DB Power 固晶机操作说明.

模組校正說明
取放頭模組 及 取晶相關模組 校正說明 1. 2. 3. 4. 5. 固晶臂回至零位後 插入定位銷 將固晶臂鬆開，靠齊定位銷後鎖固 拔出定位銷後點擊 完成 按鈕，結束校正作業。 重新進行一次取晶三點效正，調整晶圓載台CCD，將取晶點移至畫面中央。 將頂針模組調整至取晶中心。
定位銷
靠齊
目測頂針接觸藍膜 回退100步點擊設置
一般操作說明
取晶高度 置晶高度 及點膠相關設定 1. 在材料載台運動頁面 選擇 鎖定點膠點 然後鎖定一個材料目標
一般操作說明
取晶高度 置晶高度 及點膠相關設定 1. 在管理員頁面 選擇點膠工藝的 位置設置
一般操作說明
取晶高度 置晶高度 及點膠相關設定 1. 在點膠位置設置的頁面 先將 點膠位置修正量 設為 -10 然後點擊 位置測試
DB Power 固晶機操作說明
項 次
1. 一般操作說明
A. B. C. D. E. F. G. 鏡組倍率調整 及 CCD校正 取晶三點 及 置晶三點設置 取晶高度、置晶高度 及點膠設定 材料載台相關設置 芯片載台相關設置 試運行 及 修正作業 連續運轉 及 時間優化
2.
模組校正說明
A. B. C. D. 取放頭模組 及 固晶相關模組 點膠模組 及 置晶相關模組 材料載台模組 晶圓載台模組
矩陣模式請依教導步驟操作
一般操作說明
材料載台相關設置 1. 2. 3. 4. 5. 進入模板設定頁面 矩陣模式 點選逐點定位 並點擊 選第一點模板 依指示設定視覺模板 兩點定位 依指示設定第一模板 及 第二模板 並JOG移動材料載台 依序添加作業點 ( 或文件導入 ) 複雜排列逐點定位模式 選擇逐點定位 然後移動材料載台 依序添加作業點 ( 或文件導入 ) 後 點擊 選第一點模板 依指示設定視覺模板 作業結束點擊 完成保存
在晶圓載台及材料載台鎖定目標物後點擊自動搜索
一般操作說明
取晶高度 置晶高度 及相關設定 1. 將取放頭移至置晶位置 JOG向下置適當位置 點擊 取當前位置
平動高度
材料載台 芯片載台
一般操作說明
取晶高度 置晶高度 及點膠相關設定 1. 打開輔助CCD JOG移動頂針位置 設置各參數 目測頂針頂出概略1/2~2/3個芯片高 點擊設置
2.
安裝膠針 使之自然垂放至材料上 將膠針鎖固 再將 點膠修正量設為-5
一般操作說明
取晶高度 置晶高度 及點膠相關設定 1. 將膠針JOG移動至膠盤接觸，再以修正量控制按鈕將取膠位置設 置為過壓5~15步
2.
點膠取教位置設置作業結束 點擊完成
一般操作說明
材料載台相關設置 1. 2. 切換至材料設置頁面 矩陣陣設定完成 或非矩陣模式 點擊 模板設定
3.
輔助功能說明
A. 精度檢測功能
一般操作說明
鏡組倍率調整 及 CCD校正 1. 將鏡組調整至合適倍率
材料載台概略左右各留0.5倍間距
芯片載台概略可視9顆芯片
一般操作說明
鏡組倍率調整 及 CCD校正 1.在管理員頁面 點擊 CCD效準
調整至2軸偏差相差15個單位內 斜角小於0.8度
一般操作說明
使用上端操作按鈕框選芯片實際大小
一般操作說明
芯片載台相關設置 1. 選擇 取晶模式
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一般操作說明
試運行 及 修正作業 1. 2. 切換至操作員介面 在單步運行的區塊勾選 鎖定點膠點 跟 點膠 然後點擊運行 再進入固晶偏差調整頁面
一般操作說明
試運行 及 修正作業 1. 2. 在位置修正頁面 使用左右按鍵 將畫面十字中心修正至點膠點的中心 然後點擊完成 固晶修正作業同點膠修正
取晶三點 及 置晶三點設置 1. 在管理員頁面 點擊 取晶三點設定
一般操作說明
取晶三點 及 置晶三點設置 2. 依照步驟作業 結束點擊完成
畫面定位框操作按鈕
一般操作說明
取晶三點 及 置晶三點設置 1.在管理員頁面 點擊 置晶三點設定
2. 依步驟完成置晶三點設置 結束點擊完成
一般操作說明
取晶高度 置晶高度 及相關設定 1. 切換至管理員頁面 點擊固晶工藝的 位置設置
一般操作說明
芯片載台相關設置 1. 2. 切換至芯片設置頁面 點擊 選擇模板
使用上端操作按鈕框選模板 一般芯片模板框選比實際芯片略大較合適
一般操作說明
芯片載台相關設置 1. 點擊 芯片間距
使用上端操作按鈕框選芯片間距 框選時注意 以芯片端點至下一顆芯片端點
一般操作說明
芯片載台相關設置 1. 點擊 芯片大小
模組校正說明
取放頭模組 及 固晶相關模組 校正說明 1. 2. 切換至廠家設置頁面 點擊模組效準的 固晶臂 按鈕
模組校正說明
取放頭模組 及 固晶相關模組 校正說明 1. 2. 取消選擇 擺臂R軸伺服使能 的選項 手動旋轉固晶臂R軸 檢測旋轉角度合 是否大於87.5度
模組校正說明
取放頭模組 及 取晶相關模組 校正說明 1. 2. 勾選 擺臂R軸伺服使能 的選項 點擊 回零 按鈕 使固晶臂回零