防静电专用测试仪使用操作指导书

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****有限公司部门工作指令文件
编号 : WI.PNNPI.003
页数：共 11 页
版本号：第 C 版
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WI.PNNPI.003目录
1. 目的
2. 适用范围
3. 职责
4. 相关文件
5 仪器使用指导
5.1. 接地阻抗分析仪61－164CN的使用
5.1.1设备功能简介、面板使用和其它。

5.1.2.电源插座地线测试步骤
5.1.3.辅助地线测试步骤（这里指独立的防静电地线的测试）.
5.2 静电电压测试仪MODEL 520的使用
5.2.1设备功能简介、面板使用和其它。

5.2.2静电电压测试步骤.
5.3. 兆欧表MODEL 152的使用
5.3.1设备功能简介、面板使用和其它。

5.3.2.表面点对点电阻测试步骤.
5.3.3.表面点对地电阻测试步骤.
5.3.4.体积电阻测试步骤
5.4. 静电消除测试仪MODEL 156A使用。

5.4.1设备功能简介、面板使用和其它。

5.4.2. 静电消除测试仪MODEL 156A测试离子风机参数设置步骤。

5.4.3．静电消除测试仪MODEL 156A测试离子风机静电性能步骤。

5.5. 静电消除测试仪MODEL 158使用。

5.5.1设备功能简介、面板使用和其它。

5.5.2. 静电消除测试仪MODEL 158测试离子风机参数设置步骤。

5.5.3. 静电消除测试仪MODEL 158测试离子风机静电性能步骤。

5.6屏蔽袋测试仪ACL500的使用
5.6.1设备功能简介、面板使用和其它
5.6.2 . 屏蔽袋屏蔽性能测试步骤。

1. 目的
规范接地阻抗分析仪61－164CN、静电电压测试仪MODEL 520、兆欧表MODEL 152、静电消除测试仪MODEL 156A、静电消除测试仪MODEL 1568、屏蔽袋测试仪ACL500等专用仪表的使用，以确保操作人员能正确操作相应测试设备。

2. 适用范围
平南事业所防静电工作区。

3. 职责
质量部检查员或防静电专职检查员负责正确使用以上设备对防静电工作区器材进行检查。

4. 相关文件
程序文件COP 7.27《静电放电检测方法指南》
5. 仪器使用指导
5.1. 接地阻抗分析仪61－164CN的使用
5.1.1设备功能简介、面板使用和其它。

