扫描电镜-能谱仪操作中易发生危险或故障的注意事项

扫描电镜-能谱仪操作中易发生危险或故障的注意事项
一、开机前必须先开启循环冷却水，否则会造成油扩散泵因过热而损坏。

二、关机后必须等待20分钟以上才能关闭循环冷却水，否则会损坏油扩散
泵。

三、人员长时间离开后必须关机、20分钟后关循环水，否则万一水管漏水将
会损坏仪器。

四、单个样品最大尺寸不得大于32 mm，否则观察时会超出自动马达台的活
动范围，造成马达台损坏。

五、当采用单眼或四眼样品座时，原则上每个样品最宽处不能超出样品台（直
径为1 cm）的范围，否则观察时容易超出自动马达台的活动范围，造成马达台损坏。

六、为保护能谱探头、避免样品过高碰坏探测器和物镜，更换样品时，样品
台的高度必须下降，一般Z轴高度（即物镜至样品的距离）设为30 mm，如果样品具有一定高度，则需相应地增大Z轴高度（Z轴最大高度为48 mm）。

七、为保护灯丝，更换样品时，必须首先关闭高压，并等待3-5 min让灯丝
稍微冷却后再放气（vent），必须等到放气灯（“vent”）停止闪烁后才能拉开样品室的门。

样品室的门必须轻拉轻关，以防剧烈震动和强气流破坏能谱探头的超薄铍窗。

八、观察样品时，需逐步升高样品台，应保证聚焦清晰后的工作距离WD在
10-20 mm之间，严禁聚焦清晰后的工作距离WD < 10 mm，否则容易导致探测器和物镜被碰坏。

九、在移动样品、放大图像以及聚焦图像的过程中，动作应轻缓，幅度不宜
过大，注意保护各类功能旋钮，不得同时进行多项操作，以防电脑死机。

移动样品时必须注意不能超过自动马达台的极限，否则马达台会发生故障损坏；
放大图像时放大倍数一般不得超过4万倍。

十、为防止电脑中毒，严禁在仪器设备上使用外来U盘和光盘，所有测试数
据均存放在电脑桌面上指定文件夹内，实验结束后由相关负责教师通过email 发送。