单独减速，减轻撞
击对硅片的影响；
●这时5 个位置的每张硅片底部升起一皮带传送结构，把硅片从横向传送状态改变为纵向传送状态，自然过渡到在线设备上；
●自动上料装片系统会根据在线设备的速度进行自动匹配；●整个过程只需要把专用篮具放置于上料位上，大大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人为因
素对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可观
的经济效益。

4.1.3 主要结构
●上料位：上料位采用推拉方式放置和更换篮具；
●上料位升降机构：采用伺服电机精确控制升降运动；
●分片结构：气嘴分别位于硅片两侧，分片吹气方向可调；●吸盘组件：电动执行器带动吸盘组件运动；
●传送带：传送带选取对硅片无损伤和无污染的材料制成; ●挡片定位：硅片在传送到位前，相应的位置会升起一挡板，硅片通过挡板的限位保证硅片移动的准确性，定位完成后挡
片整体水平移动与硅片脱离，确保纵向传送时硅片不与挡板
有相对运行；
●传送装置抬升结构：采用气缸整体抬升皮带的高度，把到位的硅片从横向传送改为纵向传送，平稳的进行过渡。

4.1.4 上料位流程示意图
●将装满硅片的专用篮具推入工位 1 和工位 2 的专用篮具托盘内;
●设备启动后电动执行器带动吸盘组件自动交替从工位1 和2 上吸取硅片至上料传送皮带；
●当上料位篮具取空后，设备自动判别并进行提示，人工更换专用篮具，更换一个工位的篮具时不影响另一工位的吸片；
5.设备环境要求
5.1 电源： 380V 三相五线10A 50Hz
5.2 压缩空气：（0.5～0.7）MPa 8mm 气管接口
6.附件
6.1 提供使用说明书和产品合格证等资料。

6.2 使用说明书中含操作规程、原理图、接线图和气路图。

7.其它承诺
7.1 安装：我方向现场施工人员提供关于设备安装所需的所有细节，以便用户准备现场，为设备安装做准备。

我方负责设备安装调
试，用户提供协助。

7.2 培训:在安装期间，我方在现场为需方操作人员提供培训。

培
训应包括正常操作、维修保养、操作问题的分析及紧急处理程序。

7.3 保质期：设备验收合格起一年或发货后15 个月（以先到达的
时间为准）。

在质保期内非人为操作造成的零、部件损坏由我方无偿
维修或更换；在质保期过后造成的零部件损坏，我们将收取适当的
配件费和人工费并且我方继续提供终身技术支持。

7.4 在接到用户报修信息后24 小时内反应，如果电话不能解决确
实需要到现场维修的，我方将派人前往维修。