a.仪器组成：主机（model 61－164cn）、电源线。

b.面板介绍：
①测试一级菜单如下：
其一：“●●●”―――――――――表示火线（H）、地线（G）、中性线（N）接线状况。

其二：“V”――――――――――――表示电压状况（ESD范畴内不使用）。

其三：“Vd”―――――――――――ESD范畴内不使用。

其四：“ASCC”―――――――――ESD范畴内不使用。

其五：“Z”――――――――――――表示线电阻。

以上可以通过下移健进行移动转换。

②测试二级菜单如下：
“●●●”―――无子菜单，功能状态见产品后背接线指示说明，为ESD关注点。

“V”――――RMS、HN、GN、PeakHz，无ESD关注点。

“Vd”―――5A、8A、10A，无ESD关注点。

“ASCC”―――H、G、N，无ESD关注点。

“Z”―――H、G、N，为关注点，尤其G为ESD关注点，大于3欧姆即为开路，一般要求在1欧姆以内。

以上可以通过右移健进行移动转换
5.1.2.电源插座地线测试步骤
（1）.对主机进行电源接线。

（2）.三芯插头插入待测试插座。

（3）.自动进入正常测试。

（4）.设备地线存在测试：
按5.1.1的b点→“①”→“其一”进行参数判读，目的判定地线是否存在。

（5）.设备地线接地电阻测试：
按5.1.1的b点→“②”→“Z”→“G”进行参数判读，目的判定地线阻值大小。

5.1.3.辅助地线测试步骤（这里指独立的防静电地线的测试）
（1）.使用专用的接地电源线。

（2）.三芯插头插入电源插座（备注：本专用三芯地线与设备是不连通的），专用电源线鳄鱼
夹连接所需要测试的地线。

（3）.自动进入正常测试。

（4）.地线存在测试：
按5.1.1的b点→“①”→“其一”进行参数判读，目的判定地线是否存在。

（5）.地线接地电阻测试：
按5.1.1的b点→“②”→“Z”→“G”进行参数判读，目的判定地线阻值大小。

备注：如果接入的电气线路使用接地保护器时，该设备的使用会导致断电现象。

5.2 静电电压测试仪MODEL 520的使用
5.2.1设备功能简介、面板使用和其它。

a. 设备组成由MODEL 520主机和接地线1pcs；该仪器测试功能为检测物体表面静电电压值.
b. 该仪器测量量程为-1999V—＋1999V。

.超出正量程时显示“1”，超出负量程时显示为“－1”
c. 打开电源开关后，探头即转入自动测试，“HOID”为测试值锁定键；电池电压低时，报警显示为“BAT”
5.2.2静电电压测试步骤.
（1）. 把MODEL 520对地扣钮进行接地.
（2）. 打开电源开关.
（3）用MODEL 520测试探头对准被测试物体表面，测试的有效距离为5－25mm 。

