真空泵真空漏率

真空泵真空漏率
真空泵的漏率是指在规定条件下，特定气体通过漏孔的流量。

真空泵的漏率与极限压力有直接关系，在极限压力下运转时，气体状态已接近分子流，气体的分子自由程较大，气体分子不易穿透转子与各相关零部件之间的间隙。

也就是说，此时间隙对极限压力的影响已极其微小，能影响极限压力的因素就只有漏率。

此外，真空泵的漏率测试方法有关阀测漏法和氦质谱测漏法两种。

以上内容仅供参考，如需更多信息，建议查阅真空泵相关书籍或咨询专业人士。