一种基于莫尔条纹的干涉相移灵敏度增强方法[发明专利]

专利名称：一种基于莫尔条纹的干涉相移灵敏度增强方法专利类型：发明专利
发明人：方亮,况银丽,程欣,彭翔,张辉,刘恩海
申请号：CN201911237500.6
申请日：20191206
公开号：CN111006582A
公开日：
20200414
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种基于莫尔条纹的干涉相移灵敏度增强方法，包括：空间调制型干涉仪形成的干涉条纹光场经过偏振片后入射至普通分光棱镜，其中反射光经第一平面反射镜反射后沿原光路返回，再次经过普通分光棱镜后，透过偏振分光棱镜入射至阵列探测器上，形成一组干涉条纹分布；透射光先后经两次反射后入射至偏振分光棱镜，经反射后入射至阵列探测器上，形成另一组条纹取向相反的干涉条纹分布。

调节第三平面反射镜，使阵列探测器上的两组干涉条纹之间存在夹角，形成莫尔条纹。

当干涉条纹发生相移时，莫尔条纹将发生明显的位移。

本发明基于莫尔条纹的干涉相移灵敏度增强方法具有普适性，可有效提高空间调制型干涉仪器的测量灵敏度。

申请人：中国科学院光电技术研究所
地址：610209 四川省成都市双流350信箱
国籍：CN
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