对准的标准为：探头斜面与被测试物体表面平行。

注意被测试物体表面应有反射表面，如空气则不能测试。

（4）对显示屏进行读数，此电压即为被测物体表面静电电压值.
使用注意事项：
1. 电源打开时探头上有45V的峰值电压，触摸探头芯点时可能会有电击感。

2.
图1 静电电压测试接线图
5.3. 兆欧表MODEL 152的使用
5.3.1设备功能简介、面板使用和其它。

a. 仪器组成：主机（model 152）和152AP-5P测试电极。

该仪器主要测试：表面点对点电阻、表面点对地电阻、体积电阻。

测试值单位为欧姆（Ω）。

b.电源开关：需打开时，连续按电源开关“I”2秒，至液晶显示文字，其中“V1.04”表
示该仪器软件版本为1.04版；需关时，则按“O”。

c.测试电压为根据被测物体电阻阻值进行选择，选择项有“10V”和“100V”。

选择方法为：1M以下电阻时使用10V档位、1M或1M以上电阻时使用100V档位。

d.读数时间为测试开始15秒后进行。

e.设备的维护。

主机本身脏污时可用粘自来水的棉布轻轻擦拭，电极脏污时可用工业酒
精擦拭。

f.“TEST VOLTAGE”和“INPUT”------分别为测试电极接口。

“ACTIVE PROBE”-----本标准暂不使用。

“SHIELD GROUND”------使用干电池时该接口不使用。

使用注意事项：①. 测量时手不能接触任一电极，否则会影响测试精度。

②. 测量物体表面点对点电阻时，被测量物体应放置在绝缘胶皮上进行测试。

③. 电源打开时测试电极上带有100V的直流电压，人体接触时会有电击感。

术语解析备注：
①表面点对点电阻：指任意两点之间的电阻值。

它可以为不同物体之间的点与点，也可
以为相同物体不同距离之间的点与点的电阻。

其数值反映的是材料的导电性，是防静电材料
认证的重要依据。

②表面点对地电阻：指物体表面某个点与大地之间的电阻值。

它反映的是物体接地状况，包括直接或间接接地。

③体积电阻：在被测物体两个相对立的表面上放置两个电极，测试其之间的电阻值。

它反映固体介质内部导电能力。

5.3.2.表面点对点电阻测试步骤.
（1）.使用两个5磅重的电极，电极导线分别插入主机的“INPUT ” 和“TEST VOLTAGE ”插口。

（2）.打开电源，选择适当的测试电压即可测试。

测试方法为把两个电极分别放置在被测物体的上表面两端，测试读数结果即为被测物体电极之间的表面电阻阻值。

电极放置距离基本原则：当被测物体宽度最大距离大于0.9m 时，则两电极中心距离为0.9m ，当被测物宽度最大距离小于0.9m 时，则两电极中心距离取最大值。

图2 表面点对点电阻测试接线图
5.3.3.表面点对地电阻测试步骤.
（1）. 使用1个5磅重的红色插头电极，红色导线插入主机的“INPUT ”插口.
（2）. 把防静电地线或设备地线通过导线直接连接在主机的“TEST VOLTAGE ”插口上。

INPUT
TEST
VOLTAGE
（3）.打开电源，选择适当的测试电压即可测试。

测试方法为把这个电极放置在被测地板的上表面，测试读数的结果为物体表面某个点与大地之间的电阻阻值。

图3 表面点对地电阻测试接线图
5.3.4.体积电阻测试步骤
（1）.使用两个5磅重的电极，电极导线分别插入主机的“INPUT ” 和“TEST VOLTAGE ”插口。

（2）.在被测物体下方放置一辅助导电板，并把其中一个5磅重锤放置在导电板上。

（3）.把另一个5磅重锤放置在被测物体表面任一位置。

（4）.打开电源，选择适当的测试电压即可测试。

测试读数结果即为被测物体电极之间的体积电阻阻值。

图5为某物体的体积电阻测试案例。

图5 物体体电阻测试图
TEST
VOLTAGE
INPUT
5.4. 静电消除测试仪MODEL 156A使用。

5.4.1设备功能简介、面板使用和其它。

a. 仪器组成：MODEL 156A主机、充电电板。

该仪器主要功能为离子风机静电性能检验。

b. 测试模式：离子平衡度、正向静电衰减时间、负向静电衰减时间
c.面板功能键：
“POWER”键。

按“I”为电源打开，按“O”为关闭电源。

“LOW BATTERY”电量不足报警指示灯。

“FULL CHARGE”充电过程满电荷指示灯。

“PLATE VOLTAGE”显示充电电板静电电压，单位为伏特。

“DECAY TIME”静电衰减时间，单位为秒。

“TEST/RESET”键。

在TEST时为测试，在RESET时为对充电电板进行复位充电。

“Mode”内，“＋DECAY”正向衰减，“－DECAY”负向衰减，“FLOAT”为平衡度。

d. 背板功能插口。

“CHARGER/SUPPLY”为220V充电电源插口。

“GROUND”为接地线插口，要与充电板地线插口相连接。

“ION COLLECTING PLATE”为充电电板输入/输出口。

e. 离子风机防静电性能参数测试原理。

离子风机防静电性能的三个最重要参数为：离子平衡度和正负向静电衰减时间。

离子平衡度指离子风机最终达到的平衡电压数值；静电衰减时间指经离子风机中和后的充电电板由＋1000V降到＋100V和-1000V降到－100V的时间。

图6 156A实物图
5.4.2. 静电消除测试仪MODEL 156A测试离子风机参数设置步骤。

（1）将“MODE”键调整到float处。

（2）起始电压设定.
先按住“RESET”键不放，再打开电源开关，此时“PLATE VOLTAGE”屏显为“S”（START的开头字母），后放开“RESET”键，“DECAY TIME”显示的电压为起始电压设定值。

通过“＋DECAY”和“-DECAY”可上下调整起始电压参数，而“PLOAT”此时为参数固定键作用。

测试离子风机的起始电压设定值为1000V.
（3）.终端电压设定
起始电压测试完毕后，直接按“RESET“键一次，立即显示为”E“（END的开头字母）和终端电压设定值. 通过“＋DECAY”和“-DECAY”可上下调整终端电压参数，而“PLOAT”键此时为参数锁定作用。

测试离子风机的终端电压设定值为100V.
（4）参数输入确认
再按“RESET”一次，屏显马上跳出“P”等，表示所有参数设定完成。

5.4.3．静电消除测试仪MODEL 156A测试离子风机静电性能步骤。

（1）.主机地线、防静电地线与充电电板地线连接；充电电板输入线与主机连接。

（2）充电面板位置方向依据cop7.26《静电放电检测方法指南》进行管理。

（3）打开MODEL 156A电源开关，先后出现“1.15”、“1000”和“100”显示，含义分别为软件版本为1.15、起始电压绝对值为1000V、终端电压绝对值为100V。

（4）.正向衰减时间测试：
“MODE”的档次设定为“＋DECAY”，按“RESET”键充电再复位至“TEST”, “DECAY TIME”稳定读数即为正向静电衰减时间。

（5）负向衰减时间测试：
“MODE”的档次设定为“－DECAY”，按“RESET”键充电再复位至“TEST”,
“DECAY TIME”稳定读数即为负向静电衰减时间。

（6）离子平衡度测试：
①在面板上，把开关调整到“FLOAT”，其读取的数据即为离子平衡度。

②在正/负向衰减时间测试时，其最终电压也是离子平衡度。

两者测试方式都可以取。

使用注意事项
a. 电源打开时充电电板带有1000V静电电压，手触摸时可能有电击感。

b. 注意测试时不能有任何外来物体与充电电板接触，否则影响测试精度。

5.5. 静电消除测试仪MODEL 158使用。

5.5.1设备功能简介、面板使用和其它。

a. 仪器组成：MODEL 158主机、充电电板。

该仪器主要功能为离子风机静电性能检验。

b. 测试模式：离子平衡度（Float Mode）、正向静电衰减时间（+Decay Mode）、负向静电
衰减时间（-Decay Mode）
c.面板功能键：
ALL-------+Decay Mode、-Decay Mode和Float Mode测试状态显示。

（正常操作基本不使用）System-----系统资料选择。

（正常操作基本不使用）
Float-------平衡度测试界面。

通过V olt键，有6种电压档位供选择，通过time键有多种时间选择。

+Decay------正向衰减测试界面。

通过V olt键，有两种电压档位供选择。

-Decay-------负向衰减测试界面。

通过V olt键，有两种电压档位供选择。

Card---------电脑卡（正常操作基本不使用）
Shot---------主机测试记录时间类型。

有CONT(连续型)、5S、10S、30S、60S、120S共6种选择，正常使用为CONT(连续型)。

Enter--------确认键。

如在修改System、+Decay、-Decay使用
Cance-------取消键
Cursor Scroll------按停止键后，用该键来看记忆型图像。

Mode--------测试时用该键可以看参数（正常操作基本不使用）
Print-----打印机连接使用（正常操作基本不使用）
Copy-----电脑连接使用（正常操作基本不使用）
Feed-----打印机连接使用（正常操作基本不使用）
Time-----时间分辨率设定。

最大每大格时间为20S，最小每大格时间为25ms。

V olt------电压分辨率设定。

Set------
Start/Reset-----测试开始/复位
Stop------测试停止。

5.5.2. 静电消除测试仪MODEL 158测试离子风机参数设置步骤。

（1）正向起始电压设置（+1000V→+100V）
在正向衰减测试界面（+Decay）下，按Enter键，“start voltage-----”由黄色底变为蓝色底，表示可以设定，用前后左右键完成调整。

反之表示设定完成。

（2）负向起始电压设置（-1000V→-100V）
在负向衰减测试界面（-Decay）下，按Enter键，“start voltage-----”由黄色底变为蓝色底，表示可以设定，用前后左右键完成调整。

反之表示设定完成。

5.5.3．静电消除测试仪MODEL 158测试离子风机静电性能步骤。

（1）.主机地线、防静电地线与充电电板地线连接；充电电板输入线与主机连接。

（2）充电面板位置方向依据cop7.26《静电放电检测方法指南》进行管理。

（3）打开MODEL 158电源开关。

（4）.正向衰减时间测试：
在正向衰减测试界面（+Decay）下，确认起始电压的设定是否ok（+1000V→+100V），
选择合适观察电压档位（如+1000V-----—1000V）。

按start测试键开始进行测试，稳定读数按STOP停止测试，读取正向衰减时间。

（5）负向衰减时间测试：
在负向衰减测试界面（-Decay）下，确认起始电压的设定是否ok（+1000V→+100V），
选择合适观察电压档位（如+1000V-----—1000V）。

按start测试键开始进行测试，稳定读数按STOP停止测试，读取负向衰减时间。

（6）离子平衡度测试：
①在平衡度测试界面（Float）下，选择合适观察电压档位（如+100V-----—100V）。

按start测试键开始进行测试，稳定读数按STOP停止测试，读取离子平衡度。

②在正/负向衰减时间测试时，其最终电压也是离子平衡度。

两者测试方式都可以取。

使用注意事项
a. 电源打开时充电电板带有1000V静电电压，手触摸时可能有电击感。

b. 注意测试时不能有任何外来物体与充电电板接触，否则影响测试精度。

备注：MODEL 158和MODEL 156区别，前者具备波形观察功能、记忆功能、采样频次高等，在地板/人体电压测试时必须使用前者，而不能用后者。

5.6屏蔽袋测试仪ACL500的使用
在ESD管理中其测试项目：测量在外部电场中金属化静电屏蔽袋（metallized shielding bag）内部的最大电压，以评价包装袋其防静电性能。

5.6.1设备功能简介、面板使用和其它
a．仪器组成：ESD放电模拟器、静电屏蔽检测传感器、不锈钢放电头、基准板和测试导线b．原理：ESD放电模拟器（1000D）释放出一个1000伏的人体模式静电电压，静电屏蔽检测仪记录下在袋子内部的电压值，用一排标有10，20，30，40，50，100，200，300伏的发光二极管LED来指示出来，代表测量到最大电压的LED将保持发光。

例如：当检测时，代表20伏的LED发光，表示袋子内部感应到峰值电压在20-30伏之间，以此类推。

图7 屏蔽袋测试仪接线图
5.6.2 . 屏蔽袋屏蔽性能测试步骤。

（1）. 检查ACL放电模拟器1000D，确使电压选择开关置于正确位置上（240V）。

（2）. 将1000D接上220伏交流电，打开电源开关。

（3）. 将黑色的测试导线插入GND（接地）插座，将红色的测试导线的插头插入1000伏插座。

（4）. 将黑色测试导线的另一端接在不锈钢制的基准板上，把柱型探头接到红色测试导线的另一端。

（5）. 打开ACL静电屏蔽检测表。

（6）. 确信标有“power"的发光二极管亮着。

（7）. 把ACL静电屏蔽检测表插入被检测的袋子，放在基准板上，把柱形探头隔着被测袋子表面放在屏蔽检测表的感应板上。

（8）. 按下黑色放电按钮，使之释放1000伏电压（人体模式HBM）。

（9）. 当1000D产生一个人体模式放电脉冲时，袋子内感应到的最大电压将持续显示，直到操作人员按重（reset）开关为止。

（10）. 如没有LED发光，是因为袋子的有效屏蔽（内部感应的电压小于9伏），如果感应到大于10伏的电压，相应的LED会发光。

备注：1.测试结构简单来说，屏蔽袋的底部是接地测试板，屏蔽袋的内部是静电屏蔽检测传感器，屏蔽袋的上部是不锈钢放电头。

2. 折垫屏蔽袋时，要确保测试夹具接触面是平整的，折叠时封口应完全闭合，静电屏蔽检测表上下屏蔽袋只有一层。

3.测试时底部或周边不能有其它导电物品接触到测试电极、地极、屏蔽袋。

4. ACL静电屏蔽检测表如果亮30V等同标准的小于50NJ.
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